Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
Varian Mini-TASK AG81 Bedienungshandbuch
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Varian Anleitungen
  4. Pumpen
  5. Mini-TASK AG81
  6. Bedienungshandbuch

Varian Mini-TASK AG81 Bedienungshandbuch

Turbomolekularpumpen
Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
Mini-TASK AG81
Model 969-9180
Model 969-9181
Model 969-9182
87-901-003-01(A)
APRIL 2008
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
idealvac.com
(505)872-0037
idealvac.com

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Varian Mini-TASK AG81

Inhaltszusammenfassung für Varian Mini-TASK AG81

  • Seite 1 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Mini-TASK AG81 (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING Model 969-9180 INSTRUKSJON MANUAL Model 969-9181 (FIN) OHJEKÄSIKIRJA Model 969-9182 (GR) ODHGIES CRHSEWS FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ...
  • Seite 2 Mini-TASK AG81...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................49 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................53 NÁVOD K POUŽITIU............................57 NAVODILA ZA UPORABO..........................61 INSTRUCTIONS FOR USE..........................65 TECHNICAL INFORMATION ...........................69 DESCRIPTION OF THE MINI-TASK AG81.................69 Turbopump Description .....................69 Controller Description ......................70 Diaphragm Forepump Description..................70 Control Panel Description ....................70 TECHNICAL SPECIFICATION ....................70 MINI-TASK AG81 OUTLINE ......................71 INLET SCREEN INSTALLATION ....................73...

  • Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

  • Seite 7: Informazioni Generali

    ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Mini-TASK AG81 e a non Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. sottoporlo ad urti o vibrazioni. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di...
  • Seite 8 Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del Mini-TASK AG81 vedere l'appendice "Technical Information". NOTA Il Mini-TASK AG81 non può essere fissato tramite la sua base. Arresto del Mini-TASK AG81 Per arrestare il Mini-TASK AG81 è sufficiente mettere in Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical...

  • Seite 9: Smaltimento

    ISTRUZIONI PER L'USO SMALTIMENTO Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.

  • Seite 10: Sicherheitshinweise

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Seite 11: Allgemeine Informationen

    GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINE INFORMATIONEN Modell Mini-TASK AG81 ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. ist. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...

  • Seite 12: Wartung

    Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An- Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell Mini-TASK AG81 gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be- hang "Technical Information". triebsbedingungen des System an: HINWEIS Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be- trieb.

  • Seite 13: Entsorgung

    GEBRAUCHSANLEITUNG ENTSORGUNG Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.

  • Seite 14: Normes De Sécurité

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

  • Seite 15: Indications Générales

    En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre Le Mini-TASK AG81 est livré dans un emballage de protection renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être Le Mini-TASK AG81 peut être installée dans n'importe quelle...
  • Seite 16 Pour allumer le Mini-TASK AG81, il suffit de le brancher au réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON (lumière...
  • Seite 17 MODE D’EMPLOI MISE AU REBUT Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...

  • Seite 18: Indicaciones De Seguridad

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

  • Seite 19: Información General

    INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se INFORMACIÓN GENERAL caiga el Mini-TASK AG81 y de no someterlo a golpes o Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer vibraciones. atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier No abandonar el embalaje en el medio ambiente.
  • Seite 20 Encendido y Uso del Mini-TASK AG81 de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La Para encender el Mini-TASK AG81 basta conectar la tensión de tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON (luz roja mordazas necesarias y con qué...
  • Seite 21 INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...

  • Seite 22: Indicações De Segurança

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.

  • Seite 23: Informações Gerais

    Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à não deixar cair o Mini-TASK AG81 e para não submetê-lo a câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A choques ou vibrações.
  • Seite 24 Acendimento e Utilização do Mini-TASK AG81 número de grampos e o torque de aperto necessários. Para ligar o Mini-TASK AG81 é suficiente conectá-lo à rede de alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON FLANGE...
  • Seite 25 INSTRUÇÕES PARA O USO ELIMINAÇÃO Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.

  • Seite 26: Veiligheidsinstructies

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Seite 27: Algemene Informatie

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini-TASK AG81 niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De Laat verpakking niet ergens buiten achter. gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle...
  • Seite 28 De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype, Inschakeling en gebruik van de Mini-TASK AG81 het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee Om de Mini-TASK AG81 in te schakelen is het voldoende om ze vastgezet moeten worden. voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de stand ON te zetten (rood lichtje brandt).

  • Seite 29: Afvalverwerking

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.

  • Seite 30: Sikkerhedsanvisninger

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
  • Seite 31 Sørg for, at Mini-TASK AG81 ikke tabes eller udsættes for stød kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der ved udpakningen.
  • Seite 32 Start og anvendelse af Mini-TASK AG81 felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for Tænding af Mini-TASK AG81 sker ved blot at tilslutte strømmen yderligere oplysninger. Mini-TASK AG81 kan installeres i en og indstille den udvendige afbryder i position ON (rød hvilken som helst position.

  • Seite 33: Bortskaffelse

    BRUGSANVISNING BORTSKAFFELSE Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...

