Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
Mini-TASK
Model 969-9170
Model 969-9171
Model 969-9172
87-900-962-01(A)
OCTOBER 2004
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Varian Mini-TASL 969-9170
Inhaltszusammenfassung für Varian Mini-TASL 969-9170
- Seite 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Mini-TASK MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969-9170 INSTRUKSTIONSBOG Model 969-9171 BRUKSANVISNING Model 969-9172 INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NÁVOD K POUŽITÍ NÁVOD NA OBSLUHU PRIROČNIK ZA NAVODILA 87-900-962-01(A) INSTRUCTION MANUAL OCTOBER 2004...
- Seite 2 Mini-TASK...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE MINI-TASK ...................52... -
Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Seite 7: Informazioni Generali
è istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene per la tutela dell'ambiente. sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di... - Seite 8 è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria “Waiting for interlock”; meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice − lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): "Technical Information".
-
Seite 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Seite 10: Allgemeine Informationen
ACHTUNG! LAGERUNG Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen. Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einla- gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht... -
Seite 11: Wartung
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren- Bei Defekten kann der Varian Service. nungsgefahr. HINWEIS Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand- ACHTUNG! buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen- Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen den. -
Seite 12: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Seite 13: Indications Générales
STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes : •... - Seite 14 Varian. lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les paliers NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation, ATTENTION ! remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité Santé" jointe présent manuel Pour le "refoulement à...
-
Seite 15: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Seite 16: Información General
Varian antes de completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la usar el aparato. Varian se considera libre de posibles directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de... - Seite 17 − parpadea rápidamente (período específicos Varian. Para más detalles véase el anexo aproximadamente): situación de error. “Technical Information”. Una descripción detallada del panel de control del Mini-TASK NOTA aparece en el apéndice "Technical Information". El Mini-TASK no puede fijarse utilizando su base.
-
Seite 18: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. -
Seite 19: Informações Gerais
Varian antes de utilizar a escritório de vendas local. aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para... - Seite 20 A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à de erro. câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando apêndice "Technical Information".
-
Seite 21: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Seite 22: Algemene Informatie
Varian acht zich niet verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in EEG milieurichtlijn 85/399. acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik... - Seite 23 TASKgeeft door de frequentie van zijn knipperen, de vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale werkcondities van het systeem aan: mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; informatie de bijlage "Technical information". knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop”...
-
Seite 24: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. - Seite 25 Mini-TASK leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af der kan være opstået under transporten.
- Seite 26 50°C. ADVARSEL! Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i reparationsværksted. skade på personer. BEMÆRK...
-
Seite 27: Säkerhetsanvisningar
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Seite 28: Allmän Information
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras dokumentation från Varian före användning av utrustningen. med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på handskar eller liknande skydd. åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen... - Seite 29 Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av Mini-TASK anger, Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer fast sken: pumpen roterar normalt; hänvisas till bilaga “Technical Information”.
-
Seite 30: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Seite 31: Generell Informasjon
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av hansker eller andre og passende verneutstyr. - Seite 32 (ca. hver 400 ms): systemet er i vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”. interlock” den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
-
Seite 33: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-962-01(A) -
Seite 34: Yleisiä Tietoja
Käyttäkää aina käsineitä tai ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota muuta sopivaa suojausta. vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä... - Seite 35 KÄYTTÖOHJEET Turbopumppu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää Mini-TASK:n käynnistys ja käyttö tyhjiökammioon kaksois- yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden Käynnistä Mini-TASK kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla vaadittava määrä ja kiristysmomentti. ulkokatkaisin ON-asentoon (punainen valo syttyy). Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää...
-
Seite 36: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε... - Seite 37 £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn PROSOCH odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou...
- Seite 38 H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂ To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma tou Mini-TASK endeiknÚei, me th sucnèthta pou anabosbÿnei, tij "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
-
Seite 39: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Seite 40 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan FIGYELEM eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta...
- Seite 41 M8 kapcsok 11 Nm információ” fejezetben. A Mini-TASK-on elhelyezett zöld LD1 LED a villogásának A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért • nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;...
-
Seite 42: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Seite 43 MAGAZYNOWANIE UWAGA ! W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian , muszą być momencie połączenia pompy do systemu. przestrzegane następujące zalecenia: • podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, mogą...
- Seite 44 − miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu. zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego Mini-TASK informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje Techniczne”.
-
Seite 45: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Seite 46 Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného vakuu.
