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Sicherheits-Hinweise
Schutz vor Überdruck
Die Kryopumpe ist eine gasbindende Vakuumpumpe,
d.h. Gasmoleküle aus der Vakuumkammer werden in
der Kryopumpe gespeichert.
Beim Erwärmen der Pumpe durch Regenerieren oder
nach Stromausfall kann die in kurzer Zeit durch Ver-
dampfung freiwerdende Gasmenge so groß sein, daß
sich im Vakuumsystem oder im Pumpengehäuse ein
Druck aufbaut, der über dem Atmosphärendruck liegt.
Alle Leybold-Kryopumpen haben deshalb ein Sicher-
heitsventil, das bei einem Überdruck gegenüber der
Außenatmosphäre öffnet. Das Sicherheitsventil öffnet je
nach Pumpentyp zwischen 1150 mbar und 1600 mbar.
Das Sicherheitsventil darf nicht blockiert
und nicht verändert werden.
Bei Einbau- oder Sonder-Kryopumpen
ohne eigenes Pumpengehäuse muß vom
Betreiber selbst anlagenseitig eine entspre-
chende Sicherung vorgesehen werden, die
nicht absperrbar ist.
Schutz vor gefährlichen Gasen
In einigen vakuumtechnischen Prozessen werden Gase
benutzt oder durch den Prozeß erzeugt, die während der
Pumpphase unproblematisch sind, aber beim Erwärmen
der Kryopumpe (Regenerieren, Stromausfall) in größe-
ren Mengen frei werden und eine Gefährdung darstellen
können.
Ferner ist bekannt, daß unter bestimmten Voraussetzun-
gen Gemische von H
mit O
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zündfähig sind und explodieren können. Ähnliches Ver-
halten zeigen Gemische von CO mit Luft, von CO mit O
und von CH
mit O
.
4
2
Potentielle Quellen für eine Fremdzündung sind die in
der Vakuumkammer bzw. im Pumpengehäuse installier-
ten elektrischen Bauteile, wie Ionisations-Vakuummeter,
geheizte und nicht gekapselte Druckmeß-Einrichtungen,
sowie fehlerhafte Regenerier-Heizungen. Für Gase und
Gasgemische die entflammbar, explosiv, toxisch oder
korrosiv sind, müssen deshalb beim Aufwärmen der
Kryopumpe besondere Sicherheitsvorkehrungen einge-
halten werden.
10
oder von H
mit Luft z.B.
2
2
Das Sicherheitsventil und die Vorvakuum-
Pumpe müssen mit einer Abgasleitung aus-
gerüstet sein, um gefährliche Gase oder
Gasgemische unter Beachtung geltender
Sicherheits- und Umweltvorschriften in
einen Auffangbehälter oder ins Freie zu lei-
ten.
Deshalb ist das Sicherheitsventil mit einem
Flansch DN 40 KF ausgestattet. Dieses
Ventil ebenfalls an die Abgasleitung an-
schließen.
Die angeschlossene Abgasleitung stets
offen und frei von Verengungen halten.
Die in der Vakuumkammer installierten
elektrischen Einrichtungen, wie Regenerier-
Heizungen und Vakuum-Meßröhren, müs-
sen eine elektrische Verriegelung erhalten,
die die Versorgung dieser Geräte zwangs-
abschaltet, sobald durch unkontrollierte
Aufwärmung der Pumpe explosionsfähige
Gasgemische entstehen können.
Für H
bei 130 mbar, so daß der Totaldruck bei die-
sem Gasgemisch unter diesem Wert gehal-
ten werden muß. Alternativ empfiehlt das
Lawrence Livermoore Laboratory, den
Wasserstoffpartialdruck unter 17 mbar zu
halten. Dadurch wird sichergestellt, daß
sich keine explosionsfähigen H
sche bilden können.
,
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/O
-Gemische liegt der Zünddruck
2
2
GA 12.123/4.01 - 01/99
/O
-Gemi-
2
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