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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum SmartTest HLT 550
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum SmartTest HLT 550
- Seite 1 SmartTest HLT 550 HLT 560 HLT 570 Wartungsanleitung...
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Übertragen Sie deshalb diese Angaben auf das Ebenbild. Fig. 0-1 Produktidentifikation Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikelnummer SmartTest PT L02 100 (HLT 560, 230 V~, mit Drehschieberpumpe UNO 005 A) -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Wartungsanleitung Wichtige Hinweise Verwendete Symbole 1.2.1 Zu dieser Wartungsanleitung 1.2.2 Sicherheitshinweise 1.2.3 Allgemeine Bestimmungen 1.2.4 Dokumentenverzeichnis Aufbau und Funktionsbeschreibung 1.3.1 Systemübersicht 1.3.1.1 Blockschaltbild 1.3.1.2 Netzverdrahtung und Erdung 1.3.2 Pumpsystem 1.3.2.1 Vorvakuumpumpe 1.3.2.2 Turbopumpe SplitFlow 80 mit Antriebselektronik TC 110 14 1.3.2.3 Vakuummessung 1.3.2.4... - Seite 4 1.6.2.2 Pirani-Messelemente P1 und P2 reinigen 1.6.2.3 Ventilblock reinigen, Dichtungen ersetzen und Ventile revidieren 1.6.3 Lüfter 1 1.6.3.1 Filtermatte reinigen / ersetzen 1.6.4 LP 5xx 1.6.4.1 Kapillarfilter ersetzen 1.6.4.2 Sinterfilter ersetzen 1.6.5 Wartungskontrolle 1.6.5.1 Wöchentlich auszuführende Arbeiten 1.6.5.2 Jährlich auszuführende Arbeiten 1.6.5.3 Alle 2 Jahre auszuführende Arbeiten 1.6.5.4...
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Seite 5: Wartungsanleitung
Kunde mit PFEIFFER VACUUM Serviceausbildung oder PFEIFFER VACUUM-Servicetechniker → Wartungsplan Kapitel 1.4. → PFEIFFER VACUUM bietet Kurse zu Reparaturstufe II und III an. Verwendete Symbole Es werden nachfolgende Darstellungen mit erläuterndem Text verwendet, um gezielt auf Restgefahren bei der bestimmungsgemässen Verwendung aufmerksam zu machen und wichtige technische Erfordernisse zu betonen. -
Seite 6: Zu Dieser Wartungsanleitung
Fachpersonal Mit diesem Symbol bezeichnete Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen. 1.2.1 Zu dieser Wartungsanleitung Die vorliegende Wartungsanleitung enthält Erläuterungen zur periodischen Wartung des HLT5xx. Angaben zur Bedienung des Gerätes, die Gerätebeschreibung sowie technische Daten finden Sie in der separaten Betriebsanleitung. -
Seite 7: Dokumentenverzeichnis
Defekte, die durch Missachtung von Schutzmassnahmen entstehen, können zum Verlust des Gewährleistungsanspruches führen. • PFEIFFER VACUUM übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls das Produkt umgebaut worden ist, oder mit Zubehör betrieben wird, das in der zugehörigen Produktdokumentation nicht aufgeführt ist. -
Seite 8: Aufbau Und Funktionsbeschreibung
Aufbau und Funktionsbeschreibung Der HLT5xx ist ein mikroprozessor gesteuertes Lecksuchgerät, das mit modernsten elektronischen und elektromechanischen Komponenten ausgerüstet ist. Alle Abläufe im Gerät werden somit automatisch gesteuert. 1.3.1 Systemübersicht Fig. 1-1 HLT5xx Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Ölnebelfilter (nur HLT 560) Ventil V1 Halter Lüfter 2 Ventilator 1... -
Seite 9: Blockschaltbild
1.3.1.1 Blockschaltbild Fig. 1-2 HLT5xx Blockschaltbild... -
Seite 10: Netzverdrahtung Und Erdung
1.3.1.2 Netzverdrahtung und Erdung (auf Verdrahtungsebene) Fig. 1-3 Netzverdrahtung und Erdung... -
Seite 11: Pumpsystem
1.3.2 Pumpsystem Das Pumpsystem besteht aus einer Vorvakuumpumpe, einer Turbopumpe, einem Heliumsensor und einem Ventilblock, der die meisten Verbindungen zwischen dem Heliumsensor und dem Testanschluss herstellt. Der schematische Aufbau des Pumpsystems ist in Fig. 1-4 dargestellt. Test port Testanschluss Pressure test connection Helium- Druck Testanschluss Sensor... -
Seite 12: Vorvakuumpumpe
1.3.2.1 Vorvakuumpumpe a) HLT 560: UNO 005A (→ Fig. 1-5) Einstufige, ölgekapselte Drehschieberpumpe mit einem Nennsaugvermögen von /h bei 50 Hz und 5 m /h bei 60 Hz. Fig. 1-5 UNO 005A Pos. Beschreibung Ölstandsschauglas Markierung Ölstand minimal Markierung Ölstand maximal Ölablass Öleinlass... - Seite 13 b) HLT 570: MVP 035 (→ Fig. 1-6) Zweistufige Membranvakuumpumpe für absolut ölfreies Pumpen von Gasen mit einem Saugvermögen von 2 m Fig. 1-6 MVP 035 c) HLT 550: Externe Vorvakuumpumpe Am HLT 550 kann unten über den Anschlussflansch KF 25 eine externe Vorvakuumpumpe angeschlossen werden.
