Wartung
Beheben von Substratstaus
Sollte es zu einem Substratstau kommen, erscheint die Systemwarnanzeige im
Bedienfeld. Ein Warnsymbol erscheint im Fenster Schema und zeigt die Lage des
Substrats an.
Entfernen des Substratstaus im vertikalen Pfad
Hinweis
Dieser Arbeitsschritt kann auch im Videoformat angesehen werden. Klicken Sie im Bedienfeld
auf Hilfe, Integrierte Dokumentation, Substrattransportsystem-Verwaltung und Beheben
von Substratstaus und Blatt steckt im vertikalen Pfad.
WARNUNG!
Drücken Sie eine der Not Aus-Tasten, bevor Sie versuchen den Substratstau zu beheben.
So beheben Sie einen Substratstau im vertikalen Pfad:
1
Abbildung 11-27. Zugangstür zum vertikalen Pfad
2
DEWW
Öffnen Sie die Zugangstür zum vertikalen Pfad.
Geben Sie den Riegel auf dem Modul frei, um auf den inneren Teil zuzugreifen
(Abbildung 11-27).
Zugangstür zum
vertikalen Pfad
Riegel
Wartung 281