Zu dieser Anleitung Zu dieser Anleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Be- triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung er- folgt nach den geltenden EU-Richtlinien.
Zu dieser Anleitung Piktogramme Verbot einer Handlung oder Tätigkeit im Zusammenhang mit einer Ge- fahrenquelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Warnung vor der mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder Tätigkeit im Umgang mit einer Gefahren- quelle, deren Missachtung zu schwerwiegenden Unfällen führen kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument Anweisung im Text...
Medium oder von der gesamten Anlage ausgehen, auf- merksam zu machen. Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum Pumpen können mit einer Reihe von angepasstem Zubehör ausgestat- tet werden. Installation, Betrieb und Instandhaltung von Anschlussgeräten sind detail- liert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben.
Sicherheit ● Verbindung zum Schutzleiter (PE) wird empfohlen (Schutzklasse III). ● Während des Betriebs Steckerverbindungen nicht lösen. ● Vor Arbeiten am Hochvakuumflansch Stillstand des Rotors abwarten. ● Leitungen und Kabel von heißen Oberflächen (> 70 °C) fernhalten. ● Turbopumpe niemals mit Reinigungsmittel füllen oder betreiben. ●...
● die Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt wurden Verschlusssiegel warranty seal Das Produkt ist ab Werk versiegelt. Beschädigung oder Entfernen eines Verschluss- siegels führt zum Verlust der Gewährleistung. Produkt während der Gewährleistungszeit nicht öffnen! Bei prozessbedingt kürzeren Wartungsintervallen Pfeiffer Vacuum Service verständi- gen.
Transport und Lagerung Transport und Lagerung Transport Transportbehältnis der Vakuumpumpen wiederverwenden. Vakuumpumpen sollten in der Originalverpackung transportiert oder versendet werden. Schutzdeckel von Hoch- und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem Anschluss ent- fernen. Original-Schutzdeckel aufbewahren. Turbopumpe immer aufrecht transportieren. Lagerung ...
Made in Germany Abb. 1: Beispiel für ein Typenschild Varianten ● HiPace 700 Plus mit TC 400 und 24 V DC ± 5 % ● HiPace 700 Plus mit TC 400 und 48 VDC ± 5 % Lieferumfang ● Gegenstecker für den Anschluss "remote" an der TC 400 (typabhängig) ●...
Produktbeschreibung Funktion Die Pumpe HiPace 700 Plus bildet mit der Antriebselektronik TC 400 eine Einheit. Zur Spannungsversorgung dürfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden (z.B. TPS oder DCU). Abb. 2: Ansicht HiPace 700 Plus mit TC 400 Pumpengehäuse / Hochvakuum- Kühlwasseranschluss...
Produktbeschreibung Einsatzbereich Die Pumpen HiPace 700 Plus sind unter folgenden Umgebungsbedingungen zu instal- lieren und zu betreiben: Aufstellungsort wettergeschützt (Innenräume) Zul. Schutzart IP 54 Schutzklasse Umgebungstemperatur +5 °C bis +35 °C bei Luftkühlung +5 °C bis +40 °C bei Wasserkühlung max.
● Bei Verwendung von Gehäuseheizung und Wasserkühlung darf die Temperatur am Anschlussflansch der Vakuumkammer 120 °C nicht überschreiten. ● Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum zu- lässig. ● Der Einsatz in Anlagen, von denen stoßartige Belastungen und Vibrationen oder pe- riodische Kräfte auf die Geräte einwirken, ist nicht zulässig.
Einbaulagen HINWEIS Beschädigung der Pumpe durch falsche Einbaulage Die Turbopumpe HiPace 700 Plus ist nur mit dem Hochvakuumflansch nach oben zu installieren. Andere Einbaulagen sind nicht spezifiziert und können die Pumpe beschä- digen und zu fehlerhaften Prozessen führen. Pumpe nur mit vertikaler Rotorachse und Hochvakuumflansch nach oben installie- ren.
Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch dürfen ausschließlich die im Folgenden auf- geführten Bauteile verwendet werden. Die Bauteile für die Installation der Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm des Flanschmaterials beachten. GEFAHR Lebensgefahr - Unzulässige Befestigung...
Die Verbindungsarten für die Installation CF- mit CF-Flansch sind "Sechskantschraube und Durchgangsbohrung", "Stiftschraube und Gewindebohrung" sowie "Stiftschraube und Durchgangsbohrung". Folgende Elemente werden benötigt: ● der gültige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm ● Eine Kupfer-Dichtung ● Schutzgitter oder Splitterschutz sind optional Sechskantschraube und Durchgangsbohrung ...
Netzteil anschließen Für die Spannungsversorgung der Antriebselektronik TC 400 nur Original-Netzteile ver- wenden (z.B. TPS 310 oder DCU 310). Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit Pfeiffer Vacuum. Verbindungskabel stehen aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörpro- gramm zur Verfügung. WARNUNG Gefahr des elektrischen Schlags Bei Defekt können die mit dem Netz verbundenen Teile unter Spannung stehen.
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Einstellungen an der Antriebselektronik. Für den Anschluss von zwei Geräten an einem Zubehöranschluss den betreffenden Y-Verteiler (Y-Connector) aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm verwenden. Anschluss des Adapters an den rot gekennzeichneten Anschluss an der TC 400.
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Installation Vorvakuumseite an- Empfehlung: als Vorpumpe eine trockenverdichtende Vakuumpumpe oder Drehschie- schließen berpumpe aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen. Die Vorpumpe muss einen Vakuumdruck von ≤ 5 hPa erzeugen. WARNUNG Gesundheitsschäden durch giftige Gase Prozessgase können gesundheitsschädigend und umweltverschmutzend sein.