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Seite 14: Turbopumpe Splitflow 80 Mit Antriebselektronik Tc 110
1.3.2.2 Turbopumpe SplitFlow 80 mit Antriebselektronik TC 110 Fig. 1-7 SplitFlow 80 mit Antriebselektronik TC110... -
Seite 15: Vakuummessung
1.3.2.3 Vakuummessung Pirani-Messelemente P1 und P2 P1 misst den Vorvakuumdruck in der Turbomolekularpumpe. P2 misst den Druck im Testanschluss. to the valve block zum Ventilblock Pirani measuring elements Pirani-Messelemente Holder Halter Fig. 1-8 Vakuummessung... -
Seite 16: Ventilblock
1.3.2.4 Ventilblock Fig. 1-9 Ventilblock Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung Testanschluss Belüftungsanschluss Anschluss Vorpumpe Einschraubflansch optional VV Pumpe Ventilblock internes Testleck Elektromagnetventile V1 bis V6. Die Ventile haben je nach Aufgabe unterschiedliche Nennweiten und Öffnungskräfte. V2 und V6 sind ausgelegt für 0,0 – 1,1 bar (öffnen gegen Atmosphäre). V1, V3, V4 und V5 sind ausgelegt für 0,0 –... -
Seite 17: Schnüffelsonde Lp 5Xx
1.3.3 Schnüffelsonde LP 5xx (3 m / 5 m / 10 m) (218) (120 / 385) Capillary filter standard: plastic option: metal Sniffer line Handle Sniffer tip Kapillarfilter Schnüffelsonde Handgriff Standard: Kunststoff Schnüffelspitze Option: Metall TP 312 Tip 120 mm stiff BG 449 215 -T TP 385 Tip 385 mm stiff BG 449 216 -T TP 312 Spitze 120 mm steif BG 449 215 -T TP 385 Spitze 385 mm steif BG 449 216 -T... -
Seite 18: Analysenteil
1.3.4 Analysenteil 1.3.4.1 Nachweissystem Das Nachweissystem besteht im wesentlichen aus der Ionenquelle (Pos. 1, 2, 3 und 11), dem magnetischen Trennsystem und dem Ionenfänger. Die Ionenquelle ionisiert neutrale Gasteilchen und erzeugt daraus einen Ionenstrahl. Die positiv geladenen Ionen werden aus der Ionenquelle heraus beschleunigt und gelangen anschliessend in das Magnetfeld. - Seite 19 Fig. 1-12 Nachweissystem Aufbau...
