Verwandte Anleitungen für Vacom BARION atm
Inhaltszusammenfassung für Vacom BARION atm
- Seite 1 BARION atm ® Bedienungsanleitung Kombinationsvakuummessgerät für Messungen von Atmosphäre bis UHV www.vacom.de...
-
Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis BARION atm Bedienungsanleitung 07 / 2016 ®... - Seite 3 VACOM Kombinationsvakuummessgerät ® für Messungen von Atmosphäre bis UHV BARION atm ® Kontakt: support@vacom.de 07 / 2016 01 / 2014-1 BARION COLDION atm Bedienungsanleitung Bedienungsanleitung ® ® ...
-
Seite 4: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Inhaltsverzeichnis ................ 4 Allgemeine Informationen ............6 1.1 Produktbeschreibung ..................6 1.2 Lagerung ......................6 1.3 Allgemeine Bestimmungen und Garantie ............6 1.4 Konformitätserklärung ..................6 Sicherheit ..................7 2.1 Beachtung der Bedienungsanleitung ..............7 2.2 Grundlegende Sicherheitshinweise ..............7 2.3 Zeichenerklärung ....................7 Erste Schritte ................8 3.1 Auspacken ....................... 8 3.1.1 ... - Seite 5 Druckausgabe über RV .................. 19 A.3.5 Berechnung der Eingabewerte für die Spezifizierung des Schaltpunktes ..19 A.3.6 Bedeutung der Statusbits ................20 A.3.7 Bedeutung der Steuerbits ................21 A.4 Rechtsverbindliche Kontaminationserklärung ..........21 A.5 VACOM -Protokoll (Schnelleinstieg) ..............22 ® A. 5.1 Einstellungen ....................22 A. 5.2 Eingabe von Befehlen ..................23 A. 5.2.1 Für alle Geräte gültige Befehle ................ 24 A. 5.2.2 ...
-
Seite 6: Allgemeine Informationen
Allgemeine Informationen 1.1 Produktbeschreibung Das Weitbereichsvakuummessgerät BARION atm ermöglicht eine Druckmessung von ® 5 x 10 mbar bis Atmosphäre. Das wird durch die Kombination eines Wärmeverlust-Vakuum- meters, auch als Pirani bekannt, und eines Bayard-Alpert-Vakuummeters ermöglicht. 1.2 Lagerung Der Sensor und die Steuerelektronik sind in einer trockenen und staubfreien Umgebung zu lagern. Der Flansch ist mit einer Kunststoffkappe zu bedecken. Die Umgebungstemperaturen für die Lagerung dürfen nur zwischen 0 °C und 40 °C liegen. Weiterhin darf die Umgebung nicht kon- densierend sein und muss eine entsprechend geringe Luftfeuchte aufweisen. 1.3 Allgemeine Bestimmungen und Garantie Für die einwandfreie Funktion des Gerätes wird eine Gewährleistung von einem Jahr über- nommen. In dieser Zeit werden Material- und Herstellungsfehler kostenlos beseitigt. Normaler Verschleiß sowie Fehlfunktionen durch unsachgemäßen Gebrauch (dazu zählt auch starke Kontamination des Sensors) fallen nicht unter die Gewährleistung. Für Änderungen am Gerät, die über die in der Bedienungsanleitung aufgeführten Arbeiten hinausgehen, übernimmt der Hersteller keine Garantie. Die Rücksendung erfolgt zu Lasten des Kunden in der Originalverpackung. Wir behalten uns die Entscheidung über Ersatz oder Nach- besserung nach Prüfung in unserem Haus vor. 1.4 Konformitätserklärung Im Rahmen der CE-Konformitätserklärung wurden folgende Richtlinien und Normen ange- wandt: ... -
Seite 7: Sicherheit