Pumpenunterteil Innensechskantschraube Luftkühlung Senkkopfschraube Pfeiffer Vacuum Luftkühlung mit zwei Schrauben an den vorgesehenen Bohrungen der Turbopumpe befestigen. Steuerleitung des Zubehörs in den korrespondierenden Zubehöranschluss an der TC 400 einstecken und festschrauben. Vorgabe für die Luftkühlung ist "accessory A1".
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Installation Heizmanschette Um den Enddruck schneller zu erreichen, können Turbopumpe und Rezipient ausge- heizt werden. Das Verwenden einer Heizmanschette ist nur bei Pumpen mit Hochvaku- umflansch in Edelstahlausführung zulässig. Die Heizdauer ist abhängig vom Verschmut- zungsgrad des Prozesses sowie dem zu erreichenden Enddruck und sollte mindestens 4 Stunden betragen.
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● Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50% des maximalen Gasdurchsatzes ist zur Ge- währleistung der Rotorkühlung Sperrgas zu verwenden. ● Die Durchflussmenge für Sperrgas beträgt 12,5 - 15 sccm für die HiPace 700 Plus. Sperrgasversorgung mit Steuerventil Abb. 8: Sperrgasventil anschließen...
Installation Wasserkühlung Die Turbopumpen HiPace 700 Plus mit TC 400 sind serienmäßig wassergekühlt. ● Bei erhöhtem Vorvakuumdruck (> 0,1 hPa) und/oder Betrieb mit hohem Gasdurchsatz muss wahlweise Luft- oder Wasserkühlung verwendet werden. ● Bei Umgebungstemperaturen > +35 °C generell Wasserkühlung verwenden.
Betriebsarten Folgende Betriebsarten sind möglich: ● Betrieb ohne Bediengerät ● Betrieb über Anschluss "remote" ● Betrieb über RS-485 und Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder PC ● Betrieb über Feldbus Funktionsbeschreibung WARNUNG Gefahr durch offenen Hochvakuumflansch Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher Geschwindigkeit. Bei offenem Hochva- kuumflansch besteht die Gefahr von Schnittverletzungen und durch hineinfallende Ge- genstände die Gefahr, dass die Pumpe zerstört wird.
Antriebselektronik möglich. Für den Betrieb mit Fernbedienung folgende Dokumente beachten: ● Betriebsanleitung "Antriebselektronik TC 400" Betrieb mit Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät folgende Doku- DCU oder HPU mente beachten: ● Betriebsanleitung "DCU"...
Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max. 15 hPa/s für 20 s. – Der Ventilquerschnitt für die Flutrate von 15 hPa/s muss auf die Größe des Rezipi- enten abgestimmt werden. – Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil verwenden. Anschließend mit einem zusätzlichen, beliebig großen Flutventil fluten.
Gesundheitsgefährdungen durch gefährliche Substanzen zu verhindern. Betreffende Teile vor der Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren. HINWEIS Haftungsausschluss Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Haftung für Personen- oder Sachschäden, die auf- grund unsachgemäß ausgeführter Wartung entstehen. Der Haftungs- und Gewährleis- tungsanspruch erlischt. Wartungsintervalle und -zuständigkeiten ●...
Wartung / Austausch Abb. 11: Montage / Demontage Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel Spritzmutter O-Ring Betriebsmittelspeicher Innensechskantschraube Innensechskantschrauben (3x) aus dem Verschlussdeckel an der Unterseite der Tur- bopumpe herausschrauben. Verschlussdeckel abnehmen. Auf O-Ring achten. Betriebsmittelspeicher aus der Lagerfassung herausnehmen. Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen, fus- selfreien Tuch entfernen.
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Wartung / Austausch Abb. 12: Montage / Demontage der TC 400 Antriebselektronik Innensechskantschraube Keine mechanische Belastung auf die Antriebselektronik ausüben. Vakuumpumpe ausschalten, auf Atmosphärendruck fluten und abkühlen lassen. Pumpe und Antriebselektronik nur nach völligem Stillstand und unterbrochener Ver- sorgungsspannung trennen.
Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit überprüfen. Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen. Ggf. Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen. Ggf. Lagerwechsel durchführen lassen. Dabei die Gesamtlaufzeit beachten. Betriebsmittelspeicher wechseln.
● Sammelfehler Reset durch Netz aus/einschalten Reset über Pin 13 am Anschluss "REMOTE" Differenzierte Fehleranzeige über Anschluss "RS-485" Pfeiffer Vacuum Service verständigen Steht kein Pfeiffer Vacuum Bediengerät zur Verfügung bitte den Pfeiffer Vacuum Service verstän- digen.
Für eine schnelle und reibungslose Abwicklung sind folgende Schritte notwendig: Service-Anforderung und Erklärung zur Kontaminierung herunterladen. Service-Anforderung ausfüllen und per Fax oder Email an Ihre Pfeiffer Vacuum Service-Adresse senden. Bestätigung der Service-Anforderung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen.
Technische Daten und Maßbilder 13 Technische Daten und Maßbilder 13.1 Allgemeines Grundlagen für Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen: Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelastung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ● ISO 21360; 2007: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungs- daten von Vakuumpumpen - Allgemeine Beschreibung"...
● Maschinen 2006/42/EG (Anhang II, Nr. 1 A) ● Elektromagnetische Verträglichkeit 2004/108/EG Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 700 Plus Harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen und Spezifikationen:...
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Vakuumlösungen Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente aus einer Hand Beratung und zuverlässigen Service. Komplettes Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System: Produktsortiment Wir verfügen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik über ein komplettes Produktsortiment.