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Die Hauptkomponenten eines Staplers mit einem Probefach werden unten dargestellt.
Umleiter 2
Umgehung
Klappende
Räder
Abbildung 11-9. Interne Stapler-Hardware
Der Ausrichtetisch befindet sich unter der oberen Abdeckung des Staplers.
Abbildung 11-10. Ausrichtung
270 Kapitel 11 Substrattransportsystem
Probefach
Umleiter 1
Versatztisch
Basis unten
Substrat
Zufuhr
DEWW
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Fehlerbehebung
