Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 800 H Turbopumpe Turbopump...
Seite 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.
Seite 3 Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
Seite 4 5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
Seite 5 Tab. 13: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 14: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 15: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 16: Verfügbare Ersatzteile Tab. 17: Zubehör Tab. 18: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 19: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 20: Technische Daten für HiPace 800 H 5/126...
Seite 6 Abb. 25: Kompressionsverhältnis gegen Vordruck bei Gasdurchsatz = 0 | HiPa- ce 800 H Abb. 26: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-F Abb. 27: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-K Abb. 28: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 CF-F...
Seite 7 Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
Seite 8 Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 800 H der Pumpe. Mod. PM PXX XXX Das Typenschild der Antriebselektronik befindet sich auf deren...
Seite 9 Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Hochkompression Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara- meter Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß...
Seite 10 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
Seite 14 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...
Seite 15 Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...
Seite 16 ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
Seite 17 ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
Seite 18 Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Zur Spannungsversorgung dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile. Die Eigenschaftsbezeichnung "H" kennzeichnet Turbopumpen, die herausragende Kompressionsver- hältnisse ausweisen, insbesondere für leichte Gase. Abb. 2: Aufbau HiPace 800 H 1 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss LED Betriebsanzeige 2 Sperrgasanschluss Pumpenunterteil...
Seite 19 Produktbeschreibung 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com mit der Firmen ID-Nr. 000021320.
Seite 20 ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
Seite 21 Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
Seite 22 Installation 5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen HINWEIS Schäden an der Vakuumpumpe durch Krafteinwirkung an der Hochvakuumseite Durch Befestigung am Pumpenunterteil und gleichzeitig starrer Rohrverbindung an der Hochvakuum- seite besteht die Gefahr, dass Zwangskräfte auf die Turbopumpe wirken. Mechanische Belastungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge. ►...
Seite 23 ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 800 4200 Nm...
Seite 24 Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für Gasart...
Seite 25 4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.3.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.
Seite 26 Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
Seite 27 Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
Seite 28 Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Befestigen Sie die Turbopumpe gemäß der Abbildung mit Zentrierring am Gegenflansch. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
Seite 29 Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
Seite 30 Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
Seite 31 1. Planen Sie bei starren Rohrverbindungen Federungskörper zur Dämpfung von externen Vibratio- nen ein. 2. Installieren Sie eine Vorvakuumverbindung mit Kleinflanschbauteilen, z.B. Verbindungselemente und Rohrbauteile DN 25 ISO-KF aus dem Pfeiffer Vacuum Komponentenshop. 3. Achten Sie auf Maßnahmen gegen Rückströmung von Betriebsmitteln oder Kondensat aus dem Vorvakuumbereich.
Seite 32 Installation Parameter Kühlwasser Aussehen ● filtriert ● mechanisch klar ● optisch klar ● keine Trübung ● kein Bodensatz ● frei von Fetten und Ölen pH-Wert 7 bis 9 Karbonathärte max. 10 °dH 12,53 °e 17,8 °fH 178 ppm CaC0 Chloridgehalt max. 100 mg/l Sulfatgehalt max.
Seite 33 2. Stecken Sie die Schläuche für Vor- und Rücklauf des Kühlwassers bis zum Anschlag in je einen Anschluss an der Turbopumpe. 5.6 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.
Seite 34 ► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.7.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 18: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1.
Seite 35 1. Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. 2. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter des Netzteils vor dem Anschluss ausgeschaltet ist. 3. Verwenden Sie ein passendes Verbindungskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 4. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCin" an der Antriebselektronik und schlie- ßen Sie die Bajonettverriegelung.
Seite 36 Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
Seite 37 Nach Bereitstellen der Versorgungsspannung läuft die Turbopumpe sofort hoch. Hinweise für den Betrieb ohne Bedieneinheit 1. Verwenden Sie nur die zugelassenen Pfeiffer Vacuum Gegenstecker mit Brücken auf dem An- schluss der Antriebselektronik. 2. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Seite 38 ► Verbinden Sie das Netzteil mit dem betreiberseitigen Versorgungsnetz. ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. 38/126...
Seite 39 Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler, keine Warnung...
Seite 40 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
Seite 41 6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.
