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Betrieb im CI-Modus
Überwachen von hohem Vakuumdruck in CI-Modus
Wenn Wasserstoff als Trägergas oder im JetClean-System verwendet wird, müssen
WARNUNG
die Absperrventile des Trägergases und der Zufuhr zum JetClean-System vor dem
Abschalten der Stromversorgung des MS ausgeschaltet sein. Wenn die Vorpumpe
ausgeschaltet ist, sammelt sich im MS Wasserstoff an. Dies kann zu einer Explosion
führen. Lesen Sie den Abschnitt
den MSD mit Wasserstoff einsetzen.
Vorgehensweise
1 Starten Sie den MSD und pumpen Sie ihn ab. (Siehe
2 Wählen Sie in der Ansicht Tune- und Vakuum-Steuerung im Menü Vakuum die
3 In der Ansicht Instrument Control können Sie eine MS-Überwachung für
Die Messvorrichtung lässt sich nicht einschalten, wenn der Druck im MSD
mehr als ca. 8 x 10
kalibriert, jedoch gelten die in diesem Handbuch aufgelisteten Drücke für
Helium.
Den größten Einfluss auf den Betriebsdruck hat der Trägergasfluss
(Säulenfluss). Die typischen Drücke für verschiedene Helium-Trägergasflüsse
sind genähert und variieren je nach Gerät. (Siehe
Typische Druckanzeigen
Verwenden Sie das Mikro-Ionen-Vakuummessgerät G3397B. Beachten Sie,
dass der MFC für Methan und das Vakuummessgerät für Stickstoff kalibriert
ist, sodass diese Messungen nicht exakt sind, jedoch als Orientierung für
typische festgestellte Messwerte dienen. (Siehe
wurden unter den folgenden Bedingungen erfasst. Beachten Sie, dass es sich
um typische PCI-Temperaturen handelt:
156
im CI-Modus"
auf Seite 136.)
Option Vakuummessgerät ein-/ausschalten aus.
Messwerte einrichten. Das Vakuum kann auch über die lokale
Bedientastatur oder im Bildschirm Manual Tune abgelesen werden.
-3
Torr beträgt. Die Messvorrichtung ist für Stickstoff
„Wasserstoff-Sicherheit"
Tabelle 15
Tabelle 15
Benutzerhandbuch MSD der Serie 5977B
auf Seite 21, bevor Sie
„Abpumpen des MSD
auf Seite 157.)
auf Seite 157.) Diese
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Kapitel
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