  • Seite 34: Säkerhetsanvisningar

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Seite 35: Allmän Information

    (se schemat i "Technical information"). Se till att Mini-TASK AG81 inte tappas eller utsätts för stötar vid Mini-TASK AG81 kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i uppackningen. ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en...
  • Seite 36 Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får Nödstopp temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C. Stäng av Mini-TASK AG81 vid en nödsituation genom att dra ut elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa brytaren i läge OFF. ...
  • Seite 37 BRUKSANVISNING BORTSKAFFNING Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD- direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.

  • Seite 38: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...

  • Seite 39: Generell Informasjon

    Mini-TASK AG81 kan monteres i en valgfri stilling. Fest Mini- Når Mini-TASK AG81 pakkes ut, må du se til at det ikke slippes TASK AG81 i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Seite 40 Starte og bruke Mini-TASK AG81 vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. For å slå på Mini-TASK AG81 er det nok å kople til strømmen Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det og dreie den utvendige bryteren til ON (rødt lys tennes). Den relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer.
  • Seite 41 BRUKERVEILEDNING ELIMINERING Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC- direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...

  • Seite 42: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.  VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 37/84 87-901-003-01(A)

  • Seite 43: Yleisiä Tietoja

    Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta. laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota " vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden HUOMIO! täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin ammattitaidottoman henkilön virheellisestä...
  • Seite 44 Mini-TASK AG81:n käynnistys ja käyttö tyhjiökammioon kaksois- yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Käynnistä Mini-TASK AG81 kytkemällä sähkö päälle ja Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon (punainen valo syttyy). vaadittava määrä ja kiristysmomentti. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun.
  • Seite 45 KÄYTTÖOHJEET HÄVITTÄMINEN Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE- direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää...

  • Seite 46: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Seite 47 £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn PROSOCH odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou...
  • Seite 48 /Enaush kai Crÿsh tou Mini-TASK AG81 ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akèlouqh Για το άναµµα του Mini-TASK AG81 αρκεί να παρέχετε την τάση tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto τροφοδότησης και να θέσετε στη θέση ON τον εξωτερικό διακόπτη...
  • Seite 49 ODHGIES CRHSHS Χώνευση Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω σύµβολο εφαρµόζεται σύµφωνα µε την ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονοµάζεται "WEEE". Αυτό το σύµβολο (που ισχύει µόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρµοσµένο, ∆ΕΝ...

  • Seite 50: Biztonsági Útmutató

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Seite 51 A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. EEC 85/399-es direktívának. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan FIGYELEM eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta...
  • Seite 52 KI állásba kell kapcsolni. KARBANTARTÁS  VIGYÁZAT! A Mini-TASK AG81 nem igényel karbantartást. A rendszeren Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a végzett bármely munkát jogosult személyzetnek...
  • Seite 53 HASZNÁLATI UTASÍTÁS MEGSEMMISÍTÉS A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. szimbólum (mely csak Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...

  • Seite 54: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
  • Seite 55 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu Mini-TASK AG81 Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje każdą...
  • Seite 56 ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for INFORMACJA interlock”; − System Mini-TASK AG81 nie może być mocowany poprzez miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu. własną podstawę. Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego Mini-TASK AG81 należy...

  • Seite 57: Przetworstwo Odpadow

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol (prawomocny tylko krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany miejscu przeznaczonym...

  • Seite 58: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...

  • Seite 59: Všeobecné Informace

    Vývěvu Mini-TASK AG81 lze instalovat v libovolné poloze. dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Vývěvu Mini-TASK AG81 upevněte v nějaké stabilní poloze a Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte vstupní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která...
  • Seite 60 Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí Zapnutí a používání vývěvy Mini-TASK AG81 připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a Vývěvu Mini-TASK AG81 stačí zapojit do sítě a pak zapnout příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a venkovní vypínač (rozsvítí se červená kontrolka). Vestavěný...
  • Seite 61 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ LIKVIDACE Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...

  • Seite 62: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...
  • Seite 63 špecifickými štandardmi danej POZNÁMKA krajiny. Mini-TASK AG81 je integrovaný systém s turbovývevou pre Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže Mini-TASK určený pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké AG81 poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo vákuum, spojený...
  • Seite 64 Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory Núdzové zastavenie nesmie prekročiť 120 şC. Ak chcete zariadenie Mini-TASK AG81 okamžite vypnúť v stave  núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky VAROVANIE! zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy OFF.
  • Seite 65 NÁVOD K POUŽITIU LIKVIDÁCIA Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť...

  • Seite 66: Varnostna Navodila

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ...
  • Seite 67 Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja. za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
  • Seite 68 Vklop in uporaba Mini-TASK AG81-a vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme. Za vklop Mini-TASK AG81-a je dovolj, da priključite napetost in Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval premaknete zunanje stikalo v položaj ON (rdeča lučka sveti).

  • Seite 69: Odlaganje Opadkov

    NAVODILA ZA UPORABO ODLAGANJE OPADKOV Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...

  • Seite 70: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.