Seite 42 ● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
Seite 43 Wartung Abb. 20: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 O-Ring Kapillarstab (9×) 2 Verschlussdeckel Spritzspitze 3 Innensechskantschraube Schutzdeckel 4 Betriebsmittelspeicher Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3. Schrauben Sie alle Innensechskantschrauben aus dem Verschlussdeckel am Pumpenunterteil heraus.
Seite 44 Wartung Abb. 21: Betriebsmittelspeicher montieren 1 Betriebsmittelspeicher Verschlussdeckel 2 Kapillarstäbe (9×) Innensechskantschraube 3 Spritzspitze Schutzdeckel 4 O-Ring Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie alle neuen Kapillarstäbe mit der Pinzette ein. 2. Setzen Sie den Betriebsmittelspeicher mit der Filzseite in Richtung der Spritzspitze in die Lager- fassung.
Seite 45 Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2.
Seite 46 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 46/126...
Seite 47 1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
Seite 48 Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
Seite 49 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
Seite 50 ● Schalten Sie das Netzteil ein. ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- Steuergerät: Pin 1-3...
Seite 51 Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.
Seite 52 Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
Seite 53 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Seite 54 Ersatzteile HiPace 800 H 12 Ersatzteile HiPace 800 H Abb. 24: Ersatzteile HiPace 800 H Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Betriebsmittelspeicher PM 143 452 -T inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Antriebselektronik TC 400 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Tab. 16: Verfügbare Ersatzteile...
Seite 55 Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
Seite 56 Zubehör Teil Bestellnummer Zentrierring mit Multifunktions- Beschichtung und integriertem Schutzgitter, DN PM 016 222 AU 200 ISO-K/-F Dämpfungskörper für HiPace 800/1200/1800, DN 200 ISO-K/F PM 006 668 -X Dämpfungskörper für HiPace 800/1200, DN 200 CF-F PM 006 669 -X Befestigungssatz für DN 200 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring PM 016 960 -T beschichtet, 6-kt Schrauben Befestigungssatz für DN 200 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, Zentrierring...
Seite 57 Zubehör Teil Bestellnummer Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 400/700/800 P Version mit TC 400 sowie Hi- PM Z01 313 Pace 1200–2300 mit TC 1200 Sperrgasventil, geschirmt für HiPace 1200–2300 mit TC 1200 PM Z01 314 Sperrgasdrossel für HiPace 300 PM Z01 317 Sperrgasdrossel für HiPace 30/60/80 PM Z01 316 Sperrgasdrossel für HiPace 300...
Seite 58 Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
Seite 59 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung HiPace® 800 H HiPace® 800 H HiPace® 800 H Kompressionsverhältnis für Ar 1 · 10 1 · 10 1 · 10 Kompressionsverhältnis für H 2 · 10 2 · 10 2 · 10 Kompressionsverhältnis für He 1 ·...
Seite 60 Zulässige eingestrahlte Wär- 4,2 W 4,2 W 4,2 W meleistung max. Transport und Lagertemperatur -20 – 55 °C -20 – 55 °C -20 – 55 °C Gewicht 12,8 kg 19,1 kg 13,6 kg Tab. 20: Technische Daten für HiPace 800 H 60/126...
Seite 61 Technische Daten und Abmessungen 14.3 Kennlinien foreline pressure [hPa ; mbar] Abb. 25: Kompressionsverhältnis gegen Vordruck bei Gasdurchsatz = 0 | HiPace 800 H 14.4 Abmessungen Maße in mm 61/126...
Seite 62 Ø8 DN 25 ISO-KF / G 1/4“ DN 200 ISO-F M8 (6x) 145.5 Abb. 26: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-F Ø 8 DN 200 ISO-K DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Abb. 27: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-K Ø8...
Seite 63 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
Seite 64 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
Seite 65 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive Identifying the product 3.2.1 Product types...
Seite 66 Operating modes 6.2.1 Operating without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "remote" 6.2.3 Operation via connection "E74" 6.2.4 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.5 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring...
Seite 67 List of tables Tbl. 1: Abbreviations used in this document Tbl. 2: Permissible ambient conditions Tbl. 3: Product designation of Pfeiffer Vacuum HiPace turbopumps Tbl. 4: Turbopump features Tbl. 5: Requirements for fastening the turbopumps to the bottom part Tbl. 6:...
