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7 | Warn- und Fehlermeldungen
Typ
Meldung
E400
TMP Fehlermeldung
W401
TMP Warnungsmeldung
E402
Keine Kommunikation mit
dem Turbopumpen-Wandler
E404
TMP Stromaufnahme zu
hoch
W405
Kein Hochlauf der TMP
E410
TMP Temperatur zu hoch
W411
Hohe TMP Temperatur
W421
TMP Spannung zu niedrig
106 / 154
Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung
Unbehandelte
Fehlermeldung von der
TMP
Unbehandelte
Warnmeldung von der
TMP
TMP-Kabel defekt oder
nicht angeschlossen
TMP-Wandler defekt
MSB defekt
Der Druck in der TMP
ist zu hoch
Einlassdruck während
des Hochlaufs zu hoch
TMP-Lagerschaden
Die
Umgebungstemperatur
ist zu hoch
Luftfilter verschmutzt
Lüfter blockiert oder
defekt
Die
Umgebungstemperatur
ist zu hoch
Luftfilter verschmutzt
Lüfter blockiert oder
defekt
Stromversorgung zu
TMP nicht ausreichend
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Prüfen Sie, ob die Vorvakuumpumpe
während des Hochlaufs arbeitet
• Prüfen Sie, ob der Druck während des
Hochlaufs sinkt
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Schalten Sie das Gerät aus und lassen
Sie es abkühlen
• Reduzieren Sie die Temperatur in der
Umgebung, in der das Gerät steht
• Reinigen Sie die Lüftungsschlitze oder
ersetzen Sie die Filterplatten
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Reduzieren Sie die Temperatur in der
Umgebung, in der das Gerät steht
• Reinigen Sie die Lüftungsschlitze oder
ersetzen Sie die Filterplatten
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
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