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使用说明
图 17
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将泵的开关调到ON的位置来启动.
4
如果泵配备可选的入口阀,阀门将在启动泵后 30 秒自动打开。
关闭程序
如果想要关闭泵:
将泵的开关调到OFF位置。如果泵配备可选的入口阀,隔离阀将很快关闭以将真
空室与泵隔离。
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电源开关 ON/OFF
Agilent IDP-10 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual
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