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Beheben des Substratstaus am Stapler
Diese Maßnahme wird im Video dargestellt. Klicken Sie im Bedienfeld auf Hilfe,
Integrierte Dokumentation, Substrattransportsystem-Verwaltung, Beheben von
Substratstaus und Blatt steckt am Stapler.
WARNUNG!
Drücken Sie eine der Not Aus-Tasten, bevor Sie versuchen einen Substratstau zu beheben.
So beheben Sie einen Substratstau am Stapler:
1
2
3
Staplerabdeckung
Abbildung 6-11. Oberer Teil des Staplers
Abbildung 6-12. Wende-Räder des Staplers
88 Kapitel 6 Substrattransportsystem
Heben Sie die obere Staplerabdeckung und die Substratabdeckung des Staplers
hoch.
Entfernen Sie vorsichtig das stauende Substrat.
Öffnen Sie die linke Vordertür des Staplers, um die Wende-Räder auf Staus zu
überprüfen. Ziehen Sie den Knopf heraus und bewegen Sie ihn in die offene Position,
um auf Substratreste hin zu prüfen.
Wende-Räder
5
Substratabdeckung des Staplers
Heberfach
Geschlossen
Offen
Staplersensor
(innerhalb)
Knopf
DEWW
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Fehlerbehebung