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Seite 20: Massenspektrometerversorgung Msv
1.3.4.2 Massenspektrometerversorgung MSV Diese Baugruppe erzeugt alle für den Betrieb des Massenspektrometers notwendigen Spannungen und Ströme: – Anoden-Heizspannung – Katoden-Heizspannung – Anodenspannung – Suppressorspannung Fehler im Massenspektrometer werden erkannt und an den MC 68 weitergeleitet. Die Überwachung der Massenspektrometer-Versorgung erfolgt im MC 68. Suppressor potential Anode on/ein Anode preheating... -
Seite 21: Elektrometer-Vorverstärker Evv
1.3.4.3 Elektrometer-Vorverstärker EVV Der Elektrometer-Vorverstärker wandelt den auf dem Ionenfänger des Massenspektrometers fliessenden Strom in ein Spannungssignal um. Seine Verstärkung kann in vier Stufen umgeschaltet werden. Die Umschaltung und die Verarbeitung der analogen Ausgangsspannung geschieht durch die MC68- Steuerkarte. Die Nachweisgrenze im empfindlichsten Bereich beträgt etwa 1x10 Vorsicht Die Ionenfänger-Vorverstärker Einheit kann nicht geöffnet und repariert werden. -
Seite 22: Elektronik
1.3.5 Elektronik 1.3.5.1 MC 68 Steuerkarte Lithium Flash PROM Jumper XJ1 Accumulator XP6_MC68 XP7_MC68 Fig. 1-15 Bestückung der MC 68 Steuerkarte... -
Seite 23: I/O-Board
1.3.5.2 I/O-Board F3=T0,315A XP5_IO XP1_IO XP2_IO F2=T0,8A P2 High vacuum F1=T0,8A P2 Atmosphere P1 High vacuum P1 Atmosphere Fig. 1-16 I/O-Board... -
Seite 24: Verdrahtungsebene
1.3.5.3 Verdrahtungsebene XP13 EEPROM Terminator RS485 F3 = T4A XS14 XS2_I/O XS1_I/O XS6_MSV XS7_MC68 XS2_MSV XS1_MSV XS31 Fig. 1-17 Verdrahtungsebene... -
Seite 25: Sicherungen
1.3.5.4 Sicherungen Bezeichnung Sicherungswert Dimensionen Funktion Bemerkung Hauptsicherung T10 A 5 x 20 Netzsicherungen Verdrahtungsebe T4 A 5 x 20 24 V (Hauptsicherung ausser TC Power) I/O-Board T0,8 A 5 x 20 24 V Schnüffleranschluss LP und Totaldruck und I/O Port T0,8 A 5 x 20 24 V... -
Seite 26: Hlt5Xx Wartung Und Service
Kunde Funktionskontrolle; wenn erforderlich reinigen, Betriebsmittel ergänzen, Reparaturstufe II Kunde mit technischer Ausbildung oder absolvierter justieren, nachziehen lecksuchen HLT 5xx-Schulung bei Pfeiffer Vacuum Platzhalter für die aktuelle Versionsnummer Reparaturstufe III PFEIFFER VACUUM Servicetechniker Wartungsarbeiten durchführen on-site / am System beim Kunden Prozessabhängig... - Seite 27 Kunde Funktionskontrolle; wenn erforderlich reinigen, Betriebsmittel ergänzen, Reparaturstufe II Kunde mit technischer Ausbildung oder absolvierter justieren, nachziehen lecksuchen HLT 5xx-Schulung bei Pfeiffer Vacuum Platzhalter für die aktuelle Versionsnummer Reparaturstufe III PFEIFFER VACUUM Servicetechniker Wartungsarbeiten durchführen on-site / am System beim Kunden Prozessabhängig...
- Seite 28 Kunde Funktionskontrolle; wenn erforderlich reinigen, Betriebsmittel ergänzen, Reparaturstufe II Kunde mit technischer Ausbildung oder absolvierter justieren, nachziehen lecksuchen HLT 5xx-Schulung bei Pfeiffer Vacuum Platzhalter für die aktuelle Versionsnummer Reparaturstufe III PFEIFFER VACUUM Servicetechniker Wartungsarbeiten durchführen on-site / am System beim Kunden Prozessabhängig...
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Seite 29: Wartungssätze
1.4.2 Wartungssätze Bestellnummer Bezeichnung Menge (4A) WARTUNGSSATZ, HLT 560 PT E01 006 -T Betriebsmittelspeicher SplitFlow 80 Deckel Ölnebelfilter Filtereinsatz zu Ölnebelfilter Pirani-Messelemente O-Ring, 3.69 x 1,78 Vakuumöl P3 1 Liter O-Ring, 10 x 2,5 UNO 005A Usit-Ring U10,4/16 x 2 Filzplatte für Ölwanne Lüfter 1 Luftfilter (Satz 5 Stück) - Seite 30 Bestellnummer Bezeichnung Menge (4D) Ersatzteilsatz zu Ventilblock PT 110 040 -T Ersatzteile zu Ventil V5 3/2-Wege-Ventil (4D1) Ersatzteile zu Ventil V1, V2, V3, 2/2-Wegeventil (4D2) Ersatzteile zu Ventil V4 2/2-Wegeventil (4D3) (4D1) Ersatzteilsatz zu Ventil V5 PT 110 041 -T Kern Feder Federbolzen...
