Vakuumbehälter Vorpumpen Und Mit Der Kryopumpe Verbinden - Leybold vacuum COOLVAC series Gebrauchsanleitung

Bedienung
1013 mbar > p
> 4·10
Abb. 10 Vakuumbehälter vorpumpen
3.1.4 Vakuumbehälter vorpumpen und mit
der Kryopumpe verbinden
Den Vakuumbehälter über das geöffnete Vorvakuum-
ventil V3 vorpumpen.
Achtung
V3 muß geschlossen werden, wenn ein
Druck von 4·10
länger geöffnet, so daß der Druck unter
-2
4·10 mbar absinkt, kann Öldampf aus der
Vorvakuum-Pumpe in den Vakuumbehälter
gelangen.
Wenn der Vakuumbehälter auf Drücke unterhalb von
-2
4·10 mbar vorgepumpt werden soll, muß die Adsorpti-
onsfalle (3/3) zwischen Vakuumbehälter und Vorvaku-
um-Pumpe geschaltet werden.
Das Vorvakuumventil V3 kann geschlossen und der
Hochvakuum-Schieber V1 kann geöffnet werden, wenn
die Gasmenge im Vakuumbehälter den Crossover-Wert
der Kryopumpe erreicht hat.
Der Crossover-Wert ist die maximale Gasmenge im
Vakuumbehälter, der die Kryopumpe ausgesetzt werden
darf, ohne daß sich die 2. Kaltkopfstufe auf über 20 K
erwärmt. Wenn die Kryopumpe zu einem Vakuumbehäl-
ter geöffnet wird, der den Crossover-Wert noch nicht
erreicht hat, erwärmt sie sich und pumpt nicht mehr.
18
-2
mbar
-2
mbar erreicht ist. Bleibt V3
p < Übernahme-
druck
Abb. 11 Betrieb
Einige Minuten nach dem Schließen des Vorvakuum-
ventils V3 die Vorvakuum-Pumpe ausschalten.
Der Crossover- oder Übernahme-Druck ist der maxima-
le Druck im Vakuumbehälter, bei dem die Kryopumpe
zum Vakuumbehälter geöffnet werden darf. Er ergibt
sich aus dem Crossover-Wert.
q
co
p = ———
co
V
Crossover-Wert
Übernahme-Druck = ——————————————
Volumen des Vakuumbehälters
Beispiel: COOLVAC 3000 an einem 100 l-Behälter
q = 500 mbar·l
co
500 mbar·l
p = —————
co
100 l
p = 5 mbar
co
In dem 100 l-Vakuumbehälter darf also maximal ein
Druck von 5 mbar herrschen, wenn das Vorvakuumven-
til V3 geschlossen und der Hochvakuum-Schieber zur
Kryopumpe geöffnet wird.
GA 12.123/4.01 - 01/99