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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 MINI
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 MINI
- Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 80 MINI Turbopumpe...
- Seite 2 Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
- Seite 3 Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
- Seite 4 Inhaltsverzeichnis Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.4 Betrieb über Feldbus Betriebsüberwachung 6.3.1 Betriebsanzeige über LED 6.3.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.4.1 Ausschalten 6.4.2 Fluten Wartung Allgemeine Wartungshinweise Wartungsintervalle und- zuständigkeiten Betriebsmittelspeicher austauschen 7.3.1 Betriebsmittelspeicher demontieren...
- Seite 5 Tab. 10: Werkseinstellungen für verzögertes Fluten bei Turbopumpen Tab. 11: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 12: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 80 mini Tab. 14: Zubehör Tab. 15: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 16: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab.
- Seite 6 Abb. 13: Antriebselektronik mit Netzteil verbinden Abb. 14: Betriebsmittelspeicher demontieren Abb. 15: Kapillarstäbe einsetzen und Betriebsmittelspeicher montieren Abb. 16: Demontage und Montage der Antriebselektronik TC 110 Abb. 17: Ersatzteile HiPace 80 mini Abb. 18: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K 6/56...
- Seite 7 Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
- Seite 8 Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild (Beispiel) Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 HiPace 80 Mini der Vakuumpumpe. Mod. PM PXX XXX Type 12 Typenschild der Antriebselektronik...
- Seite 9 Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara- meter Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß...
- Seite 10 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
- Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
- Seite 12 Sicherheit WARNUNG Lebensgefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung Die Vakuumpumpe und die Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung (Hauptschal- ter) ausgestattet. ► Installieren Sie eine Netztrenneinrichtung gemäß SEMI-S2. ► Sehen Sie einen Leistungsschalter mit einem Ausschaltvermögen von min. 10.000 A vor. WARNUNG Verletzungsgefahr aufgrund nicht sachgerechter Installation Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen.
- Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
- Seite 14 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
- Seite 15 Sicherheit ► Setzen Sie kein Körperteil dem Vakuum aus. ► Gewährleisten Sie immer die sichere Verbindung zum Schutzleiter (PE). ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0).
- Seite 16 ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
- Seite 17 ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
- Seite 18 Funktion der Kugellager. 3.1.3 Antrieb ● Antriebselektronik TC 110 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
- Seite 19 Produktbeschreibung 3.2.1 Produkttypen Die Produktbezeichnung von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace besteht aus ihrer Famili- enbezeichnung, der Größe, die sich am Saugvermögen der Vakuumpumpe orientiert und gegebenen- falls aus einer zusätzlichen Eigenschaftsbezeichnung. Familie Größe/Modell Eigenschaft HiPace 10 bis 2800 keine = Standardausführung mini = kompakte Bauweise U = Überkopfversion...
- Seite 20 ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
- Seite 21 Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
- Seite 22 Installation 5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen HINWEIS Schäden an der Vakuumpumpe durch Krafteinwirkung an der Hochvakuumseite Durch Befestigung am Pumpenunterteil und gleichzeitig starrer Rohrverbindung an der Hochvakuum- seite besteht die Gefahr, dass Zwangskräfte auf die Turbopumpe wirken. Mechanische Belastungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge. ►...
- Seite 23 Turbopumpe. Das Gesamtgewicht von Aufbauten darf die angegebenen Maxi- malwerte nicht überschreiten. Im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors müssen die auftretenden Drehmomente von der Anla- ge und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden. Die Installationselemente für Turbopumpen sind Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 80 mini 600 Nm...
- Seite 24 2. Berücksichtigen Sie den Strömungswiderstand. 3. Sichern Sie die Turbopumpe zusätzlich zum Hochvakuumflansch. 4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.3.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. 24/56...
- Seite 25 Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
- Seite 26 Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Pratze und Gewindebohrung Verbindung von Pratze und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
- Seite 27 Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die erforderliche Anzahl von Stiftschrauben mit dem kürzeren Einschraubende in die Bohrungen am Gegenflansch. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.