Seite 68 Installation of electronic drive unit TC 400 Fig. 24: HiPace 800 spare parts Fig. 25: Compression ratio to supply pressure at gas throughput = 0 | HiPace 800 H Fig. 26: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-F Fig. 27: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-K Fig.
Seite 69 Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status.
Seite 70 Rating plate The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 800 H of the pump. Mod. PM PXX XXX The rating plate of the electronic drive unit is located on its out-...
Seite 71 About this manual 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current Nominal diameter as size description Rotation speed value of a vacuum pump (frequency, in rpm or Hz) High compression Handheld Programming Unit.
Seite 72 Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
Seite 73 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ► Make sure that the power supply pack meets the requirements for double isolation between mains input voltage and output voltage, in accordance with IEC 61010-1 IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
Seite 74 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
Seite 75 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.
Seite 76 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.
Seite 77 Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►...
Seite 78 Such training must ensure that individuals are capable of carrying out the required activi- ties and work steps safely and properly. 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair Advanced training courses Pfeiffer Vacuum offers advanced training courses to maintenance levels 2 and 3. 78/126...
Seite 79 ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.
Seite 80 Product description 3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. The Pfeiffer Vacuum power supply packs are used for voltage supply. The properties designation "H" identifies turbopumps that have outstanding compression ratios, in par- ticular for light gases.
Seite 81 ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.
Seite 82 ► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits.
Seite 83 Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.
Seite 84 ● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump.
Seite 85 5.3.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the Turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The puming speed of the pump is reduced according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.
Seite 86 4. Observe the fastening of the ISO flanges. 5.3.5 Mounting orientations Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series are suitable for use with dry compressing backing pumps for mounting in all orientations. ► When using oil-sealed backing pumps, avoid backflow from the fore-vacuum range.
Seite 87 Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.
Seite 88 Connection of the stud screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Screw in the required number of stud screws with the shorter end in the holes on the counter flange.
Seite 89 Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure.
Seite 90 Flange connection ISO-F, stud screw and through hole Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure.
Seite 91 Connection of the stud screw and tapped hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Screw in the required number of stud screws with the shorter end in the holes on the counter flange.
Seite 92 Use the turbopump only in combination with a suitable backing pump that can deliver up to the required maximum fore-vacuum pressure. To achieve the fore-vacuum pressure, use a suitable vacuum pump or a pumping station from the Pfeiffer Vacuum range. In this case, the backing pump is also controlled directly via the turbopump electronic drive unit interfaces (e.g., relay box or connection cable).
Seite 93 Installation Parameter Cooling water Appearance ● filtered ● mechanically clear ● visually clear ● no turbidity ● no sediment ● free from grease and oil pH value 7 to 9 Carbonate hardness, max. 10 °dH 12.53 °e 17.8 °fH 178 ppm CaC0 Chloride content, max.
Seite 94 ● The use of other accessories for turbopumps is possible and requires settings in the configuration of the electronic drive unit. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC. ● For detailed information see the “Electronic drive unit TC 400” or “Electronic drive unit TC 700”...
Seite 95 ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. 5.7.1 Grounding turbopump Pfeiffer Vacuum recommends connecting a suitable grounding cable to discharge applicative interfer- ences. Fig. 18:...
Seite 96 2. Make sure that the power supply pack main switch is off prior to connection. 3. Use a suitable connection cable from the Pfeiffer Vacuum accessories range. 4. Insert the connecting cable into the connection "DCin" on the electronic drive unit and close the bayonet lock.
Seite 97 Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol.
Seite 98 Instructions for operation without control panel 1. Use only the approved Pfeiffer Vacuum mating plug with bridges on the connection of the elec- tronic drive unit. 2. Switch on the mains supply of the turbopump only immediately before operation.
Seite 99 6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. 99/126...
Seite 100 Operation Symbol LED status Display Meaning Currentless On, flashing "pumping station OFF", rotation speed ≤ 60 rpm Green On, inverse flashing "pumping station ON", set rotation speed not reached On, constant "pumping station ON", set rotation speed reached On, flashing "pumping station OFF", speed >...