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Seite 31: Wartungsarbeiten
Fachpersonal Reparaturstufe I Kunde Reparaturstufe II Kunde mit technischer Ausbildung oder mit absolvierter HLT 5xx – Schulung bei PFEIFFER VACUUM Reparaturstufe III PFEIFFER VACUUM-Servicetechniker → Wartungsplan siehe Kapitel 1.4. Vorsicht Bei allen Wartungsarbeiten sind die Sicherheitshinweise gemäß (Kapitel 1.2.2) zu... -
Seite 32: Uno 005A
1.5.2 UNO 005A (Gültig für HLT 560) 1.5.2.1 Ölstand von außen kontrollieren (wöchentlich) Vorgehen: UNO 005A, Ölstand kontrollieren • Am Ölschauglas (Rückseite HLT560) visuell Ölstand und Verfärbung des Öls in der UNO 005A kontrollieren. • Das Ölniveau sollte midestens 5 mm über dem unteren Rand des Ölschauglases liegen. -
Seite 33: Öl Wechseln
1.5.2.3 Öl wechseln (jährlich) Benötigtes Material: Mineralöl, 1 l, aus Wartungssatz, Bestell Nr.PT E01 006 -T Vorgehen: • Netzschalter ausschalten. • Netzstecker ausstecken. • Die Haube mit Sechskantschlüssel SW8 links und rechts lösen. • Erdungskabel lösen. • Haube abheben. • Mit Schraubendreher die Öleinlass-Schraube (→... - Seite 34 • Falls sich Öl im Kunststoffzylinder befindet, Kunststoffzylinder von Hand im Gegenuhr-zeigersinn losschrauben und gesammeltes Öl den örtlichen Vorschriften entsprechend entsorgen. • Kunststoffzylinder wieder einschrauben. • Ölwanne mit leicht alkoholgetränktem Lappen reinigen. • Erdungskabel anschliessen. • Haube wieder aufsetzen und mit Sechskantschlüssel SW8 verschliessen. •...
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Seite 35: Filter Zu Ölnebelfilter Ersetzen
1.5.3.2 Filter zu Ölnebelfilter ersetzen (jährlich) Benötigtes Material: Filter, aus Wartungssatz, Bestell Nr. PT E01 006 -T Vorgehen: • Netzschalter ausschalten. • Netzstecker ausstecken. • Die Haube mit Sechskantschlüssel SW8 links und rechts lösen. • Haube abheben. • Erdungskabel lösen. •... -
Seite 36: Mvp 035
1.5.4 MVP 035 (Gültig für HLT 570) 1.5.4.1 MVP 035, Membranen ersetzen (jährlich) Verschleissteilsatz, aus Wartungssatz, Benötigtes Material: Bestell Nr. PT E01 007 -T Vorgehen: • Netzschalter ausschalten. • Netzstecker ausstecken. • Die Haube mit Sechskantschlüssel SW8 links und rechts lösen. •... -
Seite 37: Splitflow 80
• Verschmutzte Teile sowie Dichtflächen mit Alkohol reinigen. Keine scharfkantigen Werkzeuge verwenden. • Jede neue Formmembrane mit der gleichen Anzahl Ausgleichsscheiben bestücken, wie die alten Formmembranen bestückt waren. • Neue Formmembranen wieder einschrauben. • Zwischenplatten wieder in der ursprünglichen Position auf die Formmembranen legen und mit Ventilplatten und Dichtringen bestücken. - Seite 38 • Mit PFEIFFER-Werkzeug PVM40813 Verschlussdeckel (→ Fig. 1-20) an der Unterseite herausschrauben. • Betriebsmittelspeicher (→ Fig. 1-20) mit 2 Schraubendrehern heraushebeln und den örtlichen Vorschriften entsprechend entsorgen. Fig. 1-20 Boden des HLT 5xx • Neuen Betriebsmittelspeicher und Porexstäbe einsetzen (→ Betriebsanleitung PT 0208 BDE) und Verschlussdeckel wieder montieren.
