Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 80 NEO Turbopumpe Turbopump...
Seite 2: Disclaimer Of Liability
Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb 3.1.4 Sperrgasanschluss Produkt identifizieren 3.2.1 Produkttypen 3.2.2 Produktmerkmale...
Seite 4 5.7.1 Turbopumpe erden 5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3" 6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten 6.5.2 Fluten...
Seite 5 Tab. 14: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile Tab. 15: Zubehör Tab. 16: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 17: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 18: Technische Daten für HiPace 80 Neo, andere Anschlussflansche für den Ausgang optional Tab. 19: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 5/130...
Seite 6 Abb. 22: Demontage und Montage der Antriebselektronik Abb. 23: Ersatzteile HiPace 80 Neo Abb. 24: HiPace 80 Neo | DN 40 ISO-KF Abb. 25: HiPace 80 Neo | DN 63 ISO-K Abb. 26: HiPace 80 Neo | DN 63 CF-F...
Seite 7: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
Seite 8: Piktogramme
Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil D-35614 Asslar Berliner Str. 43 der Vakuumpumpe. HiPace 80 Neo Mod. PM P080 XXX Typenschild der Antriebselektronik Type 12 - - - - - - - -...
Seite 9: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Hinweis Betriebsanleitung Hinweis Funktionserde 2 Typenschild Antriebselektronik Typenschild der Turbopumpe 3 Verschlusssiegel 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz)
Seite 10: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
Seite 12 ► Installieren Sie einen geeigneten Berührungsschutz, wenn die Vakuumpumpe für nicht unterwie- sene Personen frei zugänglich ist. ► Lassen Sie die Vakuumpumpe vor allen Arbeiten abkühlen. ► Kontaktieren Sie Pfeiffer Vacuum für einen geeigneten Berührungsschutz in Systemlösungen. Risiken beim Betrieb WARNUNG Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen bei Verwendung von Zusatzeinrichtungen zum...
Seite 13 ► Installieren Sie einen geeigneten Berührungsschutz, wenn die Vakuumpumpe für nicht unterwie- sene Personen frei zugänglich ist. ► Lassen Sie die Vakuumpumpe vor allen Arbeiten abkühlen. ► Kontaktieren Sie Pfeiffer Vacuum für einen geeigneten Berührungsschutz in Systemlösungen. Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei.
Seite 14: Sicherheitsmaßnahmen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
Seite 15: Einsatzgrenzen Des Produkts
Sicherheit Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert. ● Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.
Seite 16: Bestimmungsgemäße Verwendung
● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
Seite 17: Personenqualifikation Sicherstellen
─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
Seite 18: Produktbeschreibung
Leistungsaufnahme der Turbopumpe, falls die Rotortemperatur den Grenzwert übersteigt. Neben dem Multifunktionsanschluss der Antriebselektronik besitzt die Turbopumpe 2 AccessLink Buchsen für den direkten Anschluss von Pfeiffer Vacuum Zubehör. Je nach Ausführung besitzt die Turbopumpe einen Sperrgasanschluss. Scannen Sie den QR-Code oder...
Seite 19: Rotorlager
Versorgung mit Sperrgas erfolgt wahlweise direkt oder extern über eine Steckverschraubung. Die Opti- on ist nicht nachrüstbar. 3.2 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi-...
Seite 20 Produktbeschreibung ● Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss ● Verschlussstopfen für AccessLink Buchsen ● Betriebsanleitung 20/130...
Seite 21: Transport Und Lagerung
► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
Seite 22: Installation
Personen frei zugänglich ist. ► Lassen Sie die Vakuumpumpe vor allen Arbeiten abkühlen. ► Kontaktieren Sie Pfeiffer Vacuum für einen geeigneten Berührungsschutz in Systemlösungen. Generelle Anmerkungen für die Installation von Vakuumkomponenten ► Wählen Sie den Aufstellungsort so, dass der Zugang zum Produkt und zu Versorgungsleitungen jederzeit möglich ist.
Seite 23: Turbopumpe Am Unterteil Befestigen
6 Nm ± 10 % HiPace 30 Neo HiPace 30 Neo H HiPace 60 HiPace 80 HiPace 80 Neo HiPace 80 Neo H SplitFlow 50 SplitFlow 80 SplitFlow 80 Neo Tab. 6: Anforderungen für die Befestigung der Turbopumpen am Unterteil...
Seite 24: Hochvakuumseite Anschließen
● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 80 Neo 620 Nm...
