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HiPace 700 Plus
Turbopumpe
Betriebsanleitung
DE

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HiPace 700 Plus

  • Seite 1 HiPace 700 Plus Turbopumpe Betriebsanleitung...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    Ersatzteile HiPace 700 Plus ........
  • Seite 3: Zu Dieser Anleitung

    Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
  • Seite 4: Piktogramme

    Zu dieser Anleitung Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument Anweisung im Text...
  • Seite 5: Sicherheit

    Medium oder von der gesamten Anlage ausgehen, auf- merksam zu machen. Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausgestat- tet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detail- liert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben.
  • Seite 6: Schutzausrüstung

    Sicherheit ● Verbindung zum Schutzleiter (PE) wird empfohlen (Schutzklasse III). ● Während des Betriebs Steckerverbindungen nicht lösen. ● Vor Arbeiten am Hochvakuumflansch Stillstand des Rotors abwarten. ● Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fernhalten. ● Turbopumpe niemals mit Reinigungsmittel füllen oder betreiben. ●...
  • Seite 7: Bestimmungsgemäße Verwendung

    ● die Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt wurden Verschlusssiegel warranty seal Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfernen eines Verschluss- siegels führt zum Verlust der Gewährleistung.  Produkt während der Gewährleistungszeit nicht öffnen!  Bei prozessbedingt kürzeren Wartungsintervallen Pfeiffer Vacuum Service verständi- gen.
  • Seite 8: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung Transport und Lagerung Transport  Transportbehältnis der Vakuumpumpen wiederverwenden. Vakuumpumpen sollten in der Originalverpackung transportiert oder versendet werden.  Schutzdeckel von Hoch- und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem Anschluss ent- fernen.  Original-Schutzdeckel aufbewahren.  Turbopumpe immer aufrecht transportieren. Lagerung ...
  • Seite 9: Produktbeschreibung

    Made in Germany Abb. 1: Beispiel für ein Typenschild Varianten ● HiPace 700 Plus mit TC 400 und 24 V DC ± 5 % ● HiPace 700 Plus mit TC 400 und 48 VDC ± 5 % Lieferumfang ● Gegenstecker für den Anschluss "remote" an der TC 400 (typabhängig) ●...
  • Seite 10: Funktion

    Produktbeschreibung Funktion Die Pumpe HiPace 700 Plus bildet mit der Antriebselektronik TC 400 eine Einheit. Zur Spannungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden (z.B. TPS oder DCU). Abb. 2: Ansicht HiPace 700 Plus mit TC 400 Pumpengehäuse / Hochvakuum- Kühlwasseranschluss...
  • Seite 11: Einsatzbereich

    Produktbeschreibung Einsatzbereich Die Pumpen HiPace 700 Plus sind unter folgenden Umgebungsbedingungen zu instal- lieren und zu betreiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Zul. Schutzart IP 54 Schutzklasse Umgebungstemperatur +5 °C bis +35 °C bei Luftkühlung +5 °C bis +40 °C bei Wasserkühlung max.
  • Seite 12: Installation

    ● Bei Verwendung von Gehäuseheizung und Wasserkühlung darf die Temperatur am Anschlussflansch der Vakuumkammer 120 °C nicht überschreiten. ● Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum zu- lässig. ● Der Einsatz in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder pe- riodische Kräfte auf die Geräte einwirken, ist nicht zulässig.
  • Seite 13: Einbaulagen

    Einbaulagen HINWEIS Beschädigung der Pumpe durch falsche Einbaulage Die Turbopumpe HiPace 700 Plus ist nur mit dem Hochvakuumflansch nach oben zu installieren. Andere Einbaulagen sind nicht spezifiziert und können die Pumpe beschä- digen und zu fehlerhaften Prozessen führen.  Pumpe nur mit vertikaler Rotorachse und Hochvakuumflansch nach oben installie- ren.
  • Seite 14: Installation Von Iso-K Flansch Mit Iso-K Flansch

    Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch dürfen ausschließlich die im Folgenden auf- geführten Bauteile verwendet werden. Die Bauteile für die Installation der Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm des Flanschmaterials beachten. GEFAHR Lebensgefahr - Unzulässige Befestigung...
  • Seite 15: Installation Von Cf- Flanschen

    Die Verbindungsarten für die Installation CF- mit CF-Flansch sind "Sechskantschraube und Durchgangsbohrung", "Stiftschraube und Gewindebohrung" sowie "Stiftschraube und Durchgangsbohrung". Folgende Elemente werden benötigt: ● der gültige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm ● Eine Kupfer-Dichtung ● Schutzgitter oder Splitterschutz sind optional Sechskantschraube und Durchgangsbohrung ...
  • Seite 16: Anschlüsse An Der Turbopumpe