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Seite 39: Splitflow 80 Zu Lagerwechsel Austauschen
(mindestens alle 4 Jahre, bei hoher Belastung auch früher) Benötigtes Material: Austausch-SplitFlow 80, Bestell Nr. PM P04 010 Vorsicht Diese Arbeiten müssen bei PFEIFFER VACUUM oder durch einen bei PFEIFFER VACUUM ausgebildeten Service-Techniker ausgeführt werden. 1.6.2 Ventilblock (Gültig für HLT 5xx) 1.6.2.1 Verschraubung mit Filter am Belüftungsanschluss... -
Seite 40: Pirani-Messelemente P1 Und P2 Reinigen
HLT 5xx gemäss Betriebsanleitung wieder in Betrieb nehmen. 1.6.2.2 Pirani-Messelemente P1 und P2 reinigen (halbjährlich) Vorsicht Diese Arbeiten müssen bei PFEIFFER VACUUM oder durch einen bei PFEIFFER VACUUM ausgebildeten Service-Techniker ausgeführt werden. 1.6.2.3 Ventilblock reinigen, Dichtungen ersetzen und Ventile revidieren (jährlich) -
Seite 41: Lp 5Xx
1.6.4 LP 5xx 1.6.4.1 Kapillarfilter ersetzen (wöchentlich) siehe Betriebsanleitung IG 0100 BDE 1.6.4.2 Sinterfilter ersetzen (jährlich, von Umgebungsbedingungen und Einsatz abhängig) siehe Betriebsanleitung IG 0100 BDE 1.6.5 Wartungskontrolle Die folgenden Abschnitte sind ein Vorschlag, wie periodische Wartungsarbeiten kontrolliert werden können. Vorsicht Nichteinhalten der Wartungsintervalle kann zu Reduktion oder Verlust der Gewährleistung führen... -
Seite 42: Jährlich Auszuführende Arbeiten
1.6.5.2 Jährlich auszuführende Arbeiten Baugruppe auszuführende Arbeiten → Kapitel i.O. Öl wechseln siehe UNO 005A Ventilblock reinigen, Kapitel 1.5.2.3 Dichtungen ersetzen, Ventile siehe Ventilblock revidieren Kapitel 1.6.2.3 Lüfter 1 Filtermatte ersetzen siehe Fig. 1-20 LP 5xx Sinterfilter ersetzen BG 805 268 BD siehe Ölnebelfilter Filter ersetzen... -
Seite 43: Austausch Der Ionenquelle
Austausch der Ionenquelle Der Austausch der Ionenquelle ist im eingebauten Zustand des Nachweis- systems durch die Revisionsöffnung im Chassisboden des HLT5xx möglich. Für diesen Fall ist das Gerät auf die Seite zu legen (siehe Fig. 1-22), damit die Revisionsöffnung zugänglich ist. Vorsicht Um Schäden an der Turbopumpe zu vermeiden, muss der Rotor zum Stillstand gekommen sein. - Seite 44 Benötigte Werkzeuge Innensechskantschlüssel SW 4 mm Benötigtes Material Ersatz-Ionenquelle Bestell Nr.: B 8199 999 EU Hinweis Für alle Demontagearbeiten am Massenspektrometer wird empfohlen, das Massenspektrometer zu fluten, was den Ausbau der Einzelkomponenten erleichtert. • Lösen Sie die Überwurfmutter des Ionenquellensteckers und ziehen Sie das Ionenquellenkabel von der Ionenquelle ab.
- Seite 45 Fig. 1-24 Montage Ionenquelle Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung 4 x Schraube M5 x 20 Flachdichtung 41,5 x 55 0,5 Druckring Ionenquelle Führungsstift Ionenquelle Massenspektometergehäuse • Setzen Sie die Ersatzionenquelle Fig. 1-24/3 mit einer neuen Flachdichtung ein. Für die Reinigung der Flachdichtung kann Alkohol verwendet werden. •...
- Seite 46 • Abschließend setzen Sie den Druckring wieder auf und drehen die Befestigungsschrauben mit 8,5 Nm fest. Die erhabene Nut im Druckring ist auf dem Ionenquellenflansch zu montieren. • Stecken Sie den Ionenquellenstecker wieder auf und verriegeln Sie den Stecker mit der Überwurfmutter.
- Seite 48 Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Führend. Zuverlässig. Kundennah. Vakuumlösungen, für deutsche Ingenieurskunst, kompetente Beratung und zuverlässigen Service. Seit der Erfindung der Turbopumpe setzen wir in unserer Branche Maßstäbe. Dieser Führungsanspruch wird uns auch in Zukunft antreiben. Deutschland Großbritannien...