10.9 Ersetzen des Filters der Vakuum-Kammer
Lösen und entfernen Sie die fixierenden Schrauben auf der linken Abdeckplatte des
Analysators (angezeigt durch die in Abbildung Abbildung 10-42 dargestellten Pfeile) manuell
oder mit Hilfe eines Schraubenziehers;
Abbildung 10-42 Entfernen der beiden Schrauben
Bewegen Sie die linke Abdeckplatte in die in Abbildung Abbildung 10-43 dargestellte
Richtung, um sie zu entfernen;
Abbildung 10-43 Entfernen der linken Abdeckplatte
Wartung des Analysators
10-34