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6.2
Kalibrierung Massenspektrum
Hinweis!
Von VACOM ausgelieferte NOVION
Eine erneute Kalibrierung muss nur durchgeführt werden, wenn die Massen
im Massenspektrum nicht korrekt angezeigt werden. Achtung: Durch eine vollständig ausge-
führte Neu-Kalibrierung wird die Werkskalibrierung unwiderruflich überschrieben.
Es ist möglich, die Massenspektrem von NOVION
Calibration Tool. (VACOM-Homepage: Downloadbereich; wird zusammen mit Software NOVION
Vorbereitung Kalibrierung:
Hinweis!
Die Kalibrierung sollte nur von Fachpersonal mit entsprechender Ausbildung und Fachkenntnis
im Bereich Restgasanalyse durchgeführt werden!
Der Sensor muss sich für die Kalibrierung im Ionisations-Modus befinden, d.h. der aktuelle Totaldruck der
Vakuumanlage muss kleiner 5E-03 mbar (3,8E-03 Torr, 5E-01 Pa) sein. Es empfiehlt sich, die Kalibrierung bei
dem typisch verwendeten Arbeitsdruck durchzuführen.
Zur Durchführung der Kalibrierung des Massenspektrums muss die Zusammensetzung des Restgases in der
Vakuumanlage bekannt sein. Für ein optimales Ergebnis empfiehlt sich das Einlassen eines bekannten Gasgemisches,
insbesondere Kalibriergas.
Geeignete Peaks (Gase) für Kalibrierung:
o
H, H2, He, N2, Ar, Kr, Xe
Bedingt geeignet für Kalibrierung:
o H20 (Überlappung / Verschiebung zu Masse 16 und 17)
o O2 bei viel N2 (Überlappung)
o CO2 bei viel Ar (Überlappung)
Überlappende Peaks können leicht versetzte Maxima haben und dadurch schlechte Ergebnisse liefern.
Ablauf Kalibrierung:
Achtung:
Eine Verbindung zur NOVION
werden.
NOVION
Calibration Tool starten und über entsprechenden COM-Port Verbindung zum NOVION
®
aufbauen.
24
-Sensoren sind werkskalibriert.
®
schnell und einfach zu kalibrieren. Dazu dient das NOVION
®
-Viewer Software oder Anlagensteuerung muss vorher getrennt
®
NOVION
Bedienungsanleitung
®
08 /2021
®
-Viewer installiert).
®
-Sensor
®
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