Inhaltsverzeichnis
Werbung
Ziehen Sie den Modulträger nach oben und führen Sie dann das Entnehmen des
Wechselmoduls wie oben beschrieben durch.
Der Modulträger kann ebenfalls ohne Werkzeug wieder auf das Treibergehäuse
aufgesteckt werden.
Achtung – Geräteschaden!
Fassen Sie nicht in das Innere des Gerätes, wenn kein Wechselmodul eingesetzt ist und
führen Sie keine Gegenstände außer den dafür vorgesehenen Wechselmodulen in die
Geräteöffnung ein.
Greifen Sie die Wechselmodule nur im vorderen Bereich wie oben beschrieben und
vermeiden Sie Berührungen mit der Kontaktplatine und dem Piezoelement.
Setzen Sie die Wechselmodule vorsichtig ein und entnehmen Sie diese auch vorsichtig.
7.5
Inbetriebnahme eines Gerätes mit Digital-I/O-Kommunikation
•
Stellen Sie sicher, dass ein Wechselmodul in dem Gerät eingesetzt ist.
•
Stellen Sie sicher, dass Luftein- und -auslass und der Düsenaustritt nicht abgedeckt
sind.
•
Beachten Sie bitte die Hinweise bezüglich elektrisch leitfähiger Gegenstände (Bild 5 bis
8).
•
Stellen Sie sicher, dass eine ausreichende Absaugung des Arbeitsbereichs
gewährleistet ist.
•
Stellen Sie sicher, dass die Gasversorgung des Modulträgers vorhanden ist.
•
Stellen Sie sicher, dass die Versorgungsspannung von 24 V anliegt.
•
Legen Sie am Schalteingang „Plasma ein" die gewünschte Spannung an
Fassen Sie während der Plasmaerzeugung nicht in den Arbeitsbereich. Dies kann die
Plasmaentladung stören und auch Hautirritationen verursachen bzw. als geringfügig
schmerzhaft empfunden werden.
Achtung – Geräteschaden!
Das Gerät kann beschädigt werden, wenn es ohne Gaszufuhr betrieben wird. Hierdurch
würde der im Betrieb nötige Zufluss des Kühlmediums unterbrochen werden. Bedecken
Sie auf keinen Fall den Luftein- und auslass und den Düsenaustritt während des Betriebs.
Überwachen Sie den Gasfluss zum Modulträger und unterbrechen Sie die
Plasmaerzeugung umgehend, wenn die Gasversorgung unterbrochen wird.
Wir empfehlen, die Absaugleistung im Prozess zu überwachen und die Plasmaerzeugung
nur bei ausreichender Gasversorgung freizugeben.
Das Gerät kann beschädigt werden, wenn sich elektrisch leitfähige Gegenstände näher
als 40 mm im Bereich des vorderen Drittels des Gerätes befinden.
Ausnahme: Substrate vor dem Wechselmodul bei Einsatz von dafür vorgesehenen
Modulen, z.B. Modul „Nearfield".
Hinweis!
Unter Umständen können die von dem Gerät erzeugten elektrischen Felder empfindliche
elektronische Bauteile schädigen. Stellen Sie sicher, dass die Bauteile Ihrer Anwendung
durch den Plasmaprozess nicht beeinträchtigt werden.
22
BA-PZ3_i_ML / F0354900
Beta-Test / preliminary
Werbung
Inhaltsverzeichnis
