Inhaltsverzeichnis
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2.3
Technische Daten
Allgemeine Informationen
Prinzipien der Messung
Vakuumanschluss
Filamente
Materialen im Vakuum
Einbaulage
Betriebstemperatur
Luftfeuchte
max. Ausheiztemperatur
Gewicht
Abmessungen
(H x B x T)
Totaldruckmessung
Messbereich
Genauigkeit
Reproduzierbarkeit
Wiederholrate
Gasartabhängige Druckanzeige
Helium Leckdetektion
Minimaler detektierbarer Partial-
druck von Helium
[% Totaldruck]
Minimale detektierbare Helium-
Leckrate
für S
= 10 / s
He
8
• Elektronenstoßionisation
• Elektrostatische Ionenfalle
• Flugzeit (time-of-flight) - Spektroskopie
• Wärmeleitung (Pirani)
KF 25 / CF40
2 x Iridium, Yttriumoxid-beschichtet
Edelstahl, Gold, Yttriumoxid auf Iridium, Glas, Kupfer, Aluminiumoxid,
Platin
Beliebig für Druck < 10 mbar
Lageabhängige Druckanzeige für Druck > 10 mbar
10°C ... 45°C
≤85% (nicht kondensierend)
80°C am Flansch (mit Betriebsgerät)
200°C (ohne Betriebsgerät)
Sensorkopf: ca. 1 kg
Betriebsgerät: ca. 0,76 kg
260 x 73 x 66 mm (mit Betriebsgerät)
100 x 73 x 66 mm (ohne Betriebsgerät)
1 × 10
... 1 × 10
Pa
-9
5
1 × 10
... 1000 mbar
-11
7.5 × 10
... 750 Torr
-12
± 25 % vom Messwert (für p = 1 × 10
± 15 % vom Messwert (für p = 1 × 10
± 10 % vom Messwert (für p = 1 × 10
Einstellbar bis 250 ms
ja
< 0.05% Totaldruck
< 0.5% Totaldruck
< 1% Totaldruck
< 10% Totaldruck
mbar . l / s (für p = 1 x 10
5 x 10
... 5x10
-9
-6
mbar . l / s
5 x 10
-9
mbar . l / s
1 x 10
-9
mbar . l / s
1 x 10
-10
NOVION
Bedienungsanleitung
®
...1 × 10
-3
...1 × 10
-7
...1 × 10
-8
(für p = 1 × 10
... 1 × 10
-6
(für p = 1 × 10
... 1 × 10
-7
(für p = 1 × 10
... 1 × 10
-8
(für p = 1 × 10
... 1 × 10
-10
... 1 x 10
-6
(für p = 1 x 10
... 1 x 10
-7
(für p = 1 x 10
... 1 x 10
-8
(für p = 1 x 10
... 1 x 10
-10
08 /2021
mbar)
+1
mbar)
-5
mbar)
-2
mbar)
-3
mbar)
-6
mbar)
-7
mbar)
-8
mbar)
-3
mbar)
-6
mbar)
-7
mbar)
-8
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