Sicherheit 2.1 Beachtung der Bedienungsanleitung Das BARION atm wird betriebsbereit ausgeliefert. Bitte beachten Sie die in dieser Bedienungs- ® anleitung aufgeführten Hinweise zur Handhabung des Messgerätes. Beschädigungen des Produktes, die durch unsachgemäße Handhabung entstanden sind, führen zum Erlöschen der Gewährleistung. 2.2 Grundlegende Sicherheitshinweise Beachten Sie bei Installations-, Wartungs- und Reparaturmaßnahmen die angegebenen Schutz- vorschriften. Spannungen über 30 V AC bzw. 60 V AC gelten nach EN 61010 als berührungs- gefährlich. Das Austauschen des beschädigten Bauteils muss bei VACOM erfolgen. Ein unbefugter Eingriff führt zum Erlöschen jeglicher Ansprüche. Alle Arbeiten am Gerät dürfen nur von geschultem Personal durchgeführt werden! Unsachgemäßer Gebrauch kann zu schweren Verletzungen oder zum Tod führen! 2.3 Zeichenerklärung HINWEIS, GEFAHR oder WARNUNG: Angaben zur Verhütung von Personen- oder Sachschäden aller Art. GEFAHR: Angaben zur Verhütung von Personen- oder Sachschäden durch elektrische Einwirkung. HINWEIS: Allgemeine Hinweise auf weitere Angaben bzw. Bezugsabschnitte. 07 / 2016 BARION atm Bedienungsanleitung ®... -
Seite 8: Erste Schritte
Erste Schritte 3.1 Auspacken 3.1.1 Prüfen auf Beschädigungen Vor dem Auspacken des Produktes überprüfen Sie die Verpackung auf sichtbare Beschädi- gungen. Sollte die Verpackung und dabei auch das Betriebsgerät beschädigt sein, kontaktieren Sie uns unter support@vacom.de. 3.1.2 Lieferumfang Der Lieferumfang enthält ein BARION atm, bestehend aus Steuerelektronik und Sensor. In ® den folgenden Abbildungen sind die Rückwände von Sensor und Steuerelektronik nach dem Auseinanderschrauben des BARION atm abgebildet. ® Steuerelektronik Rückwand a Netzanschluss b RS232-Kommunikation c Signallampe für aktuellen Modus d Signallampe für Schaltpunktansteuerung Sensor Rückwand a Pirani-Sensor Filament 1, 2 1, 2 c Filament Common d Anode e Kollektor BARION atm Bedienungsanleitung 07 / 2016... -
Seite 9: Akklimatisierung
An der Signallampe c (siehe Seite 9) lässt sich der momentan aktive Modus des BARION atm ® erkennen. Die Signallampe d zeigt Ihnen, ob der Schaltpunkt aktiv oder inaktiv ist. Signallampe Farbe Bedeutung c (mode) Grün, leuchtend Heißkathode aktiv Grün, langsam blinkend Pirani aktiv Grün, schnell blinkend Degas aktiv Gelb, leuchtend Interner Reboot In diesem Zustand nicht abbrechen! Falls dieser Zustand länger als eine Minute anhält, wenden Sie sich bitte an ihren Kun- denbetreuer bei VACOM. Filamente defekt grün / rot, blinkend rot, blinkend Pirani oder Steuerelektronik defekt d (setpoint) SP1 aus / SP2 aus SP1 aktiv / SP2 aus gelb, leuchtend grün, leuchtend SP1 aus / SP2 aktiv gelb, blinkend SP1 aktiv / SP2 aktiv 3.1.3 Akklimatisierung Nach dem Auspacken und vor dem ersten Einschalten sollte das Gerät zur Akklimatisierung für einige Stunden auf Raumtemperatur gebracht werden. Dadurch können elektrische Kurz- schlüsse und damit der Ausfall des Gerätes durch Kondensation verhindert werden. 07 / 2016 BARION atm Bedienungsanleitung... -
Seite 10: Anschluss Und Installation
Anschluss und Installation Der Sensor wird an einem KF25-Flansch auf herkömmliche Weise montiert. Um ein sauberes Vakuum und damit eine optimale Druckmessung zu garantieren, empfehlen wir den Gebrauch von Handschuhen. Wenn der Sensor angeschlossen ist, kann er über ein RS232-Kabel mit einem PC verbunden werden. Das BAA-Adapterkabel (nicht im Lieferumfang enthalten, siehe Anhang A.2) kann für die Verbindung zu einem VMG read oder einem MVC3-A genutzt werden. Außerdem ist die Kommunikation mit dem BARION atm optional über Feldbus möglich. Im Fall der Kommu- ® nikation mit einem PC oder über Feldbus ist noch die Stromversorgung anzuschließen. 