Seite 25: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden
Beispiel: Sicherheitsverbindungen Sicherheitsverbindungen, kundenseitig 5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen der Turbopumpe reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für die Gasart...
Seite 26: Einbaulagen Berücksichtigen
4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.3.5 Einbaulagen berücksichtigen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace Neo sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vorpumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.
Seite 27: Iso-K Flansch An Iso-K Befestigen
Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 3. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
Seite 28: Abb. 8: Flanschverbindung Iso-K Mit Iso-F, Sechskantschraube Und Gewindeboh
Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
Seite 29: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen
Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
Seite 30: Vorvakuumseite Anschließen
Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die erforderliche Anzahl von Stiftschrauben mit dem kürzeren Einschraubende in die Bohrungen am Gegenflansch. 3. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
Seite 31: Zubehör Anschließen
Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online. Zubehörgeräte anschließen ● Verwenden Sie Pfeiffer Vacuum Zubehör über die AccessLink Buchsen oder den Multi- funktionsanschluss "X3" der Antriebselektronik mit entsprechenden Verbindungskabeln bzw. Adapter. ● Konfigurieren Sie den gewünschten Zubehörausgang über RS-485 mittels Steuergerät oder PC.
Seite 32: Sperrgas Anschließen (Option)
) als Sperrgas verwenden möchten, verwenden Sie eine G 1/8'' Steckverschraubung mit Schlauchanschluss aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. ● Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Einsatz von Sperrgas ab 50 % des maximalen Gasdurchsatzes. ● Der zulässige Einlassdruck für Sperrgas beträgt 1500 hPa absolut.
Seite 33: Anschluss Für Externes Sperrgasventil Oder -Drossel Vorbereiten
– Verwenden Sie ein Sperrgasventil mit integrierter Drossel oder eine Sperrgasdrossel ohne Steuerung, wenn Sie einen andere Sperrgasmenge einleiten wollen. – Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Sperrgasventil mit AccessLink nur in Verbindung mit der werkseitig eingebauten Drossel. Installieren Sie bei Bedarf die Sperrgasversorgung wahlweise über ein Sperrgasventil mit integrierter Drossel oder eine Sperrgasdrossel ohne Steuerung.
Seite 34: Elektrische Versorgung Anschließen
Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen. ► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.7.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. 34/130...
Seite 35: Elektrischen Anschluss Herstellen
Installation Abb. 18: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1. Verwenden Sie den Erdungsanschluss der Turbopumpe (M4 Innengewinde). 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall.
Seite 36: Abb. 19: Antriebselektronik Mit Netzteil Verbinden
5. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCout" am Netzteil und schließen Sie die Bajonettverriegelung. 6. Wenn Sie ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät verwenden: Schließen Sie den Anschluss "RS-485" mit passendem Verbindungskabel an das Steuergerät an. 36/130...
Seite 37: Betrieb
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
Seite 38: Betriebsarten
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Steuergeräts ermöglicht die Steuerung der Turbopumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Steuergerät verwenden 1. Beachten Sie für den Umgang mit den Pfeiffer Vacuum Steuergeräten die dazugehörende Be- triebsanleitung: – Betriebsanleitung verfügbar im Download Center.
Seite 39: Turbopumpe Einschalten
► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. Symbol LED Status...
Seite 40: Temperaturüberwachung
Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung kein Fehler, keine Warnung Ein, konstant Fehler Tab. 10: Verhalten und Bedeutung der LEDs an der Antriebselektronik 6.4.2 Temperaturüberwachung Bei Überschreiten von Schwellenwerten überführen Ausgabesignale von Temperatursensoren die Tur- bopumpe in einen sicheren Zustand. Abhängig vom Typ sind Temperaturschwellenwerte für Warnun- gen und Fehlermeldungen unveränderlich in der Antriebselektronik gespeichert.
Seite 41: Fluten
Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
Seite 42: Wartung
Für die Durchführung von Wartungsarbeiten der Level 2 und 3 empfehlen wir den Pfeif- fer Vacuum Service (PV). Bei Überschreiten der genannten Intervalle oder bei unsachge- mäß ausgeführten Wartungsarbeiten, entfallen jegliche Gewährleistungs- und Haftungsan- sprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile ver- wenden. Empfehlungen für die Ausführung von Wartungsmaßnahmen ►...
