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Betrieb
4
Betrieb
4.1
Betriebsmodi
Das NOVION
Pirani
von Atmosphärendruck bis 1 x 10
ferner dem Schutz der Elektronenemitter (Filamente) vor Stoßbelüftungen.
Ionisie-
Im Druckbereich unterhalb von 5 x 10
ren und
Der Wechsel zwischen Pirani- und Ionisationsmodus erfolgt automatisch. Im
Sammeln
Druckbereich von 1 x 10
möglich.
Der Degas sollte regelmäßig durchgeführt werden und dient der Reinigung von
Emittern und Sensorelementen mittels elektronenstimulierter Desorption. Die
Degas
Elektronenenergie wird dazu von 130eV auf 210eV erhöht und der Elektronen-
strom gesteigert. Der Degas kann mittels des NOVION
VACOM-Protokoll-Befehl gestartet werden.
4.2
Messmodi
Das NOVION
Totaldruck
Für Drücke oberhalb von 5x10
Messung
genutzt. Für Drücke unterhalb von 1x10
genutzt.
Der Totaldruck wird vom NOVION
in einem anderen Messmodus befindet.
Helium-
Der Helium-Lecksuch-Modus kann zusätzlich zur Totaldruckmessung aktiviert
Lecksuche
werden. Die Helium-Leckrate-Werte zeigen die relative Änderung des Helium-
Partialdrucks in der Vakuumkammer. Die Helium-Lecksuche ist im Ionisationsmodus
verfügbar und kann nicht parallel zur Restgasanalyse betrieben werden.
Restgas-
Das NOVION
analyse
Vakuumkammer zu untersuchen. Masse zu Ladungsverhältnis von 1 bis 300 m/Z
bzw. amu kann dabei untersucht werden. Die Restgasanalyse ist im Ionisations-
modus verfügbar und kann nicht parallel zur Helium-Lecksuche durchgeführt
werden.
20
verfügt über einen integrierten Pirani-Sensor, der die Druckmessung
®
mbar ermöglicht. Der Pirani-Sensor dient
-3
-3
... 5 x 10
-3
-3
beginnt nach dem Start automatisch mit der Totaldruckmessung.
®
mbar wird für die Druckmessung der Pirani-Modus
-3
immer gemessen, auch wenn sich das Gerät
®
verfügt über die Möglichkeit, die Gaszusammensetzung in der
®
NOVION
Bedienungsanleitung
®
mbar ist der Ionisations-Modus verfügbar.
mbar ist auch eine manuelle Umschaltung
-Viewers oder per
®
mbar wird der Ionisations-Modus
-3
08 /2021
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