4.1 Beschreibung der Sub-D9-Schnittstelle Die RS232-Schnittstelle ermöglicht die Kommunikation zur Außenwelt. Neben RxD / TxD- Anschlüssen zur Kommunikation über RS232 besitzt die Schnittstelle Eingänge zur Stromver- sorgung, einen analogen Ausgang, der eine zum Druck proportionale Spannung bzw. einen zum Druck proportionalen Strom liefert und drei Schaltpunktausgänge. Weiterhin können die atm durch Beschaltung der RxD/TxD Anschlüsse mit +24V ge- Grundfunktionen des Barion ® steuert werden, siehe 5.4. 1) Analogausgang 2) RxD / Control 1 3) TxD / Control 2 4) + 24 V DC 5) GND 6) Analog GND 7) Setpoint 1 (RTS), max. 30 V / 0,5 A 8) Setpoint 1 (CTS) 9) Setpoint 2 OC, max. 30 V / 0,5 A 4.2 Umrechnung der Spannung bzw. des Stromes an der Analogschnittstelle Beim Auslesen des Druckes vom BARION atm über eine Analogschnittstelle sind folgende ... -
Seite 11: Bedienung
Bedienung Jegliche Bedienung wird über eine Verbindung zum PC bzw. zur Anzeige (ein VMG oder ein MVC3-A) realisiert. Die Kommunikation findet regulär über das VACOM-Protokoll statt, es wird jedoch auch das ATMION-Protokoll unterstützt. Eine genauere Beschreibung dieser beiden Protokolle finden Sie im Anhang. 5.1 Generelle Hinweise 5.1.1 Sicherheitshinweise Der Wechsel von Druckmessung über das Pirani-Prinzip zur Druckmessung über Bayard-Alpert- Messprinzip und zurück wird von der Steuerelektronik vollzogen. Trotzdem sei darauf hingewiesen, dass bei Stoßbelüftungen der Bayard-Alpert-Messzweig irreparabel beschädigt werden kann. Minimieren Sie die Kontamination des Sensors (zum Beispiel über ein Baffle, siehe Zubehör), da Kontaminationen die Reproduzierbarkeit des Sensors drastisch reduzieren und im Extremfall zu Ausfällen führen können. Leichte Kontaminationen können durch wiederholte Ausgaszyklen in einer sauberen Vakuumumgebung (p < 1 x 10 mbar) gesäubert werden. Gewährleisten Sie, dass der Sensor nicht zu stark erschüttert wird, da das dem Pirani-Messzweig irreparable Schäden zufügen kann. 5.2 Abgleich Wie im letzten Abschnitt erläutert, schaltet das BARION atm zwischen seinen beiden Mess- ® prinzipien automatisch. Dabei wird bei einem Druck von 1 x 10 mbar von Pirani auf Heißkathode und bei einem Druck von 1 x 10 mbar von Heißkathode auf Pirani geschaltet. Um beide Messprinzipien gut aufeinander abzustimmen, ist ein Abgleich erforderlich. Bei einem solchen Abgleich werden die obere und untere Messgrenze des Pirani-Messzweiges vom Benutzer spezifiziert. Bei Atmosphärendruck (z. B. bei geöffneter Kammer) wird dem Sensor mitgeteilt, dass 1000 mbar Druck herrschen. Bei einem Druck p < 1 x 10 mbar wird dem Sensor bestätigt, dass der untere Messbereich erreicht wurde. 5.3 Schaltpunkte Das Barion atm ist mit zwei voneinander unabhängigen Schaltpunktrelais ausgestattet. ... -
Seite 12: Steuerung Mittels +24 V Steuersignalen
Bedienung 5.4 Steuerung mittels +24 V Steuersignalen Grundlegende Steuerbefehle können dem Barion atm durch Beschaltung der Eingänge Con- trol 1 (RxD) und Control 2 (TxD) mit +24 V übermittelt werden. Control 1 (0 V) Control 2 (0 V) Normalbetrieb Control 1 (+24 V) Control 2 (0 V) Start Degas Control 1 (0 V) Control 2 (+24 V) Pirani only-Betrieb Heißkathode aus, solange +24 V aktiv Control 1 (+24 V) Control 2 (+24 V) Abgleich Piranisensor* * A tmosphären- oder Vakuumabgleich abhängig vom angezeigten Druckwert zum Zeitpunkt des Abgleichs: >10 mbar Atmosphärenabgleich < 1 mbar Vakuumabgleich BARION atm Bedienungsanleitung 07 / 2016 ®... -
