INFICON UL6000 Fab Originalbetriebsanleitung Seite 104

7 | Warn- und Fehlermeldungen
Typ Meldung
W300 Anodenspannung zu niedrig
W301 Anodenspannung zu hoch
W302 Suppressorspannung zu
niedrig
W303 Suppressorspannung zu
hoch
W304 Spannung Anode-Kathode
zu niedrig
W305 Spannung Anode-Kathode
zu hoch
E306 Anodenspannung falsch
W310 Kathode 1 gebrochen
W311 Kathode 2 gebrochen
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Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung
Kurzschluss der
Anodenspannung
VI-Board oder MSB
defekt
MSB defekt
Kurzschluss
Suppressor oder
Vorverstärker
VI-Board oder MSB
defekt
MSB defekt
Kurzschluss zwischen
Anode und Kathode
VI-Board oder MSB
defekt
MSB defekt
Der
Anodenspannungs-
Sollwert liegt außerhalb
des zulässigen
Bereichs
MSB defekt
Kathode defekt
Verbindung zur
Kathode unterbrochen
VI-Board oder MSB
defekt
Kathode defekt
Verbindung zur
Kathode unterbrochen
VI-Board oder MSB
defekt
• Wenden Sie sich an den Kundendienst
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• Führen Sie eine Kalibrierung durch
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• Prüfen Sie, ob die andere Kathode
eingeschaltet ist
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• Prüfen Sie, ob die andere Kathode
eingeschaltet ist
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UL6000-Fab-Betriebsanleitung-iina75de1-04-(2109)
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