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Gerätebeschreibung
2.
Gerätebeschreibung
2.1
Produktbeschreibung
Das NOVION
ermöglicht eine Weitbereichsdruckmessung von 1 × 10
®
sowie die Detektion von Helium und Restgasanalysefunktion von Massezahl 1 bis 300. Durch die Nutzung einer
neuartigen Ionenfalle werden zahlreiche Funktionen in einem kompakten Sensor zusammengeführt.
Im Totaldruckbereich 1000 mbar (Atmosphärendruck) bis 5 × 10
zur Bestimmung des Parameters Totaldruck zum Einsatz.
Im Totaldruckbereich 5 × 10
Parameter Totaldruck und Partialdruck Helium sowie zur Restgasanalyse zum Einsatz. Bei diesem Sensor werden
Elektronen mittels beheizter Filamente emittiert. Mithilfe der so erzeugten Elektronen werden Gasteilchen im
Messvolumen stoßionisiert und in einer Ionenfalle gesammelt. Die gesammelten Ionen werden dann zu einem
Faraday Cup beschleunigt und mittels Flugzeit (time-of-flight) - Analyse ausgewertet. Aus den ermittelten Daten
werden die Parameter Totalduck und Partialdruck im Messvolumen ermittelt. Die Umschaltung zwischen den
Messprinzipien erfolgt vollautomatisch.
Die Versorgungsspannungen für Wärmeleitungssensor und Heißkathodensensor werden von dem am Gerät
befindlichen Betriebsgerät bereitgestellt. Das Betriebsgerät erzeugt weiterhin die benötigten Ausgangssignale
und Schnittstellen für eine Darstellung der gemessenen Parameter auf einer externen Anzeige bzw. auf einem
externen Rechner.
NOVION
zeichnet sich durch einen großen Funktionsumfang und eine intuitiv bedienbare Software aus.
®
Traditionelle Vakuumsensoren zur Totaldruckmessung und Restgasanalyse werden durch das kompakte und
kostengünstige NOVION
2.2
Bestimmungsgemäße Verwendung
Das Gerät dient ausschließlich zur Druckmessung von nicht entzündbaren Gasen und Gasgemischen in einer
Vakuumanlage im Druckbereich von 1 × 10
angeschlossen werden.
... 1 × 10
mbar kommt ein Heißkathodenionisationssensor zur Bestimmung der
-3
-11
abgelöst.
®
... 1000 mbar. Es darf nur an dafür vorgesehene Komponenten
-11
NOVION
Bedienungsanleitung
®
mbar bis 1000 mbar (Atmosphärendruck)
-11
mbar kommt ein Wärmeleitungssensor (Pirani)
-3
08 /2021
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