Seite 43: Betriebsmittelspeicher Austauschen
Wartung ► Beachten Sie die Dauer der Gebrauchsfähigkeit des Betriebsmittels. ► Wenden Sie sich für Fragen zur Wartung an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. Tätigkeit Inspektion Wartung Wartung Wartung Benötigtes Level 1 Level 2 Level 3 Material Beschrieben in Dokument...
Seite 44: Betriebsmittelspeicher Demontieren
● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
Seite 45: Betriebsmittelspeicher Montieren
Wartung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe, um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3. Schrauben Sie die Torxschrauben aus dem Verschlussdeckel heraus. 4. Heben Sie den Verschlussdeckel vom Pumpenunterteil. 5. Entnehmen Sie Dichtung und O-Ring. –...
Seite 46: Antriebselektronik Austauschen
Wartung 7.4 Antriebselektronik austauschen HINWEIS Schäden an Vakuumpumpe und Antriebselektronik durch unsachgemäßes Trennen von Kom- ponenten Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Vakuumpumpe elektrische Ener- gie. Bei vorzeitiger Trennung von Vakuumpumpe und Antriebselektronik besteht die Gefahr eines Massenschlusses und dadurch die Zerstörung von elektronischen Bauteilen. ►...
Seite 47: Drehzahlvorgabe Bestätigen
Sollwertvorgabe der Nenndrehzahl. Die manuelle Bestätigung der Nenndrehzahl ist Bestandteil eines redundanten Sicherheitssystems als Maßnahme zur Vermeidung von Überdrehzahl. Die charakteristi- sche Nenndrehzahl der HiPace 80 Neo ist 1500 Hz. Die redundante Bestätigung der Nenndrehzahl einer Turbopumpe ist durch Einstellen des Parameters [P:777] NomSpdConf in der Antriebselektronik möglich.
Seite 48: Außerbetriebnahme
1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
Seite 49: Recycling Und Entsorgung
Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
Seite 50: Störungen
Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
Seite 51: Tab. 13: Störungsbehebung Bei Turbopumpen
● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung. ● Rotor schwergängig, ● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick- Lager defekt lung ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Sollwert Hochlaufzeit ● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700] zu niedrig eingestellt über ein Steuergerät.
Seite 52: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum
Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
Seite 53 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
Seite 54: Ersatzteile Hipace 80 Neo
Ersatzteile HiPace 80 Neo 12 Ersatzteile HiPace 80 Neo Abb. 23: Ersatzteile HiPace 80 Neo Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 80 siehe Typenschild Betriebsmittelspeicher siehe Typenschild inkl. Kapillarstäbe, O-Ring und Dichtung Tab. 14: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile 54/130...
Seite 55: Zubehör
Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
Seite 56 Dämpfungskörper für HiPace 60/80, DN 63 ISO-K PM 006 800 -X Dämpfungskörper für HiPace 60/80, DN 63 CF-F PM 006 801 -X Splitterschutz für Pfeiffer Vacuum Turbopumpen PM 016 312 Schutzgitter für DN 63 CF-F PM 016 333 Befestigungssatz für HiPace 60/80, DN 40 ISO-KF, inklusive Zentrierring und...
Seite 57 Flutventil geschirmt, 24 V DC, G 1/8" zum Anschluss an TC 110/120 PM Z01 290 Flutventil, 24 V DC, G 1/8" ohne Kabel PM Z01 293 Flutventil geschirmt, AccessLink, 24 V DC, G1/8" für HiPace 80 Neo PM Z01 295 Filterelement | Schalldämpfer G1/8" P 0988 060 Stromausfallfluter geschirmt, 24 V DC, G 1/8"...
Seite 58: Tab. 15: Zubehör
Zubehör Auswahlfeld Bestellnummer IKT 010, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Niedrigstromausführung PT R72 550 IKT 011, Digitaler Kaltkathoden-Sensor, Hochstromausführung PT R73 550 Tab. 15: Zubehör 58/130...
Seite 59: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
Seite 60 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung erweitert HiPace® 80 Neo HiPace® 80 Neo HiPace® 80 Neo mit TC 80 mit TC 80 mit TC 80 Kompressionsverhältnis für N 1 · 10 1 · 10 1 · 10 Saugvermögen für Ar 30 l/s 66 l/s 66 l/s Saugvermögen für H...