Seite 13: Wartung
6.2 Firmware Update Mögliche Firmware-Updates können schnell kundenseitig auf das BARION atm gespielt werden. ® Die aktuellen Firmwareversionen und ein Programm zum Aufspielen der Firmware können auf unserer Webseite unter http://www.vacom.de/downloads/software heruntergeladen werden. Bei speziellen Anfragen wie älteren oder besonderen Firmwareversionen wenden Sie sich bitte an Ihren Kundenbetreuer oder benachrichtigen Sie uns. Für den Aktualisierungsvorgang gehen Sie wie folgt vor: 1. Schließen sie das BARION atm über ein RS232-Kabel an Ihren PC an. ® 2. Verbinden Sie die Stromversorgung mit dem BARION atm. ® 3. Öffnen Sie das Programm „VACOM Firmwareupdater“(Dateiname: firmwarewpf.exe) 4. Wählen Sie die Sprache „Deutsch“ und klicken Sie zweimal auf „weiter“. 5. Wählen Sie den COM-Port, an dem das BARION atm angeschlossen ist. ® 6. Lassen Sie die Baudrate unverändert, „19200 kb / s“ ist als korrekter Wert voreingestellt. Falls hier eine Fehlermeldung angezeigt wird, überprüfen Sie, ob die Kommunikation mit dem BARION atm gewährleistet ist (wurde es korrekt angeschlossen, mit Strom ® versorgt und ist der korrekte COM-Port angewählt). 7. Nach einem erneuten Klick auf „weiter“ suchen Sie im Feld „Datei“ die Firmware heraus, die Sie auf das BARION atm installieren wollen. ® 8. Im nächsten Fenster klicken Sie auf „Update“. Hier wird angezeigt, welche Firmware ... -
Seite 14: Störungsbehebung
Störungsbehebung Problem Ursache Maßnahme Abgleich vom Pirani Abgleich wiederholen Es findet kein Wechsel vom Pirani- in den Heißkathoden- inkorrekt modus statt, obwohl es der Druck zulassen würde Es wird beim Messen mit Sensor verunreinigt Degas durchführen der Heißkathode ein zu Empfindlichkeitswerte Sensor wieder auf werks- niedriger bzw. ein stark inkorrekt eingestellt eingestellte Empfindlich- schwankender Druck keitswerte zurücksetzen angezeigt Bei Unklarheiten oder anderen auftretenden Problemen kontaktieren Sie unseren Support unter support@vacom.de. BARION atm Bedienungsanleitung 07 / 2016 ®... -
Seite 15: Rücksendung/Entsorgung
Rücksendung/Entsorgung Kontamination des Produktes: Wenn das BARION atm in Atmosphären mit gesund- ® heits- oder umweltgefährdenden Stoffen eingesetzt wurde, müssen diese Stoffe beim Entsorger angegeben werden. Im Falle einer Rücksendung des Sensors an die VACOM Vakuum Komponenten & Mess- ® technik GmbH ist eine rechtsverbindliche Erklärung über die Kontamination des Produktes durch eine fachkundige Person auszufüllen und zu unterschreiben. Die Kontaminationserklärung kann auf unter www.vacom.de heruntergeladen werden. Ohne beiliegende Kontaminations- erklärung wird eine Rücksendung nicht angenommen und zurückgesendet. 07 / 2016 BARION atm Bedienungsanleitung ®... -
Seite 16: A Anhang
