Verwandte Anleitungen für Vacom NOVION
Inhaltszusammenfassung für Vacom NOVION
- Seite 1 NOVION ® Bedienungsanleitung Vakuumsensor Version 2019:1.1, Stand: 29.06.2021 Wir liefern Zukunft.
- Seite 2 NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®...
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
LED Statuscodes ....................18 3.3.4 Herstellung der Stromversorgung ............... 18 3.3.5 Herstellung der Datenverbindung (Kabel) ............19 3.3.6 Herstellung der Datenverbindung (Bluetooth) ............20 Software Installation ....................21 Quickstart (Software NOVION Viewer) ...............22 ® 4. Betrieb ..........................25 Betriebsmodi ......................25 Messmodi......................25 Bedienung NOVION Viewer ................26 ®... -
Seite 4: Sicherheit
Verwendete Sicherheitssymbole Nachfolgend erläuterte Sicherheits- und Hinweissymbole werden in dieser Bedienungsanleitung verwendet: Warnung! Gefahr von Personenschäden Achtung! Gefahr von Schäden an Gerät oder Anlage Hinweis! Allgemeiner Hinweis auf weitere Angaben bzw. Bezugsabschnitte und nützliche Informationen NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®... -
Seite 5: Gewährleistung / Garantie
VACOM übernimmt keine Garantie, falls durch den Anwender oder Drittpersonen am Gerät Änderungen vorgenommen werden, welche über die in diesem Dokument aufgeführten Arbeiten hinausgehen. Die Rücksendung erfolgt zu Lasten des Kunden in der Originalverpackung. VACOM behält sich die Entscheidung über Ersatz oder Nachbesserung nach Prüfung in unserem Haus vor. NOVION... -
Seite 6: Ce Konformitätserklärung
CE Konformitätserklärung NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®... -
Seite 7: Gerätebeschreibung
Gerätebeschreibung Gerätebeschreibung Produktbeschreibung Das NOVION ermöglicht eine Weitbereichsdruckmessung von 1 × 10 mbar bis 1000 mbar (Atmosphärendruck) ® sowie die Detektion von Helium und Restgasanalysefunktion von Massezahl 1 bis 300. Durch die Nutzung einer neuartigen Ionenfalle werden zahlreiche Funktionen in einem kompakten Sensor zusammengeführt. -
Seite 8: Technische Daten
(für p = 1 x 10 … 1 x 10 mbar) für S = 10 / s mbar . l / s 1 x 10 (für p = 1 x 10 … 1 x 10 mbar) NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®... -
Seite 9: Partialdruckmessung
Summe schwerer (*Abhängig von Totaldruck und Massenzahl) Gase 45 … 300 amu Betriebsgerät RJ45-Buchse: - digital In / Out: RS232/RS485 (VACOM Protokoll) - analog Out: 0…10 V, max. 20mA Schnittstellen Bluetooth 2.0 (VACOM Protokoll) Spannungsversorgung 24 VDC ± 10%, 30 W... -
Seite 10: Inbetriebnahme
Geräts in der Originalverpackung des Herstellers. Überprüfen Sie die Lieferung auf Vollständigkeit. Überprüfen Sie die Komponenten auf visuelle Schäden. Bei Feststellung von Schäden schicken Sie eine Schadensmeldung an den Spediteur und informieren Sie den Hersteller. NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®... -
Seite 11: Vakuumanschluss
Vakuumanschluss Zur Installation des NOVION an einer Vakuumanlage sind folgende Arbeitsschritte auszuführen: ® Warnung! Überdruck in der Vakuumanlage kann zu Verletzung durch umherfliegende Teile führen. Die Vakuumanlage nur bei Atmosphärendruck 1 bar öffnen. Achtung! Achten Sie auf Sauberkeit beim Umgang mit Vakuumkomponenten. -