Seite 61: Medienberührende Werkstoffe
-25 – 55 °C -25 – 55 °C -25 – 55 °C Gewicht 1,7 kg 1,7 kg 3,1 kg Tab. 18: Technische Daten für HiPace 80 Neo, andere Anschlussflansche für den Ausgang op- tional 14.3 Medienberührende Werkstoffe Medienberührende Werkstoffe Aluminiumlegierungen Edelstahl Seltene-Erden-Magnete Kohlefaserverstärkte Kunststoffe...
Seite 62: Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 14.4 Abmessungen DN 40 ISO-KF 67 .4 DN 16 ISO-KF (G1/4”) Abb. 24: HiPace 80 Neo | DN 40 ISO-KF Maße in mm DN 63 ISO-K DN 16 ISO-KF 67.4 (G1/4”) Abb. 25: HiPace 80 Neo | DN 63 ISO-K Maße in mm...
Seite 63: Abb. 26: Hipace 80 Neo | Dn 63 Cf-F
Technische Daten und Abmessungen DN 63 CF-F 67.4 DN 16 ISO-KF (G1/4”) Abb. 26: HiPace 80 Neo | DN 63 CF-F Maße in mm 63/130...
Seite 64: Eg Konformitätserklärung
ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
Seite 65: Uk Konformitätserklärung
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
Seite 66 66/130...
Seite 67 Limits of use of product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive 3.1.4 Sealing gas connection Identifying the product 3.2.1 Product types...
Seite 68 Operation Commissioning Operating modes 6.2.1 Operation without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "X3" 6.2.3 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring Switching off and venting 6.5.1 Switching off...
Seite 69: List Of Tables
Tbl. 16: Conversion table: Pressure units Tbl. 17: Conversion table: Units for gas throughput Tbl. 18: Technical data for HiPace 80 Neo, other connection flanges for the output are optional Tbl. 19: Materials that make contact with the process media 69/130...
Seite 70: List Of Figures
Electronic drive unit installation and removal Fig. 19: Spare parts, HiPace 80 Neo Fig. 20: HiPace 80 Neo | DN 40 ISO-KF Fig. 21: HiPace 80 Neo | DN 63 ISO-K Fig. 22: HiPace 80 Neo | DN 63 CF-F...
Seite 71: About This Manual
Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status.
Seite 72: Pictographs
Rating plate The rating plate of the turbopump is located on the lower part D-35614 Asslar Berliner Str. 43 of the vacuum pump. HiPace 80 Neo Mod. PM P080 XXX Rating plate of the electronic drive unit Type 12 - - - - - - - -...
Seite 73: Abbreviations
About this manual Fig. 1: Position of the stickers on the product 1 Operating instructions note Functional earth indication 2 Rating plate for electronic drive unit Rating plate of the turbopump 3 Warranty seal 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current...
Seite 74: Safety
Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
Seite 75 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.
Seite 76 ► Install suitable touch protection if the vacuum pump is accessible to untrained persons. ► Allow the vacuum pump to cool down before carrying out any work. ► Contact Pfeiffer Vacuum for suitable touch protection in system solutions. Risks during operation...
Seite 77 ► Install suitable touch protection if the vacuum pump is accessible to untrained persons. ► Allow the vacuum pump to cool down before carrying out any work. ► Contact Pfeiffer Vacuum for suitable touch protection in system solutions. Risks during maintenance, decommissioning and disposal...
Seite 78: Safety Precautions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
Seite 79: Limits Of Use Of Product
Safety ► Before working on the high vacuum connection, wait until the rotor has stopped completely (rota- tion speed f = 0). ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ►...
Seite 80: Foreseeable Improper Use
The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product.
Seite 81: Personnel Qualification For Maintenance And Repair
─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.
Seite 82: Product Description
3 Product description 3.1 Function The turbopump forms a compact unit with the electronic drive unit. Pfeiffer Vacuum power supply packs provide the voltage supply. Integrated temperature monitoring for the rotor reduces the power consump- tion of the turbopump if the rotor temperature exceeds the limit value. In addition to the multi-function connection of the electronic drive unit, the turbopump has two AccessLink sockets for connecting Pfeiff- er Vacuum accessories directly.
Seite 83: Rotor Bearing
ID no. 000021320. 3.2.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.
Seite 84 Product description ● Sealing plug for AccessLink sockets ● Operating instructions 84/130...
Seite 85: Transportation And Storage
► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits.
Seite 86: Installation
► Install suitable touch protection if the vacuum pump is accessible to untrained persons. ► Allow the vacuum pump to cool down before carrying out any work. ► Contact Pfeiffer Vacuum for suitable touch protection in system solutions. General notes for the installation of vacuum components ►...