Seite 101 General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.
Seite 102 5. Change the operating fluid reservoir at least every 4 years. 6. Have Pfeiffer Vacuum Service replace the rotor bearing of the turbopump at least every 4 years. 7. Consult with Pfeiffer Vacuum Service about shorter maintenance intervals for extreme loads or im- pure processes.
Seite 103 ● When ordering spare parts, make sure you use the correct pump article number and the operating fluid reservoir. ● This information can be found on the pump rating plate. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ●...
Seite 104 Maintenance Fig. 20: Removing operating fluid reservoir 1 O-ring Capillary rod (9×) 2 Closing cap Injection tip 3 Hexagon socket screw Protective cap 4 Operating fluid reservoir Removing operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2. Place the turbopump on the closed high vacuum flange. 3.
Seite 105 Maintenance Fig. 21: Assembling operating fluid reservoir 1 Operating fluid reservoir Closing cap 2 Capillary rods (9×) Hexagon socket screw 3 Injection tip Protective cap 4 O-ring Assembling operating fluid reservoir 1. Insert all the new capillary rods with the tweezers. 2.
Seite 106 Maintenance Backing up settings made by the customer The factory operating parameters are always preset in replacement units. All settings made by the customer to the original electronic drive unit are lost when it is replaced. To preserve your custom settings, you have the following options: 1.
Seite 107 5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units.
Seite 108 2. Clean the turbopump externally with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing.
Seite 109 ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...
Seite 110 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
Seite 111 ● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700].
Seite 112 We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
Seite 113 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
Seite 114 HiPace 800 spare parts 12 HiPace 800 spare parts Fig. 24: HiPace 800 spare parts Position Designation Order number Remark Pieces Operating fluid reservoir PM 143 452 -T incl. capillary rods and O- ring Electronic drive unit refer to the rating plate depending on the connec- TC 400 tion panel...
Seite 115 Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters.
Seite 116 Accessories Part Order number Vibration damper for HiPace 800/1200/1800, DN 200 ISO-K/F PM 006 668 -X Vibration damper for HiPace 800/1200, DN 200 CF-F PM 006 669 -X Mounting kit for DN 200 ISO-K to ISO-F, with collar flange, coated centering ring, PM 016 960 -T hexagon bolts Mounting kit for DN 200 ISO-K to ISO-F, with collar flange, coated centering ring...
Seite 117 Accessories Part Order number Sealing gas throttle for HiPace 300 PM Z01 317 Sealing gas throttle for HiPace 30/60/80 PM Z01 316 Sealing gas throttle for HiPace 300 PM Z01 317 Sealing gas throttle for HiPace 400/700/800 P version and HiPace 1200–2300 PM Z01 318 Sealing gas throttle for HiPace 1200–2300 PM Z01 319...
Seite 118 Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
Seite 119 Technical data and dimensions Type designation HiPace® 800 H HiPace® 800 H HiPace® 800 H Compression ratio for H 2 · 10 2 · 10 2 · 10 Compression ratio for He 1 · 10 1 · 10 1 · 10 Compression ratio for N 1 ·...
Seite 120 4.2 W 4.2 W 4.2 W output max. Shipping and storage tempera- -20 – 55 °C -20 – 55 °C -20 – 55 °C ture Weight 12.8 kg 19.1 kg 13.6 kg Tbl. 20: Technical data for HiPace 800 H 120/126...
Seite 121 Technical data and dimensions 14.3 Characteristics foreline pressure [hPa ; mbar] Fig. 25: Compression ratio to supply pressure at gas throughput = 0 | HiPace 800 H 14.4 Dimensions Dimensions in mm 121/126...
Seite 122 Ø8 DN 25 ISO-KF / G 1/4“ DN 200 ISO-F M8 (6x) 145.5 Fig. 26: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-F Ø 8 DN 200 ISO-K DN 25 ISO-KF / G 1/4“ M8 (6x) 145.5 Fig. 27: HiPace 800 H | TC 400 | DN 200 ISO-K Ø8...
Seite 123 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
Seite 124 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
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Seite 126 Notizen / Notes:...

Pfeiffer Vacuum HIPACE 800 H Betriebsanleitung

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