Inbetriebnahme Des Generators - Parker UHP-Serie Bedienungsanleitung

3.2 Inbetriebnahme des Generators

Stellen Sie sicher, dass die Umgebung während der Inbetriebnahmephase ausreichend belüftet wird, da Stickstoff aus dem Drei-Wege-
Kugelhahn austritt.
Es wird vorausgesetzt, dass das System mit einem Absperrventil am Ablass des Generators und einem Drei-Wege-Kugelhahn am Eingang des
Anwendungsgeräts ausgestattet ist (siehe Abschnitt „Empfohlene Systemeinrichtung" auf Seite 28).
Schließen Sie das Absperrventil am Ablass des Generators.
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Stellen Sie den Drei-Wege-Kugelhahn so ein, dass das Anwendungsgerät vom System isoliert und der Fluss in die Umgebung umgelenkt
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wird.
Heben Sie die obere Zugangsklappe an und stellen Sie sicher, dass das Bypass-Ventil des N2-Massenstromreglers so positioniert ist,
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dass es den Fluss zum N2-Auslassanschluss des Massenstromreglers leitet.
Schalten Sie den Generator am Netzschalter ein und warten Sie, bis er in den Standby-Modus
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wechselt.
Drücken Sie , um den Generator zu starten. Überprüfen Sie die Manometer an der
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Vorderseite des Generators, um sich zu vergewissern, dass der Generator unter Druck gesetzt
wird.
Hinweis: Es gibt eine 30-sekündige Verzögerung, während der Generator sich entgast.
Öffnen Sie langsam das Absperrventil am Ablass des Generators und lassen Sie das Gas in die Umgebung entweichen.
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Es dauert ungefähr 6 Stunden, bis der Generator die in „Technical Specification" auf Seite 3 angegebene Reinheit erreicht hat.
Zusätzlich muss die Systemleitung etwa eine Stunde pro 10 m Leitungslänge gespült werden. Nichtbeachtung kann zu Schäden am
Anwendungsgerät führen. Es wird daher empfohlen, die Reinheit zu überwachen.
Sobald der Generator die vorgegebene Reinheit erreicht hat und das System gereinigt wurde, kann das Anwendungsgerät an das System
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angeschlossen werden. Stellen Sie den Drei-Wege-Kugelhahn so ein, dass der Fluss zum Anwendungsgerät gelenkt wird.
Vertauschen der N2-Auslassanschlüsse
Wenn im System ein sekundärer Massenstromregler installiert ist, müssen Sie die N2-Auslassanschlüsse wie nachstehend beschrieben
vertauschen.
Schließen Sie das Absperrventil am Ablass des Generators und drücken Sie
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Standby-Modus zu aktivieren. Die Anzeige wechselt wie dargestellt.
Drücken Sie und danach
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Der Generator läuft noch bis zu 9 Minuten, um den Vorgang zu beenden und die Einlassleitung
sowie die CMS-Säulen drucklos zu machen. Nach Abschluss des Vorgangs wird das Menü
standardmäßig auf Standby gesetzt.
10 Trennen Sie das Absperrventil vom Generator. Trennen Sie nicht die Systemleitung vom Absperrventil. Diese muss verschlossen
bleiben, damit kein Sauerstoff eindringt.
11 Schrauben Sie den Schalldämpfer vom N2-Auslassanschluss ab und bringen Sie ihn am N2-Auslassanschluss des Massenstromreglers
an.
12 Schließen Sie das Absperrventil am N2-Auslassanschluss an.
13 Stellen Sie das Bypass-Ventil des N2-Massenstromreglers so ein, dass der Fluss zum N2-Auslassanschluss gelenkt wird.
, um zu bestätigen, dass Sie den Generator stoppen möchten.
, um den
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R u n
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