Seite 12: Elektrischer Anschluss
Schalten Sie das Betriebsgerät erst ein, wenn es mit dem Sensorkopf verbunden ist, da sonst ggf. gefährliche Spannungen zugänglich sind. Achtung! Schalten Sie das Betriebsgerät erst ein, wenn es mit dem Sensorkopf verbunden ist, da sonst ggf. das Betriebsgerät beschädigt wird. Elektrischer Anschluss 3.3.1 NOVION Betriebsgerät (Rückseite) ® Nummer Funktion Buchse Stromversorgung Buchse Input / Output Power-LED grün... -
Seite 13: Quickstart
Schalten Sie das Betriebsgerät erst ein, wenn es mit dem Sensorkopf verbunden ist, da sonst ggf. gefährliche Spannungen zugänglich sind. Achtung! Das mitgelieferte RJ45-Anschlusskabel darf PC-seitig nicht mit einer Ethernet-Buchse verbunden werden. Falscher Anschluss und nicht zulässige Spannungen können das NOVION ® Betriebsgerät beschädigen. 1. Verbinden Sie die Input-/ Output-Buchse (2) mit ... -
Seite 14: Einschaltprozedur
Sensorkopf angeschlossen ist. Das Gerät durchläuft dabei unterschiedliche Betriebszustände, welche auf den LEDs (Power und Status) abgebildet werden. Ebenso werden die Zustände in der NOVION -VIEWER Software (falls verbunden) dargestellt. Der Ablauf einer normalen Startsequenz ist wie ®... -
Seite 15: Herstellung Der Stromversorgung
Betriebsspannung und Leistung der Quelle eingehalten werden. Ebenso muss diese Quelle geerdet sein. 3.3.5 Herstellung der Datenverbindung (Kabel) Zur Kommunikation und zum Datenaustausch mit dem Gerät befindet sich auf der Rückseite des NOVION ® Betriebsgerätes ein Input-/ Output-Connector in Form einer RJ45-Buchse. Die Funktion der Kontakte dieser Buchse ist in nachfolgender Abbildung erklärt. -
Seite 16: Herstellung Der Datenverbindung (Bluetooth)
Bluetooth-Schnittstelle des NOVION -Betriebsgerätes aktiviert und von anderen Geräten sichtbar. Vom ® verwendeten Endgerät muss nach Bluetooth-Geräten gesucht werden. Sobald das NOVION -Betriebsgerät in ® der Liste der gefundenen Geräte sichtbar ist, kann die Kopplung erfolgen. Anschließend steht eine „virtuelle“... -
Seite 17: Quickstart (Software Novion ® Viewer)
Wenn Sie die Benutzer-Installation durchführen und den Pfad ändern, achten Sie darauf, dass Sie für den Ordner die nötigen Schreibberechtigungen besitzen! 3.5 Quickstart (Software NOVION -Viewer) ® NOVION -Viewer über ausführbare Datei oder Desktopverknüpfung starten, um in die Start Ansicht des NOVION ® ® Viewer zu gelangen. NOVION -Betriebsgerät aufbauen Verbindung zum ®... -
Seite 18: Verbindung Aufbauen
Verbindung aufbauen Verbindung hergestellt Die Verbindung wurde hergestellt und das NOVION -Betriebsgerät befindet sich im Zustand „Bereit“. Es ® werden Daten vom Betriebsgerät empfangen. Datenaufnahme starten: Gewünschten Messmodus über entsprechende Schaltfläche aktivieren. Datenaufnahme über die „Messung starten“-Schaltfläche initialisieren. NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®... - Seite 19 Messmodus wechseln Messung starten NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®...
