Inhaltsverzeichnis
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Sicherheit .................................................................................................................................. 4
1
1.1
Restgefährdungen ............................................................................................................................. 4
1.2
Hinweise und Pflichten für den Betreiber .......................................................................................... 6
1.3
Unzulässige Betriebsbedingungen ................................................................................................... 6
1.4
Emissionen ........................................................................................................................................ 6
Gerätebeschreibung ................................................................................................................. 7
2
2.1
Bestimmungsgemäße Verwendung .................................................................................................. 7
2.2
Lieferumfang ..................................................................................................................................... 7
2.3
Gerätebeschreibung .......................................................................................................................... 8
2.4
Belegung der Anschlussleitungen ................................................................................................... 10
Technische Daten ................................................................................................................... 11
3
Transport/Lagerung ................................................................................................................ 11
4
Installation ............................................................................................................................... 12
5
5.1
Auspacken ...................................................................................................................................... 12
5.2
Installationsvoraussetzungen .......................................................................................................... 12
5.3
Positionierung der Komponenten .................................................................................................... 12
5.4
Montage der Komponenten ............................................................................................................ 14
5.5
Anschließen der Gasversorgung .................................................................................................... 15
5.6
Anschließen eines Gerätes mit Digital-I/O-Kommunikation ............................................................ 15
5.7
Einstellung des Modulträgers .......................................................................................................... 16
Besondere Hinweise zum Einsatz des Plasmaprozesses .................................................... 18
6
6.1
Allgemeine Beschreibung ............................................................................................................... 18
6.2
Oberflächenbehandlung durchführen ............................................................................................. 19
6.3
Maßnahmen nach der Oberflächenbehandlung ............................................................................. 19
Bedienung ............................................................................................................................... 20
7
7.1
LED Anzeige am Treibergehäuse ................................................................................................... 20
7.2
Schaltsignale ................................................................................................................................... 20
7.3
Fehlerquittierung ............................................................................................................................. 20
7.4
Einsetzen / Entnehmen des Wechselmoduls.................................................................................. 21
7.5
Inbetriebnahme eines Gerätes mit Digital-I/O-Kommunikation....................................................... 22
Arbeiten mit dem Wechselmodul „Standard" .................................................................................. 23
7.6
Arbeiten mit dem Wechselmodul „Nearfield" .................................................................................. 23
7.7
7.8
Arbeiten mit anderen Wechselmodulen .......................................................................................... 23
Außerbetriebnahme ................................................................................................................ 24
8
Wartung ................................................................................................................................... 24
9
9.1
Reinigung ........................................................................................................................................ 24
9.2
Austausch eines Wechselmoduls ................................................................................................... 24
Behebung von Störungen ...................................................................................................... 25
10
Umwelt ..................................................................................................................................... 26
11
11.1
Entsorgung ...................................................................................................................................... 26
Konformität / Normen ............................................................................................................. 26
12
12.1
CE ................................................................................................................................................... 26
12.2
FCC ................................................................................................................................................. 26
12.3
Produktnormen ................................................................................................................................ 27
Ersatzteile ................................................................................................................................ 27
13
BA-PZ3_i_ML / F0354900
Beta-Test / preliminary
3
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