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Service / Wartung
6
Service / Wartung
6.1
Betriebshinweise
Degas der Filamente
VACOM empfiehlt einen regelmäßigen DEGAS des aktiven Filaments durchzuführen. Insbesondere kann ein
DEGAS die Ausgasrate des Sensors verringern und die Lebensdauer des Filaments erhöhen! Die empfohlene
DEGAS-Dauer beträgt 10 min.
ACHTUNG: DEGAS der Filamente nur durchführen bei Kammerdruck unterhalb von 10
Vakuum-Abgleich des Pirani
Achtung!
Pirani-Abgleich bei falschen Drücken kann zum Start des Ionisations-Modus bei unzulässigem
Druck führen und somit die Elektronenemitter (Filamente) beschädigen.
NOVION
führt automatisch Pirani-Vakuumabgleiche durch, wenn der Druck unterhalb von 5 × 10
®
Daher sind Vakuumabgleiche nicht unbedingt nötig, wenn Drücke unterhalb von 5 × 10
angefahren und über längere Zeit gehalten werden.
ACHTUNG: Ein manueller Vakuum-Abgleich des Pirani sollte nur durchgeführt werden, wenn der Kammerdruck
unterhalb von 10
mbar ist.
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Atmosphären-Abgleich des Pirani
Es wird empfohlen, einen regelmäßigen Atmosphären-Abgleich des Pirani durchzuführen.
Der Atmosphären-Abgleich des Pirani sollte wiederholt werden, wenn der Kammerdruck dem Umgebungsdruck
entspricht und das NOVION
Der Atmosphären-Abgleich des Pirani sollte wiederholt werden, wenn der Sensor in einer neuen Lage verbaut
wurde.
ACHTUNG: Der Atmosphären-Abgleich des Pirani sollte nur durchgeführt werden, wenn der Kammerdruck
dem Umgebungsdruck (Atmosphärendruck ca. 1000 mbar) entspricht.
einen Druck kleiner als 1000 mbar anzeigt.
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NOVION
Bedienungsanleitung
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08 /2021
mbar.
-6
mbar ist.
-5
mbar regelmäßig
-5
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