Seite 87: Fastening Turbopump To Bottom Part
6 Nm ± 10 % HiPace 30 Neo HiPace 30 Neo H HiPace 60 HiPace 80 HiPace 80 Neo HiPace 80 Neo H SplitFlow 50 SplitFlow 80 SplitFlow 80 Neo Tbl. 6: Requirements for fastening the turbopumps to the bottom part...
Seite 88: Connecting The High Vacuum Side
Requirements for the dimensioning of high vacuum connection supplied by the cus- tomer Important information for correct installation ► Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connection of the turbopump. 5.3.2 Consider earthquake protection NOTICE...
Seite 89: Using A Splinter Shield Or Protective Screen
Safety connections, customer-side 5.3.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed of the turbo- pump reduces according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.
Seite 90: Taking Mounting Orientations Into Account
4. Observe the fastening of the ISO flanges. 5.3.5 Taking mounting orientations into account Pfeiffer Vacuum turbopumps of the HiPace Neo series are suitable for use with dry compressing back- ing pumps for mounting in all orientations. ► When using oil-sealed backing pumps, avoid backflow from the fore-vacuum range.
Seite 91: Attaching Iso-K Flange Onto Iso-K
Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.
Seite 92: Attaching Cf Flange To Cf-F
Installation Connection of hexagon head set screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum for the connection. 2. Place the collar flange over the high vacuum flange on the turbopump. 3. Insert the snap ring into the side groove on the high vacuum flange of the turbopump.
Seite 93 Connection of the hexagon head screw and through holes 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.
Seite 94: Connecting Fore-Vacuum Side
Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.
Seite 95: Connecting Accessories
Connecting accessory devices ● Use Pfeiffer Vacuum accessories via the AccessLink sockets or at the “X3” multi-func- tion connection of the electronic drive unit with corresponding connection cables or adapters. ● Configure the desired accessory output via RS-485 using the control unit or PC.
Seite 96: Directly Establishing Sealing Gas Connection
) as the sealing gas, use a G 1/8'' push-in fitting with hose connection from the Pfeiffer Vacuum accessories range. ● Pfeiffer Vacuum recommends the use of sealing gas from 50 % of the maximum gas throughput. ● The permissible inlet pressure for sealing gas is 1,500 hPa absolute.
Seite 97: Connecting The Electrical Supply
Dangerous situations may arise from unsafe or incorrect installation. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. 5.7.1 Ground turbopump Pfeiffer Vacuum recommends connecting a suitable grounding cable to discharge applicative interfer- ences. 97/130...
Seite 98: Establishing Electric Connection
Installation Fig. 14: Example: Connect the grounding cable Procedure 1. Use the turbopump ground terminal (M4 female thread). 2. Route the connection in accordance with locally applicable provisions. 5.7.2 Establishing electric connection DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ►...
Seite 99 5. Insert the connecting cable into the connection "DCout" on the power supply pack and close the bayonet lock. 6. If you are using a Pfeiffer Vacuum control unit: Connect the “RS-485” connector to the control unit using a suitable connection cable.
Seite 100: Operation
Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol.
Seite 101: Operating Modes
Notes on operation without control unit 1. Only use the approved Pfeiffer Vacuum connection cables with bridges on the "X3" connection on the electronic drive unit. 2. Only switch on the power supply of the turbopump immediately before operation.
Seite 102: Switching On The Turbopump
6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. Symbol...
Seite 103: Temperature Monitoring
Operation Symbol LED status Display Meaning No error, no warning On, constant Error, malfunction Tbl. 10: Behavior and meaning of the LEDs on the electronic drive unit 6.4.2 Temperature monitoring If threshold values are exceeded, output signals from temperature sensors bring the turbopump to a safe condition.
Seite 104: Venting
General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.
Seite 105: Maintenance
● Determine the specific service lives during the first operating interval. ● Consult with Pfeiffer Vacuum Service if you wish to reduce the maintenance frequency. Maintenance Level 2 and Level 3 We recommend Pfeiffer Vacuum Service (PV) carry out maintenance work at Level 2 and Level 3 (inspection).
Seite 106: Replace Operating Fluid Reservoir
Maintenance ► Pay attention to when the operating fluid must be changed. ► For any questions relating to maintenance, contact the appropriate Pfeiffer Vacuum Service loca- tion. Action Inspection Mainte- Mainte- Mainte- Required ma- nance lev- nance lev- nance lev-...
