Varian 869-8933 Bedienungshandbuch Seite 41

Rögzítse a TV 801 Navigator Bolted Flange-et stabil helyen, a
turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára
szerelve, 8900 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes
csatlakozással.
Például a csavarozott karima rögzíthető nagy teherbírású
acélcsavarokkal (8.8-nál magasabb osztály).
A következő táblázat a csavarok szükséges számát és a
hozzátartozó rögzítő nyomatékot mutatja.
KARIMA N.
160 csavarozott 8
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes
leírásért lásd „Műszaki információ".
A TV 801 Navigator Bolted Flange bármely helyzetben
telepíthető.
MEGJEGYZÉS
A TV 801 Navigator Bolted Flange nem rögzíthető az alapján
keresztül.
!
FIGYELEM
A TV 801 Navigator Bolted Flange a második telepítési (vagy
túlfeszültség) kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva
szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának
megfelelő hálózathoz.
A TV 801 Navigator
bemeneti/kimeneti és soros
vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni,
hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők.
Győződjön meg róla, hogy a TV 801 Navigator Bolted Flange-
hez csatlakoztatott eszköz megfelelő egyes hiba esetén is az
RN 61010-1 direktíva szerint.
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.

VIGYÁZAT!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben.
okozhat.
!
FIGYELEM
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását
üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek.
Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy
közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton
lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri
nyomás fölött).
Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak
szerelve egy különleges porttal, hogy lehetővé tegyék
közömbös gáz (pl. N , Ar) stabil áramlását védelmet viselő
2
szivattyú számára (lásd „Műszaki információ" függelék).

VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
RÖGZÍTŐ NYOMATÉK
5 Nm
Bolted Flange-nek olyan
kommunikációs csatlózásai
elektromos és pneumatikus
Magas hőmérséklet égést
A TV 801 Navigátor Bolted Flange
bekapcsolása és használata
A TV 801 Navigator Bolted Flange bekapcsolásához biztosítani
kell a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan
felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a
szivattyút.
Az első szivattyúindítás „lágy indítás" módban történik. Amikor
az indítási ciklus
automatikusan tiltva van, és a következő indítások „lágy
indítás" mód nélkül történnek. A „lágy indítás" mód újbóli
engedélyezéséhez azt aktiválni kell a megfelelő szoftver
paranccsal (lásd „RS 232/485 KOMMUNIKÁCIÓ LEÍRÁSA") a
„Műszaki információ" függelékben.
A TV 801 Navigator Bolted Flange-en elhelyezett zöld LED a
villogásának gyakoriságával
körülményeit.
•
nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
•
lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár"
állapotban van;
•
gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
A TV 801 Navigator Bolted Flange
kikapcsolása
A TV 801 Navigator Bolted Flange kikapcsolásához el kell
távolítania a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal
leállítja a szivattyút.

A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő
egységet háromeres
megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén
(nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó dugóval van ellátva.
Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó
aljazattal használja, hogy elkerülje az áramütés veszélyét, és
eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett biztonsági
követelményeknek.
A magasfeszültség, ami az ellenőrző egységben keletkezik,
súlyos sérüléseket, sőt halált okozhat. Mielőtt az egység
belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az
egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt.
Vészleállítás
A TV 801 Navigator Bolted Flange vészhelyzetben való
azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati
dugaszból.
KARBANTARTÁS
A TV 801 Navigator Bolted Flange nem igényel karbantartást.
A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek
kell elvégeznie.

A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Varian
szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert
a hibás helyett.
Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a
gyártóhoz, az ehhez a gépkönyvhöz csatolt „Egészség és
biztonság" lapot ki kell tölteni és el kell küldeni a helyi
kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be
kell illeszteni a rendszercsomagba.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
36
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
befejeződik, a „lágy indítás"
jelzi a rendszer
VIGYÁZAT!
betápkábellel kell ellátni
VIGYÁZAT!
MEGJEGYZÉS
87-900-980-01(B)
mód
üzemi
(lásd a