- Seite 47 Mini-TASK indikuje provozní stavy systému blikáním: připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu • bez blikání: vývěva se otáčí normálně; firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické • pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna informace".
-
Seite 48: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Seite 49 Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. 85/399. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, UPOZORNENIE zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani Ak chcete predísť...
- Seite 50 Mohli by sa poškodiť povrchu vývevy neklesne pod 50 şC. ložiská. V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko spoločnosti Varian. UPOZORNENIE POZNÁMKA Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu, častíc a vlhkosti (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí...
-
Seite 51: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Seite 52 Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
- Seite 53 NAVODILA ZA UPORABO Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na Vklop in uporaba Mini-TASK-a vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Za vklop Mini-TASK-a je dovolj, da priključite napetost in Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval premaknete zunanje stikalo v položaj ON (rdeča lučka sveti).
-
Seite 54: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Seite 55: General Information
Varian before operating the equipment. to handle components which will be exposed to vacuum. Varian will not be held responsible for any events occurring due Always use gloves or other appropriate protection. to non-compliance, even partial, with these instructions,... - Seite 56 50 °C. CAUTION In the case of breakdown, contact your local Varian service Use inert gas free from dust, particles or humidity (like center.
-
Seite 57: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE MINI-TASK The Mini-TASK pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: − Model 969-9170 with KF 40 high vacuum flange;... -
Seite 58: Controller Description
TECHNICAL INFORMATION Controller Description CONTROL NAME DESCRIPTION The integrated controller is a solid-state frequency ON-OFF red It is located on the other side of the sys- converter which is driven by a single chip micro- switch with inte- tem (with respect to the illustrated control computer and is composed of a PCB which in- grated light panel). -
Seite 59: Mini-Task Outline
TECHNICAL INFORMATION MINI-TASK OUTLINE NOTE The following figure shows the Mini-TASK outline. When the Mini-TASK has been stored at a tempera- ture less than 5°C, wait until the Mini-TASK has reached the above mentioned temperature. 87-900-962-01(A) - Seite 60 TECHNICAL INFORMATION Graph of pumping speed vs inlet pressure Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 87-900-962-01(A)
-
Seite 61: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di- INLET SCREEN INSTALLATION mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange (on the left side) and pump with 4.5” CFF flange (on the right side). The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter. -
Seite 62: High Vacuum Flange Connection Configurations
CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may For ConFlat flange connections we recommend cause the pump rotor to lock. using Varian hardware. HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS 87-900-962-01(A) -
Seite 63: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS J5 - IN-OUT Input power connector (Line type) The following figure show the input power connec- tor. This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the Mini-TASK. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. -
Seite 64: Soft Start
TECHNICAL INFORMATION SPEED SETTING: PWM input signal to set the PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec- pump speed. The PWM signal characteristics must tor output signal is enabled when the reference be the following: quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. - Seite 65 TECHNICAL INFORMATION How to connect the open collector to the controller’s input Here below there are the typical connections of the input of Mini-TASK to an external device. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open col- lector pin are available.
-
Seite 66: J6 - Serial
TECHNICAL INFORMATION How to connect the outputs of the controller RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION The following figure shows a typical logic output Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are connection (relay coil) but any other device may available on the connector P2. - Seite 67 TECHNICAL INFORMATION The field length is variable according to the Command: STOP data type as per the following table: Source: PC Destination: Controller FIELD VALID DATA TYPE LENGTH CHARACTERS Logic (L) ‘0’ = OFF STX ADDR WINDOW OFF ETX ‘1’ = ON Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’...
-
Seite 68: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Command: READ PUMP STATUS Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller (with address = 3) Set Point (default = 1125) threshold (expressed in Hz, mA or s) STX ADDR WINDOW Set Point de- 0 to 99999 lay: time be- (default = 0) tween the... - Seite 69 Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Set vent On = 1 Reserved to Varian service valve on/off Off = 0 (on = closed) (default = 1) QE8XXXX Reserved to Varian service EPROM (where “XXXX” (QE) are variable)
-
Seite 70: Use In Presence Of Magnetic Fields
In general, therefore, an increase in pump current Inlet screen DN40 969-9309 can be expected. Inlet screen DN63 969-9300 Vibration damper, DN 63 ISO 969-9340 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 87-900-962-01(A) -
Seite 71: Customer Information
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. - Seite 72 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 73 Fax: (82) 2 3452 2451 Korea China Mexico Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line) Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. vtk.technical.support@varianinc.com Room 1201, Jinyu Mansion Concepcion Beistegui No 109 No. 129A, Xuanwumen Xidajie Col Del Valle Xicheng District C.P.