    Netzteil anschließen Für die Spannungsversorgung der Antriebselektronik TC 400 nur Original-Netzteile ver- wenden (z.B. TPS 310 oder DCU 310). Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit Pfeiffer Vacuum. Verbindungskabel stehen aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörpro- gramm zur Verfügung. WARNUNG Gefahr des elektrischen Schlags Bei Defekt können die mit dem Netz verbundenen Teile unter Spannung stehen.
  • Seite 17 Einstellungen an der Antriebselektronik.  Für den Anschluss von zwei Geräten an einem Zubehöranschluss den betreffenden Y-Verteiler (Y-Connector) aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm verwenden.  Anschluss des Adapters an den rot gekennzeichneten Anschluss an der TC 400.
  • Seite 18 Installation Vorvakuumseite an- Empfehlung: als Vorpumpe eine trockenverdichtende Vakuumpumpe oder Drehschie- schließen berpumpe aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. Die Vorpumpe muss einen Vakuumdruck von ≤ 5 hPa erzeugen. WARNUNG Gesundheitsschäden durch giftige Gase Prozessgase können gesundheitsschädigend und umweltverschmutzend sein.
  • Seite 19: Luftkühlung

    Pumpenunterteil Innensechskantschraube Luftkühlung Senkkopfschraube  Pfeiffer Vacuum Luftkühlung mit zwei Schrauben an den vorgesehenen Bohrungen der Turbopumpe befestigen.  Steuerleitung des Zubehörs in den korrespondierenden Zubehöranschluss an der TC 400 einstecken und festschrauben.  Vorgabe für die Luftkühlung ist "accessory A1".
  • Seite 20 Installation Heizmanschette Um den Enddruck schneller zu erreichen, können Turbopumpe und Rezipient ausge- heizt werden. Das Verwenden einer Heizmanschette ist nur bei Pumpen mit Hochvaku- umflansch in Edelstahlausführung zulässig. Die Heizdauer ist abhängig vom Verschmut- zungsgrad des Prozesses sowie dem zu erreichenden Enddruck und sollte mindestens 4 Stunden betragen.
  • Seite 21 ● Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50% des maximalen Gasdurchsatzes ist zur Ge- währleistung der Rotorkühlung Sperrgas zu verwenden. ● Die Durchflussmenge für Sperrgas beträgt 12,5 - 15 sccm für die HiPace 700 Plus. Sperrgasversorgung mit Steuerventil Abb. 8: Sperrgasventil anschließen...
  • Seite 22: Wasserkühlung

    Installation Wasserkühlung Die Turbopumpen HiPace 700 Plus mit TC 400 sind serienmäßig wassergekühlt. ● Bei erhöhtem Vorvakuumdruck (> 0,1 hPa) und/oder Betrieb mit hohem Gasdurchsatz muss wahlweise Luft- oder Wasserkühlung verwendet werden. ● Bei Umgebungstemperaturen > +35 °C generell Wasserkühlung verwenden.
  • Seite 23: Betrieb

    Betriebsarten Folgende Betriebsarten sind möglich: ● Betrieb ohne Bediengerät ● Betrieb über Anschluss "remote" ● Betrieb über RS-485 und Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC ● Betrieb über Feldbus Funktionsbeschreibung WARNUNG Gefahr durch offenen Hochvakuumflansch Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher Geschwindigkeit. Bei offenem Hochva- kuumflansch besteht die Gefahr von Schnittverletzungen und durch hineinfallende Ge- genstände die Gefahr, dass die Pumpe zerstört wird.
  • Seite 24: Betrieb Ohne Bediengerät

    Antriebselektronik möglich.  Für den Betrieb mit Fernbedienung folgende Dokumente beachten: ● Betriebsanleitung "Antriebselektronik TC 400" Betrieb mit  Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät folgende Doku- DCU oder HPU mente beachten: ● Betriebsanleitung "DCU"...
  • Seite 25: Überwachung Des Betriebszustands

     Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max. 15 hPa/s für 20 s. – Der Ventilquerschnitt für die Flutrate von 15 hPa/s muss auf die Größe des Rezipi- enten abgestimmt werden. – Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil verwenden.  Anschließend mit einem zusätzlichen, beliebig großen Flutventil fluten.
  • Seite 26: Wartung / Austausch

