Werbung
Bedienungsschritte
Beachten Sie das folgende Verfahren für die Verwendung der Pumpe:
1.
2.
3.
4.
WARNUNG!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder
radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge zu befolgen. Die Pumpe nie bei Vorhandensein
von explosivem Gas benutzen.
Keine elektronischen Geräte in die Nähe der Pumpe bringen. Das darum
VORSICHT!
befindliche Magnetfeld kann zu Funktionsstörungen der Geräte führen.
2 l/s Ion Pump User Manual / 87-900-091-01 (E)
Mittels einer Vorvakuumpumpe das System auf einen Druck von
-4
1x10
mbar oder einen niedrigeren Druck bringen.
Die Steuereinheit an eine entsprechende Versorgungsquelle
anschließen und einschalten.
Während des Anlaufes der Ionenpumpe soll das Vorvakuumventil
geöffnet bleiben, bis ein angemessener Anlaufdruck erreicht ist.
Wenn die Spannung der Ionenpumpe nach Schließung des
Ventils abfällt, ist das Ventil für eine zusätzliche
Vorvakuumpumpung zu öffnen. Sobald der Druck sinkt, steigt die
Spannung erneut an und ist das Vorvakuumventil zu schließen.
Wenn die Pumpe auf atmosphärischen Druck gebracht wird,
sollte Trockenstickstoff verwendet werden, damit die Wände der
Pumpen keinen Wasserdampf aufnehmen.
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
23/68
2
Werbung
Kapitel
