Beheben des Substratstaus am Stapler
Hinweis
Dieser Arbeitsschritt kann auch im Videoformat angesehen werden. Klicken Sie im Bedienfeld
auf Hilfe, Integrierte Dokumentation, Substrattransportsystem-Verwaltung, Beheben von
Substratstaus und Blatt steckt am Stapler.
WARNUNG!
Drücken Sie eine der Not Aus-Tasten, bevor Sie versuchen einen Substratstau zu beheben.
So beheben Sie einen Substratstau am Stapler:
1
Obere
Staplerabdeckung
Abbildung 11-44. Stapler
2
Staplerabdeckung
Sensoren
Abbildung 11-45. Oberer Teil des Staplers
DEWW
Heben Sie die obere Staplerabdeckung hoch.
Heben Sie die Substratabdeckung des Staplers hoch und entfernen Sie vorsichtig
das feststeckende Substrat.
Substratabdeckung des Staplers
Wartung 291