  • Seite 71: General Information

    See the appendix "Technical PREPARATION FOR INSTALLATION Information" for detailed information. The Mini-TASK AG81 can be installed in any position. Fix the The Mini-TASK AG81 is supplied in a special protective Mini-TASK AG81 in a stable position connecting the inlet flange packing.
  • Seite 72 Switching on and Use of Mini-TASK AG81 vacuum chamber by means of clamps or claws. The following To switch on the Mini-TASK AG81 it is sufficient to supply the table shows, for each fixing device, the necessary number of mains and then move the external switch to ON position (red clamps or claws and the relevant fixing torque.
  • Seite 73 INSTRUCTIONS FOR USE DISPOSAL Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.

  • Seite 74: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE MINI-TASK AG81 The Mini-TASK AG81 pumping system consists of a pump with an integrated controller and a fore- pump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: −...

  • Seite 75: Controller Description

    (optional) J2 SERIAL Serial input-output connector to control Storage temperature - 20° C to + 70° C the Mini-TASK AG81 via an RS 232 or Weight kg (lbs) ISO and KF: 7.5 (16) RS 485 connection CFF: 8.3 (18)

  • Seite 76: Mini-Task Ag81 Outline

    TECHNICAL INFORMATION MINI-TASK AG81 OUTLINE NOTE The following figure shows the Mini-TASK AG81 When the Mini-TASK AG81 has been stored at a tem- outline. perature less than 5°C, wait until the Mini-TASK AG81 has reached the above mentioned temperature. 71/84...
  • Seite 77 TECHNICAL INFORMATION Graph of pumping speed vs inlet pressure Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) 72/84 87-901-003-01(A)

  • Seite 78: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di- INLET SCREEN INSTALLATION mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange (on the left side) and pump with 4.5” CFF flange (on the right side). The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by dust greater than 0.7 mm diameter.

  • Seite 79: High Vacuum Flange Connection Configurations

    CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may For ConFlat flange connections we recommend cause the pump rotor to lock. using Varian hardware. HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS 74/84 87-901-003-01(A)

  • Seite 80: Interconnections

    TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS P1 – Vent Input power connector The following figure show the input power connec- tor. Vent Connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller auto- matically or by serial line.

  • Seite 81: J5 - Gauge Connector

    TECHNICAL INFORMATION J5 – Gauge Connector Mini-TASK AG81 is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Varian “EyeSys Mini-IMG” gauge. The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement instrument based on the inverted magnetron ion gauge design (see orderable parts table).

  • Seite 82: Signal Description

    TECHNICAL INFORMATION INPUT/ 1400 PIN N. SIGNAL NAME OUTPUT 1350 START/STOP (+) 1300 START/STOP (-) 1250 INTERLOCK (+) 1200 1150 INTERLOCK (-) 1100 SPEED SETTING (+) 1050 SPEED SETTING (-) SOFT START (+) Duty Cycle [%] SOFT START (-) PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this out- +24 Vdc = 30 mA put signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) propor-...
  • Seite 83 1,0E-06 controller 1,0E-07 Here below there are the typical connections of the 1,0E-08 open collector input of Mini-TASK AG81 to an ex- 1,0E-09 ternal system. Two cases are considered: Voltage (V) the customer supplies the 24 Vdc FAULT: this open collector output signal is ON the customer does not supply the 24 Vdc.

  • Seite 84: J2 - Serial

    Typical output connection 1 J2 - Serial Case 2 with relay utilisation This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Mini-TASK AG81. PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT) TX (RS232)

  • Seite 85: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    NOTE Communication Format Varian cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated emissions unless all exter- • 8 data bit nal wiring is shielded, with the shield being termi- •...
  • Seite 86 TECHNICAL INFORMATION where: FIELD VALID NOTE DATA TYPE LENGTH CHARACTERS When a data is indicated between two quotes (‘...’) Logic (L) ‘0’ = OFF it means that the indicated data is the correspond- ‘1’ = ON ing ASCII character. Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’...

  • Seite 87: Window Meanings

    TECHNICAL INFORMATION Command: SOFT-START (ON) Read/ Data Description Admitted Source: PC Write Type Values Destination: Controller Remote Remote = 1 or Serial con- Serial = 0 figuration STX ADDR WINDOW (default = 1) Soft Start YES = 1 Source: Controller (write only NO = 0 Destination: PC...
  • Seite 88 = + or - roed by the reset com- Pressure unit 0 = mBar mand) of measure 1 = Pa 2 = Torr Reserved to Varian service Stop speed 0 = disable reading 1 = enable Activates / QE8XXXX (default = 0) deactivates EPROM (where “XXXX”...

  • Seite 89: Orderable Parts

    122. For a complete overview of Varian's extensive 3. These commands remove the pump motor product lines, please refer to the Varian catalog. supply for a short time. If they are used con- tinuously, they can cause the pump stopping.
  • Seite 90 NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Seite 91 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Seite 92 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.

Diese Anleitung auch für:

969-9180969-9181969-9182

Inhaltsverzeichnis