    Gesundheitsgefährdungen durch gefährliche Substanzen zu verhindern.  Betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren. HINWEIS Haftungsausschluss Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Haftung für Personen- oder Sachschäden, die auf- grund unsachgemäß ausgeführter Wartung entstehen. Der Haftungs- und Gewährleis- tungsanspruch erlischt. Wartungsintervalle und -zuständigkeiten ●...
  • Seite 27: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung / Austausch Abb. 11: Montage / Demontage Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel Spritzmutter O-Ring Betriebsmittelspeicher Innensechskantschraube  Innensechskantschrauben (3x) aus dem Verschlussdeckel an der Unterseite der Tur- bopumpe herausschrauben.  Verschlussdeckel abnehmen. Auf O-Ring achten.  Betriebsmittelspeicher aus der Lagerfassung herausnehmen.  Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen, fus- selfreien Tuch entfernen.
  • Seite 28 Wartung / Austausch Abb. 12: Montage / Demontage der TC 400 Antriebselektronik Innensechskantschraube  Keine mechanische Belastung auf die Antriebselektronik ausüben.  Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen.  Pumpe und Antriebselektronik nur nach völligem Stillstand und unterbrochener Ver- sorgungsspannung trennen.
  • Seite 29: Außerbetriebnahme

     Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen.  Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen.  Ggf. Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen.  Ggf. Lagerwechsel durchführen lassen. Dabei die Gesamtlaufzeit beachten.  Betriebsmittelspeicher wechseln.
  • Seite 30: Störungen

    ● Sammelfehler  Reset durch Netz aus/einschalten  Reset über Pin 13 am Anschluss "REMOTE"  Differenzierte Fehleranzeige über Anschluss "RS-485"  Pfeiffer Vacuum Service verständigen Steht kein Pfeiffer Vacuum Bediengerät zur Verfügung bitte den Pfeiffer Vacuum Service verstän- digen.
  • Seite 31: Service

    Für eine schnelle und reibungslose Abwicklung sind folgende Schritte notwendig:  Service-Anforderung und Erklärung zur Kontaminierung herunterladen.  Service-Anforderung ausfüllen und per Fax oder Email an Ihre Pfeiffer Vacuum Service-Adresse senden.  Bestätigung der Service-Anforderung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen.
  • Seite 32: Ersatzteile Hipace 700 Plus

    Ersatzteile HiPace 700 Plus 11 Ersatzteile HiPace 700 Plus Pos. Benennung Größe Bestellnummer Bemerkungen Stück Bestellmenge Betriebsmittelspeicher PM 143 452 -T Antriebselektronik TC 400 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Gegenstecker "Remote" PM 061 378 -X mit Brücken Beim Betriebsmittelspeicherwechsel der Turbopumpe müssen keine Poroplast-Stäbe verwendet werden.
  • Seite 33: Zubehör

    Zubehör 12 Zubehör 12.1 HiPace 700 Plus, 24 V DC ® ® ® Benennung HiPace 700 Plus mit HiPace 700 Plus mit HiPace 700 Plus mit TC 400, DN 160 ISO-K TC 400, DN 160 CF-F TC 400, DN 160 ISO-F TPS 310, Netzteil für Wand/Normschienenmontage...
  • Seite 34: Abweichungen Bei Hipace 700 Plus, 48 V Dc

    PM 016 467 -T ve Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter, Stiftschrau- Befestigungssatz für HiPace 700, DN 160 ISO-F, inklusi- PM 016 466 -T ve Zentrierring beschichtet, Splitterschutz, Stiftschrauben 12.2 Abweichungen bei HiPace 700 Plus, 48 V DC ® ® ® Benennung...
  • Seite 35: Technische Daten Und Maßbilder

    Technische Daten und Maßbilder 13 Technische Daten und Maßbilder 13.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen: Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelastung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● ISO 21360; 2007: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungs- daten von Vakuumpumpen - Allgemeine Beschreibung"...
  • Seite 36: Abweichungen Bei Hipace 700 Plus, 48 V Dc

    4,2 W 4,2 W Zulässiges Magnetfeld max. 6 mT 6 mT 6 mT Schnittstellen RS-485, Remote RS-485, Remote RS-485, Remote 13.3 Abweichungen bei HiPace 700 Plus, 48 V DC ® ® ® Parameter HiPace 700 Plus HiPace 700 Plus HiPace...
  • Seite 37: Maße

    13.4 Maße Ø8 DN 160 ISO-K DN 25 ISO-KF / G 1/4” M8 (6x) 145.5 Abb. 13: HiPace 700 Plus, DN 160 ISO-K Ø 8 DN 160 CF-F DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Abb. 14: HiPace 700 Plus, DN 160 CF-F Ø...
  • Seite 38: Konformitätserklärung

    ● Maschinen 2006/42/EG (Anhang II, Nr. 1 A) ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2004/108/EG Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 700 Plus Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen:...
  • Seite 39 Vakuumlösungen Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente aus einer Hand Beratung und zuverlässigen Service. Komplettes Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Produktsortiment Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.

Diese Anleitung auch für:

Pm p04 441Pm p04 440Pm p04 442

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