- Seite 28 Turbopumpen finden Sie online. Zubehörgeräte mit TC verbinden ● Die Verwendung von Pfeiffer Vacuum Zubehör über die Antriebselektronik ist über ent- sprechende Verbindungskabel bzw. Adapter am Multifunktionsanschluss "X3" möglich. ● Konfiguration des gewünschten Zubehörausgangs über RS-485 mittels Pfeiffer Vacu- um Steuergeräte oder PC.
- Seite 29 ► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.6.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. Abb. 12: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1.
- Seite 30 Installation 5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
- Seite 31 5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verlängerungskabel an das Steuergerät an. 31/56...
- Seite 32 Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
- Seite 33 Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.
- Seite 34 Betrieb 6.3 Betriebsüberwachung 6.3.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤...
- Seite 35 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
- Seite 36 6. Lassen Sie das Rotorlager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre durch den Pfeiffer Vacu- um Service austauschen. 7. Stimmen Sie kürzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen mit dem Pfeiffer Vacuum Service ab. 8. Wenden Sie sich für alle anderen Reinigungs-, Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle.
- Seite 37 ● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
- Seite 38 Wartung Abb. 14: Betriebsmittelspeicher demontieren 1 Gehäusedeckel Kapillarstäbe (6×) 2 Torxschrauben Betriebsmittelspeicher 3 Gummi-Metallpuffer Schutzdeckel 4 O-Ring Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Entfernen Sie Verunreinigungen von der Turbopumpe mit einem sauberen, fusselfreien Tuch. – Verwenden Sie nur die vorgeschriebene Reinigungsflüssigkeit! 3.
- Seite 39 Wartung Abb. 15: Kapillarstäbe einsetzen und Betriebsmittelspeicher montieren 1 Kapillarstäbe (6×) Gehäusedeckel 2 Betriebsmittelspeicher Gummi-Metallpuffer 3 O-Ring Torxschrauben Betriebsmittelspeicher montieren 1. Setzen Sie die neuen Kapillarstäbe mit Hilfe einer Pinzette ein. 2. Setzen Sie den Betriebsmittelspeicher bis zum Anschlag in das Pumpenunterteil ein. –...
- Seite 40 Wartung Sicherung von kundenseitigen Einstellungen Im Austauschgerät sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt. Alle kun- denseitig vorgenommenen Einstellungen der original Antriebselektronik gehen nach einem Austausch verloren. Zum Erhalt Ihrer persönlichen Einstellungen haben Sie folgende Mög- lichkeiten: 1. Sichern Sie alle Ihre Einstellungen als Parametersatz in einem HPU. 2.
- Seite 41 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 41/56...
- Seite 42 1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
- Seite 43 Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
- Seite 44 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
- Seite 45 ● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung. ● Rotor schwergängig, ● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick- Lager defekt lung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Sollwert Hochlaufzeit ● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700] zu niedrig eingestellt über ein Steuergerät.
- Seite 46 Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
- Seite 47 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
- Seite 48 Abb. 17: Ersatzteile HiPace 80 mini Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 110 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher PM 183 900 -T inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Tab. 13: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 80 mini 48/56...
- Seite 49 Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
- Seite 50 Zubehör Bezeichnung HiPace 80 mi- ni, DN 63 ISO‑K Befestigungssatz für HiPace 60/80 mit DN 63 ISO-K, inklusive Zent- PM 016 512 -T rierring beschichtet, integriertem Schutzgitter und Pratzen Befestigungssatz für DN 63 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, PM 016 930 -T Zentrierring beschichtet, 6-kt Schrauben Befestigungssatz für DN 63 ISO-K auf ISO-F mit Überwurfflansch, PM 016 931-T...
- Seite 51 Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
- Seite 52 RS–485, Remote Schutzart IP44, Type 12 Integrale Leckrate 1 · 10 Pa m³/s Relative Luftfeuchte 5 – 85 %, nicht betauend Transport und Lagertemperatur -25 – 55 °C Gewicht 2,1 kg Tab. 17: HiPace 80 mini | DN63 ISO-K 52/56...
- Seite 53 Technische Daten und Abmessungen 14.3 Abmessungen 92.5 DN63 ISO-K M5 - 10 deep (4x) 37.5 G1/4” Abb. 18: HiPace 80 mini | TC 110 | DN 63 ISO-K Maße in mm 53/56...
- Seite 54 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
- Seite 55 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...