Seite 107: Removing Operating Fluid Reservoir
● When ordering spare parts, make sure you use the correct pump article number and the operating fluid reservoir. ● This information can be found on the pump rating plate. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ●...
Seite 108: Assembling Operating Fluid Reservoir
Maintenance Removing operating fluid reservoir 1. Wear laboratory gloves to avoid skin contact. 2. Place the turbopump on the closed high vacuum flange. 3. Unscrew the Torx screws from the closing cap. 4. Lift the closing cap off the pump bottom part. 5.
Seite 109: Replace Electronic Drive Unit
Maintenance 7.4 Replace electronic drive unit NOTICE Damage to the vacuum pump and electronic drive unit due to improper disconnection of com- ponents Even after the power supply has been switched off, the vacuum pump continues to deliver electrical energy during its run-down period. If the vacuum pump and electronic drive unit are disconnected prematurely, there is the risk of body contact and consequently the destruction of electronic compo- nents.
Seite 110: Confirming Speed Specification
The manual confirmation of the nominal rotation speed is part of a redundant safety system as a measure for preventing excess rotation speed. The HiPace 80 Neo has a character- istic nominal rotation speed of 1500 Hz.
Seite 111: Decommissioning
2. Clean the turbopump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing.
Seite 112: Recycling And Disposal
● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...
Seite 113: Malfunctions
► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
Seite 114 ● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700].
Seite 115: Service Solutions By Pfeiffer Vacuum
We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
Seite 116 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
Seite 117: Spare Parts, Hipace 80 Neo
Spare parts, HiPace 80 Neo 12 Spare parts, HiPace 80 Neo Fig. 19: Spare parts, HiPace 80 Neo Position Designation Order number Remark Pieces Electronic drive unit TC 80 refer to the rating plate Operating fluid reservoir refer to the rating plate incl.
Seite 118: Accessories
Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters.
Seite 119 Vibration damper for HiPace 60/80, DN 63 ISO-K PM 006 800 -X Vibration damper for HiPace 60/80, DN 63 CF-F PM 006 801 -X Splinter shield for Pfeiffer Vacuum turbopumps PM 016 312 Protection screen for DN 63 CF-F PM 016 333...
Seite 120 Venting valve, shielded, 24 V DC, G 1/8", for connection to TC 110/120 PM Z01 290 Venting valve, 24 V DC, G 1/8" without cable PM Z01 293 Shielded venting valve, AccessLink, 24 V DC, G1/8" for HiPace 80 Neo PM Z01 295 Filter element | silencer G1/8" P 0988 060 Shielded power failure venting unit, 24 V DC, G 1/8", for connection to TC...
Seite 121 Accessories Selection field Part number IKT 010, digital cold cathode sensor, low current PT R72 550 IKT 011, digital cold cathode sensor, high current PT R73 550 Tbl. 15: Accessories 121/130...
Seite 122: Technical Data And Dimensions
Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
Seite 123 Technical data and dimensions Type designation extended HiPace® 80 Neo HiPace® 80 Neo HiPace® 80 Neo with TC 80 with TC 80 with TC 80 Pumping speed for Ar 30 l/s 66 l/s 66 l/s Pumping speed for H 38 l/s 48 l/s 48 l/s Pumping speed for He...
Seite 124: Substances In Contact With The Media
Weight 1.7 kg 1.7 kg 3.1 kg Tbl. 18: Technical data for HiPace 80 Neo, other connection flanges for the output are option- 14.3 Substances in contact with the media Substances in contact with the media Aluminum alloy Stainless steel Rare-earth magnets...
Seite 125: Dimensions
Technical data and dimensions 14.4 Dimensions DN 40 ISO-KF 67 .4 DN 16 ISO-KF (G1/4”) Fig. 20: HiPace 80 Neo | DN 40 ISO-KF Dimensions in mm DN 63 ISO-K DN 16 ISO-KF 67.4 (G1/4”) Fig. 21: HiPace 80 Neo | DN 63 ISO-K...
Seite 126 Technical data and dimensions DN 63 CF-F 67.4 DN 16 ISO-KF (G1/4”) Fig. 22: HiPace 80 Neo | DN 63 CF-F Dimensions in mm 126/130...
Seite 127: Ec Declaration Of Conformity
DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
Seite 128: Uk Declaration Of Conformity
ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
Seite 129 129/130...
Seite 130 Notizen / Notes:...

Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 NEO Betriebsanleitung

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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 NEO

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 NEO

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