Anhang A.1 Technische Daten Das BARION atm ist ein Weitbereichsvakuummeter bestehend aus einer Heißkathode und ® einem Wärmeverlustvakuummeter nach Pirani-Prinzip. Damit ist eine störungsfreie Prozess- kontrolle von Atmosphäre bis in den UHV-Bereich möglich. Durch eine hohe Schnittstellenvielfalt ist eine einfache Systemintegration gewährleistet. 5 x 10 bis 1 x 10 Pa Messbereich 5 x 10 bis 1000 mbar 4 x 10 bis 750 Torr Genauigkeit ± 20 % vom Messwert ± 5 % vom Messwert Reproduzierbarkeit Max. Ausheiztemperatur CF-Variante: 220 °C am Flansch KF-Variante: 150 °C am Flansch Max. Betriebstemperatur 50 °C Filamente 2 Y -beschichtete Filamente Schaltpunkte 2 (1 x floatend, 1 x geerdet) 30 V DC / 0,5 A, max 100 V gegen Ground! Maximale Leistung 15 W Abmessungen (H x B x T) 122 x 73 x 66 mm Mögliche Vakuumanschlüsse DN40CF / DN25KF Verfügbare Schnittstellen RS232, Analog (0 bis 10 V, 0 bis 20 mA), optional Profibus, andere Schnittstellen auf Anfrage BARION atm Bedienungsanleitung... -
Seite 17: A.2 Zubehör
KF25LBAFFLE3-SVCR-304 Lamellenbaffle DN25KF Lamellenbaffle DN40CF CF40LBAFFLE3-SVCR-304 * Andere Varianten auf Anfrage atm A.3 Kommunikation mit dem BARION ® Das BARION atm verfügt über folgende Kommunikations-Schnittstellen: ® „ Ü ber eine RS232-Schnittstelle kann sowohl über das VACOM-Protokoll als auch über das ATMION-Protokoll kommuniziert werden. „ A n einer Analogschnittstelle kann sowohl ein zum Druck proportionaler Strom als auch eine zum Druck proportionale Spannung ausgegeben werden. „ O ptional gibt es Möglichkeiten einer PROFIBUS- oder anderen Feldbus- Kommunikation. Für das VACOM-Protokoll und die Feldbus-Systeme sei auf die entsprechenden Bedienungs- anleitungen verwiesen, hier wird genauer auf das ATMION-Protokoll eingegangen. A.3.1 ATMION-Protokoll Alternativ zum VACOM-Protokoll kann auch das ATMION-Protokoll zur Interaktion mit dem BARION atm verwendet werden. (Vacom Protokoll siehe 5.4) ®... -
Seite 18: A.3.2 Porteinstellungen
Anhang A.3.2 Porteinstellungen Für die RS232-Kommunikation sind folgende Einstellungen vorgesehen: 19200 Baudrate Data bits Stop bit None Parity Protocol None A.3.3 Befehlssatz Das generelle Format der Befehle ist wie folgt: <Befehl><Befehlsparameter><CR> Befehl Funktion Lesen des aktuellen Druckwertes. Lesen des Statusbits (weitere Details siehe unten). Lesen des Schaltpunktwertes für SP Ein und SP Aus. Ausgabewert in Hex. Lesen der Betriebsdauer der Filamente. Degas (2 min) SC**** Steuerbit setzen. Eingabewerte in Hex. SP**** **** Schaltpunktwerte für SP Ein und SP Aus setzen. Eingabewerte in Hex. Start automatisches Senden von Druck- und Servicewerten alle 500 ms. Stopp automatisches Senden von Druck- und Servicewerten. BARION atm Bedienungsanleitung 07 / 2016 ®... -
Seite 19: A.3.4 Druckausgabe Über Rv
Anhang A.3.4 Druckausgabe über RV Wie in der Tabelle dargestellt, kann der aktuelle Druckwert über „RV<CR>“ ausgelesen werden. Der Antwortstring hat folgende Form: <Modus>_<Druck> Der Druck hat dabei die Form „0.00E+/-00“. Die unterschiedlichen Modi sind in der folgenden Tabelle erläutert: Modus Beschreibung Pirani-Messmodus Ionisations-Messmodus mit Filament 1 Ionisations-Messmodus mit Filament 2 Degas Fehler A.3.5 Berechnung der Eingabewerte für die Spezifizierung des Schaltpunktes Die Drücke, bei denen ein Schaltpunkt ein- bzw. ausgeschaltet wird, werden im Hexformat ge- speichert. Die Umrechnung ist wie folgt: Eingabewert = 49152 + 4069*log (p) Der Druckwert p wird hierbei in mbar angegeben. 07 / 2016 BARION atm Bedienungsanleitung ®... -
Seite 20: Bedeutung Der Statusbits