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Seite 20: Betrieb
Der Degas sollte regelmäßig durchgeführt werden und dient der Reinigung von Emittern und Sensorelementen mittels elektronenstimulierter Desorption. Die Degas Elektronenenergie wird dazu von 130eV auf 210eV erhöht und der Elektronen- strom gesteigert. Der Degas kann mittels des NOVION -Viewers oder per ® VACOM-Protokoll-Befehl gestartet werden. -
Seite 21: Bedienung Novion ® Viewer
Homepage (https://www.vacom.de/downloads). ACOM Bedienung VACOM Protokoll Das „VACOM-Protokoll“ stellt eine generische Programmierschnittstelle für den Endanwender bereit, die es ermöglicht, eigene Applikationen zu implementieren. Ferner ist es auf diese Weise möglich, systemunabhängig mit einem VACOM Gerät zu kommunizieren. Sämtliche Mess- und Steuerungsfunktionen des NOVION können über das VACOM-Protokoll adressiert werden. -
Seite 22: Troubleshooting
Major Error: Beschreibung: LED Status: rote LED leuchtet dauerhaft, grüne ist aus In der SW: Lösung: 1. Überprüfe, ob beide Filamente durchgebrannt sind: In NOVION -Viewer Software: ® EINSTELLUNGEN -> erweiterte EINSTELLUNGEN i. Wenn beide Filamente OK 1. Neustarten 2. Wenn Fehler weiterhin vorhanden: Support kontaktieren ii. -
Seite 23: Serice / Wartung
Service / Wartung Betriebshinweise Degas der Filamente VACOM empfiehlt einen regelmäßigen DEGAS des aktiven Filaments durchzuführen. Insbesondere kann ein DEGAS die Ausgasrate des Sensors verringern und die Lebensdauer des Filaments erhöhen! Die empfohlene DEGAS-Dauer beträgt 10 min. ACHTUNG: DEGAS der Filamente nur durchführen bei Kammerdruck unterhalb von 10 mbar. -
Seite 24: Kalibrierung Massenspektrum
Überlappende Peaks können leicht versetzte Maxima haben und dadurch schlechte Ergebnisse liefern. Ablauf Kalibrierung: Achtung: Eine Verbindung zur NOVION -Viewer Software oder Anlagensteuerung muss vorher getrennt ® werden. NOVION Calibration Tool starten und über entsprechenden COM-Port Verbindung zum NOVION -Sensor ® ® aufbauen. NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021... -
Seite 25: Restgas Definieren
Danach Schritte 1 bis 4 im NOVION Calibration Tool durchführen: ® Calibration Tool Oberfläche 1. Daten einlesen: Klicken Sie auf „Start“. Das Rohspektrum wird eingelesen. Dies kann einige Minuten dauern. 2. Peak Finder: Dieser Schritt besteht aus mehreren Teilen: Restgas definieren Die im Restgas zu erwartenden Gase müssen zuerst mit der zugehörigen Masse hinzugefügt werden. -
Seite 26: Kalibrieren
Elektronik gesetzt, die vorherigen Schritte können also zur Optimierung wiederholt werden. Klicken Sie auf „Start“. Die ermittelte Fitgerade wird im Plot dargestellt. Die ermittelten Gase sollten bei korrekter Zuordnung alle auf der Fitgeraden liegen. Einzelne, abweichende Massen deuten auf eine falsche Zuordnung hin. NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®... -
Seite 27: Kalibrierung Speichern
Sobald das Ergebnis des Fits zufriedenstellend ist, können Sie die bestimmten Kalibrier-Parameter p0 und p1 auf das Betriebsgerät übertragen. Drücken Sie hierzu „Start“. Die ermittelten Werte werden in der Elektronik hinterlegt und die alten Werte unwiderruflich überschrieben. Eine erfolgreiche Kalibrierung der Peakpositionen sollte mittels RGA Messung in der NOVION -Viewer ®... -
Seite 28: Demontage
Bitte befolgen Sie bei der Deinstallation / Demontage des Geräts folgende Reihenfolge: 1. Sämtliche in der Vakuumanlage ablaufenden Prozesse beenden 2. Vakuumanlage belüften 3. Gerät außer Betrieb nehmen 4. Elektrische Kabel / Anschlüsse vom Gerät entfernen 5. Vakuumanschluss öffnen und Gerät von der Vakuumanlage lösen NOVION Bedienungsanleitung 08 /2021 ®... -
Seite 29: Einsenden An Vacom
Kontamination des Produktes: Wenn das Gerät in Atmosphären mit Gesundheits- oder umweltgefährdenden Stoffen eingesetzt wurde, müssen diese Stoffe beim Entsorger angegeben werden. Im Falle einer Rücksendung des Sensors an die VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH ist eine ® rechtsverbindliche Erklärung über die Kontamination des Produktes durch eine fachkundige Person auszufüllen und zu unterschreiben. - Seite 30 VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH In den Brückenäckern 3 07751 Großlöbichau Germany Tel. +49 3641 8734-0 Fax +49 3641 8734 499 info@vacom.de www.vacom.de www.vacom-vacuum.com www.vacom-shop.de info@vacom.de ...