Inhaltsverzeichnis
Werbung
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
PŘÍCHYTNÉ
PŘÍRUBA
ZAŘÍZENÍ
ISO 63
Spony M10
Příchytky M8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit
k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian.
Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Vývěvu Mini-TASK AG81 nelze připevnit pomocí její podstavy.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí
překročit 120 °C.
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
VÝSTRAHA!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
VÝSTRAHA!
Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy
během jejího chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také
ke zranění osob či škodám na věcech.
!
VAROVÁNÍ
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic
a vlhkosti (např. dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být
menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
UTAHOVACÍ
POČET
MOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
55/84
Zapnutí a používání vývěvy Mini-TASK AG81
Vývěvu Mini-TASK AG81 stačí zapojit do sítě a pak zapnout
venkovní vypínač (rozsvítí se červená kontrolka). Vestavěný
regulátor automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a
spustí vývěvu.
Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na
regulátoru "měkký start". U dalších spuštění se doporučuje
"měkký start" zrušit. Chcete-li informace k aktivaci "měkkého
startu", viz odstavec
"Popis signálu" v kapitole "Technické
informace".
Modrá LED kontrolka „STATUS" na panelu základny modelu
Mini-TASK AG81 ukazuje prostřednictvím rychlosti svého
blikání operační stav systému:
•
bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu "čekání na
blokování";
•
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy Mini-TASK AG81
v příloze "Technické informace.
Vypnutí vývěvy Mini-TASK AG81
Vývěvu Mini-TASK AG81 stačí vypnout externím vypínačem,
který přepnete do vypnuté polohy (červená kontrolka zhasne).
Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy Mini-TASK AG81 v nouzové
situaci je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky,
nebo vypnout síťový vypínač.
ÚDRŽBA
Vývěva Mini-TASK AG81 nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko
společnosti Varian.
POZNÁMKA
Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za
repasované zařízení,musíte vyplnit list
(Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej
místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
"Health and Safety"
87-901-003-01(A)
Werbung
Inhaltsverzeichnis