Anhang A.3.6 Bedeutung der Statusbits Statusbits können über den Befehl „RS<CR>“ ausgelesen werden. Als Antwort folgt eine vierstellige Hexadezimalzahl und steht für 16 Bit. Die einzelnen Bits stehen für verschiedene Statusinformationen. Die 16 Bit sind in vier Sektionen unterteilt, die jeweils durch eine Hexade- zimalzahl beschrieben werden können. In der folgenden Tabelle sind die Bedeutungen für die einzelnen Statusbits erklärt und wie man einen Beispielcode (in dem Fall 001D) entschlüsselt. Bedeutung Druckabhängiges Umschalten von Messzweig aktiv Pirani aktiv, Messwert wird ausgegeben Ionisations-Messzweig aktiv, Messwert wird ausgegeben Filament wird automatisch ausgewählt Filament 1 aktiv Filament 2 aktiv Degas aktiv Kleiner Emissionsstrombereich aktiv Schaltpunkt wird extern gesteuert Zustand am Schaltpunkt-Ausgang Schaltpunktfunktion ist aktiv Externe Eingänge für Anlagensteuerung sind aktiviert Fehlerbit wird zurückgesetzt Vakuumabgleich ist aktiviert Atmosphärenabgleich ist aktiviert Lebenssignal Man liest eine Antwort auf den Befehl RS<CR> von rechts nach links. Wie oben gezeigt bedeutet der Code 001D, dass der Messmodus druckabhängig geändert wird, die automatische Filament- auswahl und der Messzweig Ionisation aktiviert sind und das Filament 1 läuft. BARION atm Bedienungsanleitung 07 / 2016 ®... -
Seite 21: Bedeutung Der Steuerbits
Anhang A.3.7 Bedeutung der Steuerbits Wie weiter oben beschrieben, können die Steuerbits über den Befehl „SC<Wert><CR>“ vor- geschrieben werden. Wie im Fall der Statusbits stehen von 16 Einzelbits diese für gewisse Detailinformationen. In der folgenden Tabelle werden sie geschildert und durch ein Beispiel, den Befehl „SC 0049<CR>“, illustriert. Bedeutung Festlegen des druckabhängigen Umschaltens. Messung nur im Pirani-Modus. Messung nur im Ionisations-Modus. Setzen der automatischen Filamentauswahl. Nutzung von Filament 1. Nutzung von Filament 2. Initiierung von Degas. Kleinen Emissionsstrom setzen. Schaltpunkt unabhängig von Druckwert schalten. Wenn Bit 8 gesetzt ist: Ein / Ausschalten von Schaltpunkt. Schaltpunkt abhängig vom Druck schalten. Freigabe externer Eingänge für Analogsteuerung. Fehlerbit wird zurückgesetzt Vakuumabgleich ist aktiviert Atmosphärenabgleich ist aktiviert N. a. Man sieht, dass der Befehl „SC 0049<CR>“ bei automatisch gewählten Filamenten und auto- matisch gewähltem Messmodus einen Degasprozess startet. A.4 Rechtsverbindliche Kontaminationserklärung Die rechtsverbindliche Kontaminationserklärung wird unter www.vacom.de zum Download bereitgestellt. 07 / 2016 BARION atm Bedienungsanleitung ®... -
Seite 22: Vacom ® -Protokoll (Schnelleinstieg)
Anhang A.5 VACOM -Protokoll (Schnelleinstieg) ® Das VACOM-Protokoll ermöglicht eine einfache, flexible und zuverlässige Schnittstellenkom- munikation mit VACOM-Geräten. Es kann parallel zu ggf. vorhandenen Protokollen verwendet werden, die aus Kompatibilitätsgründen weiter unterstützt werden. A.5.1 Einstellungen Das VACOM-Gerät ist immer der Client und antwortet nur dann, wenn es von einem Master (in der Regel ein PC) explizit dazu aufgefordert wird. Die Verbindung zwischen Client und Master erfolgt mittels einer seriellen Schnittstelle (RS232, RS422 oder RS485). Verbindungseinstellungen: „ Standard-Datenübertragungsrate: 19.200 bit /s „ bezüglich der Kompatibilität zu älteren Geräten werden zudem Datenübertragungsraten von 9.600, 38.400, 57.600 und 115.200 bit/s unterstützt „ ... -
Seite 23: Eingabe Von Befehlen
