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QNix
9500
®
Bereich
Job / Area
Messwert-Bereich
μm / mil
294.3
291.0
Auswerte-Bereich
Sonden-
Statusleiste
Belegung
Menü-Taste
24
Symbole
Beschreibung
12:40
Uhrzeit
nnnnn/nnnnn Ausgewählter Job und aktive Area
n:
Anzahl der bereits aufgenommenen Spots in der aktiven Area
Anzahl der Messwerte, die für die Mittelwertbildung verwendet
werden, bei mehr als 5 Werten erscheint die Anzahl als Ziff er.
Gefüllte Kästchen entsprechen der Anzahl der bereits aufgenom-
menen Messwerte.
Einheit für die Schichtdicke
aktueller Messwert (innerhalb der Grenzwerte)
Es sind noch nicht alle Messwerte für die Mittelwertbildung aufge-
nommen
316. 1
Messwert liegt außerhalb der Grenzwerte
n-1
Letzter und vorletzter Messwert
n-2
NFe / Fe
Substrateinstellung der aktuellen Messung
Hinweis: Der Auswertebereich gliedert sich in drei Unterbereiche:
Grafische Darstellung, Statistik und Conformance. Hier wird der
Bereich Statistik Werte beschrieben. Weitere Erläuterungen finden
Sie im Kapitel „Messergebnisse beurteilen".
x –
Mittelwert
x-max
Höchster gemessener Wert
x-min
Niedrigster gemessener Wert
σ
Standardabweichung
Sonde verbunden
Wechsel zum Menü (Taste Ein-/Aus)
Wechsel zur Messwertanzeige
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