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3.2
Vakuumanschluss
Zur Installation des NOVION
Warnung!
Überdruck in der Vakuumanlage kann zu Verletzung durch umherfliegende Teile führen.
Die Vakuumanlage nur bei Atmosphärendruck 1 bar öffnen.
Achtung!
Achten Sie auf Sauberkeit beim Umgang mit Vakuumkomponenten.
Schmutz und Beschädigung können die Funktion des Vakuumflanschanschlusses und des
Sensorelements beeinträchtigen.
1. Sensorkopf-Schutzkappe öffnen.
2. (bei CF40 Flanschverbindung) Dichtring aufsetzen.
3. Mechanische Verbindung zur Vakuumanlage
herstellen und sichern. Bei CF-Flanschverbindung
Schrauben im Uhrzeigersinn anziehen.
an einer Vakuumanlage sind folgende Arbeitsschritte auszuführen:
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NOVION
Bedienungsanleitung
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08 /2021
11
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