Anhang A.5.2 Eingabe von Befehlen (für 1:1-Verbindungen 1 Master & 1 Client) Wichtige und häufig vorkommende Funktionen der VACOM-Messgeräte können direkt als Be- fehl über die serielle Schnittstelle ausgegeben werden. Beispiel A5 50 00 00 01 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 69 EF Fester Wert zu übergebende Parameter Kommando und Prüfsumme Subkommando „ nur bei „set“-Befehlen und fester Wert für Befehle, „ „ eigentliche Befehle bei denen keine Parameter Angabe der Messkanalnum- und Funktionen übergeben werden mer, der Feldnummer oder des Schaltpunktes für Befehle bei denen „ Parameter übergeben werden, steht ein entspre- chendes Programm zur ... -
Seite 24: Für Alle Geräte Gültige Befehle
Anhang A.5.2.1 Für alle Geräte gültige Befehle 1 Master & 1 Client) (für 1:1-Verbindungen A5 50 00 00 01 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 69 EF Fester Wert request serial keine zu übergebenden Prüfsumme number Parameter = Kommando fester Wert für Befehle, „ bei denen keine Parameter übergeben werden zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter Übergabe Bedeutung / Antwort des Wert Wert Clients Parameter request name 01 00 Antwort: Name des Gerätes 69 EF (null-terminierter String request software version Antwort: Versionsnummer der Software 38 7F A5 50 00 00 (null-terminierter String) 01 01 ist keine gültige Firm-... -
Seite 25: Befehle Für Die Geräteklasse Der Drucksensoren
Anhang A.5.2.2 Befehle für die Geräteklasse der Drucksensoren 1 Master & 1 Client) (für 1:1-Verbindungen A5 50 00 00 20 10 05 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 57 3D Fester Wert request actual Messkanalnummer 5: Prüfsumme = zu übergebende Parameter value string (mbar) = Kommando fester Wert für Befehle, „ bei denen keine Parameter übergeben werden zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter Übergabe Bedeutung / Antwort des Wert Wert Clients Parameter request actual value string Messkanal- Messkanal-Nr.: 1 (mbar) nummer 20 10 Antwort: aktueller Druckwert FF 8C in mbar Messkanal-Nr.: 2 (8-Bit-Wert) (null-terminierter String) ... -
Seite 26: Befehle Für Die Geräteklasse Der Ionengetterpumpen (Igp)
Anhang A.5.2.3 Befehle für die Geräteklasse der Ionengetterpumpen (IGP) 1 Master & 1 Client) (für 1:1-Verbindungen A5 50 00 00 20 30 12 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 AB 7B Fester Wert get voltage (V) Messkanalnummer 18: Prüfsumme = Kommando = zu übergebende Parameter fester Wert für Befehle, „ bei denen keine Parameter übergeben werden zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter Übergabe Bedeutung / Antwort des Wert Wert Clients Parameter request actual current Messkanal-Nr.: 1 value string (A) Messkanalnummer 20 0C 37 4A Antwort: aktueller Strom in A (8-Bit-Wert) Messkanal-Nr.: 2 (null-terminierter String) 77 BB request actual pressure value string (mbar) Messkanal-Nr.: 1... - Seite 27 Anhang zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter request setpoint threshold ** (A) Nummer des Schaltpunkt-Nr.: 1 Antwort: untere und obere Schaltpunktes 22 04 11 30 Schaltschwelle in A (float- Schaltpunkt-r.: 2 (8-Bit-Wert) Werte), Messkanalnummer 51 C1 (8-Bit-Wert) request setpoint threshold ** (mbar) Nummer des Schaltpunkt-Nr.: 1 Antwort: untere und obere Schaltpunktes 22 08 D4 33 Schaltschwelle in mbar (float- Schaltpunkt-Nr.: 2 (8-Bit-Wert) Werte), Messkanalnummer 94 C2 A5 50 00 00 (8-Bit-Wert) untere und obere Schaltschwelle in A set setpoint threshold (A) (float-Werte), ...
