Inhaltsverzeichnis
Werbung
met een remote I/O, controleer dan of het STOP signaal actief
is (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical
Information").
Start het systeem via de volgende stappen:
1.
verwijder de I/O contraconnector (indien aanwezig)
2.
sluit het voedingsnet aan
3.
breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar
4.
geef aan de Turbo-V 3K-G het START signaal op een
van de volgende manieren:
a.
sluit de bijgeleverde I/O contraconnector aan
b.
geeft het START signaal op afstand via de I/O
connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de
bijlage "Technical Information")
c.
geef het START signaal op afstand via de seriële
interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485
Communication
"Technical Information").
GEVAAR!
Wanneer de voeding wordt geleverd en de bijgeleverde 15-pin
connector is ingebracht, start de Turbo-V 3K-G automatisch.
De controller wordt reeds mechanisch en elektrisch aan de
pomp verbonden geleverd. De controller kan slechts van het
pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd
personeel van Varian Vacuum Technologies.
OPMERKING
Wanneer de Turbo-V 3K-G voor de eerste keer wordt gestart,
start de controller automatisch het systeem met een speciale
procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt
(SOFT START). Het systeem wordt via opeenvolgende stappen
op volle snelheid gebracht, in een tijdsbestek dat 1 uur
bedraagt. Nadat het systeem de volle snelheid heeft bereikt,
wordt de "soft start" procedure ontmachtigd en worden de
volgende starten op de normale wijze uitgevoerd.
OPMERKING
Ter handhaving van het veiligheidsniveau IP-54 gebruik
uitsluitend connectors die met de pomp zijn meegeleverd.
Gebruik voor de voedingskabel uitsluitend de PN 969-9957 of
969-9958, en bevestig de kabel aan de controller met behulp
van de hiervoor bestemde opsluitbeugel (zie volgende figuur).
Gebruik deze kabel en stekker samen met een goed geaard
stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om aan
de CE eisen te voldoen.
Description"
in
de
bijlage
ATTENTIE!
Het systeem is voorzien van een groene LED die door een
statussignaal wordt aangestuurd.
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo-
V 3K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de
werkcondities van het systeem aan:
-
brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
-
knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status "oploop" of "remmen" of "stop" of "waiting for
interlock";
-
knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Hoe wordt de Turbo-V 3K-G gestopt
Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden
worden gebruikt:
1.
verwijdering van de bijgeleverde I/O contraconnector
2.
verzending van een STOP signaal op afstand via de I/O
connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage
"Technical Information")
3.
verzending van een STOP signaal op afstand via de
seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485
Communication Description" in de bijlage "Technical
Information").
Noodstop
Om de Turbo-V 3K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet
de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
Men moet er echter rekening mee houden dat hiermee niet
alleen de pompvoeding volledig wordt uitgeschakeld, maar ook
alle andere functies van de controller worden onderbroken,
zoals bijvoorbeeld het beheer van de Purge en de gestuurde
Vent en de mogelijkheid om te communiceren met het systeem
waarin de pomp is ingebouwd, via I/O's, seriële of Profibus
verbinding.
Bovendien kan met deze handeling niet gegarandeerd worden
dat de rotor onmiddellijk stopt, omdat de draaisnelheid ervan
afneemt op basis van het vacuümniveau in het systeem.
ONDERHOUD
De Turbo-V 3K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te
schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de
defecte pomp.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
29/107
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
GEVAAR!
OPMERKING
87-901-011-01
Werbung
Inhaltsverzeichnis
