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Betrieb im EI-Modus
Überwachen von hohem Vakuumdruck
Drucküberwachung erfordert ein optionales G3397B Mikro-Vakuummessgerät.
Wenn Sie Wasserstoff als Trägergas oder für das JetClean-System verwenden,
WARNUNG
muss der Trägergasfluss vor dem Abschalten der Stromversorgung des MSD
ausgeschaltet sein. Wenn die Vorpumpe ausgeschaltet ist, sammelt sich im MSD
Wasserstoff an. Dies kann zu einer Explosion führen. Lesen Sie den Abschnitt
„Wasserstoff-Sicherheit"
einsetzen.
Vorgehensweise
1 Stellen Sie sicher, dass die Absperrventile der Wasserstoffzufuhr
2 Starten Sie den MSD und pumpen Sie ihn ab. (Siehe
3 Wählen Sie in der Ansicht Tune- und Vakuum-Steuerung im Menü Vakuum die
4 Wählen Sie Manuelles Tuning aus dem Menü Parameter-, um den Dialog
5 Wählen Sie den Reiter Werte, um den HiVac-Messwert abzulesen. (Siehe
112
geschlossen sind, wenn Sie Wasserstoff als Trägergas oder für das
JetClean-System verwenden.
auf Seite 127.)
Option Vakuummessgerät ein-/ausschalten aus.
Manuelles Tuning anzuzeigen.
Abbildung 31
auf Seite 113.)
auf Seite 21, bevor Sie den MSD mit Wasserstoff
Benutzerhandbuch MSD der Serie 5977B
„Abpumpen des MSD"
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