-
Seite 28: Spezielle Befehle Für Gapas
Anhang A.5.2.4 Spezielle Befehle für GAPAS 1 Master & 1 Client) (für 1:1-Verbindungen A5 50 00 00 40 08 0E 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 2E 61 Fester Wert request 60-min-history (mbar) Feldnummer 14: Prüfsumme = Kommando = zu übergebende Parameter fester Wert für Befehle, „ bei denen keine Parameter übergeben werden zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter Übergabe Bedeutung / Antwort des Wert Wert Clients Parameter request 60-min-history (mbar) Feldnummer: 1 Antwort: 8 Druckwerte in Feldnummer 40 08 6B 95 mbar in logarithmischer [0…14] Feldnummer: 2 Darstellung 2B 64 A5 50 00 00 (16-Bit-Wert) request 24-h-history (mbar) -
Seite 29: Spezielle Befehle Für Barion Atm
Anhang A.5.2.5 Spezielle Befehle für Barion atm ® 1 Master & 1 Client) (für 1:1-Verbindungen A5 50 00 00 40 08 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 7C 3B Fester Wert request 60-min-history (mbar) Feldnummer 14: Prüfsumme = Kommando = zu übergebende Parameter fester Wert für Befehle, „ bei denen keine Parameter übergeben werden zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter Übergabe Bedeutung / Antwort des Wert Wert Clients Parameter request serial number (head) ** Antwort: Seriennummer Feldnummer: 1 40 00 (null-terminierter String) 6B 95 (Seriennummer des Mess- Feldnummer: 2 kopfes ist in dessen EEPROM ... - Seite 30 Anhang zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter reset to factory values Antwort: --- A5 50 00 00 40 F0 beachte: Werte wie Lebens- 69 F4 zeit etc. werden nicht zurückgesetzt Pirani-Sensor adjust atmosphere value Antwort: --- 41 00 7C 3B setzt den aktuellen Wert als den Wert für „Atmosphäre“ adjust vacuum value Antwort: --- 41 01 setzt den aktuellen Wert 2D AB des Pirani-Sensors als den Wert für „Vakuum“ get cold resistance Antwort: Widerstand des 41 10 71 FE Pirani-Sensors bei 0 °C in Ohm (float – Wert) A5 50 00 00 set cold resistance Widerstand des Antwort: Stellwert Pirani-Sensors bei 41 11 (float – Wert) 0 °C in Ohm self calibration...
- Seite 31 Anhang zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter Heißkathode start degas Antwort: --- beachte: Start eines Degas- Vorgangs, wenn die Heiß- 42 01 DD EF kathode schon läuft und der Maximaldruck für das Starten des Degas unterschritten ist get filament selection Antwort: Angabe welches Filament gewählt ist (8-Bit-Wert) 42 10 81 BA 0…Filament aus 1…nur Filament 1 2…nur Filament 2 3...automatische Auswahl Angabe welches Filament gewählt ist ** A5 50 00 00 (vorzeichenloser Filamentangabe: 0 8-Bit-Wert) D0 2A set filament selection 0…Filament aus Filamentangabe: 1 Antwort: Stellwert 42 11 1…nur Filament 1 11 BA 2…nur Filament 2 ...
-
Seite 32: 5.2.6 Steuerung Mittels +24 V Steuersignalen
Anhang zu übergebende Fester Wert Kommando und Subkommando Prüfsumme Parameter set sensitivity filament 2 Sensitivität von Fi- 42 23 Antwort: Stellwert lament 2 in 1/mbar (float - Wert) (float-Wert) get factory set sensitivity filament 1 42 28 Antwort: werksseitig einge- 12 77 stellte Sensitivität von Fila- ment 1 in 1 / mbar (float-Wert) get factory set sensitivity A5 50 00 00 filament 2 42 29 Antwort: werksseitig einge- 43 E7 stellte Sensitivität von Fila- ment 2 in 1 / mbar (float-Wert) get lifetime filament 1 Antwort: Betriebsdauer von 98 70 42 40 Filament 1 in Sekunden (nicht exakt!) get lifetime filament 2 Antwort: Betriebsdauer von 42 41 C9 E0 Filament 2 in Sekunden (nicht exakt!) ... -
Seite 33: Notizen
Anhang 07 / 2016 BARION atm Bedienungsanleitung ®... - Seite 34 Anhang BARION atm Bedienungsanleitung 07 / 2016 ®...
- Seite 35 Anhang 07 / 2016 BARION atm Bedienungsanleitung ®...
- Seite 36 VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH In den Brückenäckern 3 07751 Großlöbichau Germany „ „ Tel. +49 3641 4275-0 Fax +49 3641 4275-82 info@vacom.de „ „ www.vacom.de www.vacom-shop.de „...