4.4.6 Flash-Laufwerk-Befehle ............................................................................................................ 29
4.4.8 Funktionsmenü........................................................................................................................... 30
4.4.9 Einstellen der Z-Achse............................................................................................................... 30
4.4.16 Autofokus................................................................................................................................. 33
4.4.21 Nullsetzen der Achsen.............................................................................................................. 35
4.4.22 Alarmanzeigen ......................................................................................................................... 35
5. Wartung und Pflege .................................................................................................................................. 36
5.1 Übersicht ............................................................................................................................................ 36
5.2 Wasserkühlsystem............................................................................................................................... 36
5.3 Reinigen.............................................................................................................................................. 36
5.3.1 Wassersystem............................................................................................................................. 36
5.3.3 Fokuslinse .................................................................................................................................. 37
5.3.4 Spiegel ....................................................................................................................................... 39
5.4.1 Laserröhre .................................................................................................................................. 40
5.4.2 Erster Spiegel ............................................................................................................................. 41
5.4.3 Zweiter Spiegel .......................................................................................................................... 42
5.4.4 Dritter Spiegel............................................................................................................................ 42
5.5 Schmierung......................................................................................................................................... 42
5.6 Teiletausch .......................................................................................................................................... 43
5.7 Entsorgungshinweise .......................................................................................................................... 43
6. Kontakt ..................................................................................................................................................... 43