INFICON UL6000 Fab Originalbetriebsanleitung Seite 103

INFICON
Typ Meldung
W223 Interne Spannung
24V_TMP1 außerhalb des
Bereichs
W224 Interne Spannung
24V_PRESSURE (Pirani)
außerhalb des Bereichs
W240 Spannung +15V außerhalb
des Bereichs
W241 Spannung -15V außerhalb
des Bereichs
E242 Spannung +15V oder -15V
kurzgeschlossen
W250 Spannung REF5V
außerhalb des Bereichs
E252 Spannung REF5V
kurzgeschlossen
W254 Ventilstrom ist außerhalb
des Bereichs
W255 Lüfterstrom außerhalb des
Bereichs
UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung
Kurzschluss oder
Überlast in der
24V_TMP1 Versorgung
Kurzschluss oder
Überlastung in der
24V_PRESSURE
(Pirani) Versorgung
Kurzschluss am
Vorverstärker
VI-Board oder MSB
defekt
Kurzschluss am
Vorverstärker
VI-Board oder MSB
defekt
Kurzschluss am
Vorverstärker
VI-Board oder MSB
defekt
Kurzschluss am
Vorverstärker
VI-Board oder MSB
defekt
Kurzschluss am
Vorverstärker
VI-Board oder MSB
defekt
Ein oder mehrere
abgesenkte Ventile
sind nicht
angeschlossen oder
defekt
VI-Board oder MSB
defekt
Lüfter nicht
angeschlossen
Lüfter blockiert oder
defekt
Warn- und Fehlermeldungen | 7
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