Kolbenstangenloser Zylinder Für Hohe Reinheitsbedinungen - Smc Cyv Benutzerhandbuch

Kolbenstangenloser Zylinder für hohe Reinheitsbedinungen
Kolbenstangenloser Zylinder für Vakuum
Serie CYV
Geringe Partikelbildung
ø15, ø32
Durchschnittliche Partikelbildung
0.1 Partikel/Zyklus.
5.0
0.0
0 100000 200000
Betriebszyklen
1
Kontaktlose Konstruktion
Aufgrund der speziellen Konstruktion, bei
der kein Kontakt zwischen der
Aussen-fläche des Zylinderrohrs und der
Innen-fläche des Schlittens auftritt, werden
keine Partikel durch Reibung erzeugt.
Kein Kontakt
Schlitten
Zylinderrohr
Spezial-Zylinderrohr
Langhübe
(Max. 700mm)
Verwendung eines Spezial-Zylinder-rohrs
aus extrudiertem Aluminium.
Auch bei langen Hüben tritt weder
Abweichung noch Kontakt auf, da der
Zylinder fest an der Basis befestigt ist und
der Schlitten separat von einer
Linearführung gehalten wird.
4
1
(Partikel >0.1 )
(Atmosphärische Bedingungen)
Anm. 1) Dieser Wert gibt den Altersverschleiss anhand der
Durchschnittszahl der Partikel pro Betriebszyklus unter den
folgenden Testbedingungen an.
<Testbedingungen>
• Zylinder: CYV32-100 • Werkstückgewicht: 5kg
• Durchschnittsgeschwindigkeit: 100mm/s
• Messumgebung: Betrieb unter atmosphärischen Bedingungen nach
Behandlung im Brennofen bei 150 C über 48 Std.
Anm. 2) Charakteristischer Wert ohne Gewähr.
Anm. 3) Ein Test zur Partikelbildung wurde unter Vakuumbedingungen
von 10 - 5 Pa durchgeführt.
Linearführung aus
2
rost-freiem Stahl und
1000000
Schmier-fett für Vakuum mit
geringer Partikelbildung
Durch die Verwendung einer Linear-
führung aus rostfreiem Stahl und eines
speziellen Schmierfetts für Vakuum
wurde die Entstehung von Partikeln
durch die Linearführung reduziert.
Verringerte
3
Partikel-
entstehung
Unter Reinraum-bedingungen
gereinigt, zusammengebaut,
kontrolliert und verpackt.
Geringe Partikelentstehung an den
Hubenden
Durch die Verwendung
5
einer Dämpfung mit
Sinusfunktion und eines
internen Stoppers als
Hubanschlag wird der
0
Aufprall gemindert und
50 100 150 200 250
Geschwindigkeit [mm/s]
damit die Entstehung
von Partikeln reduziert. Verhältnis von Geschwindigkeit und Aufprallbeschleunigung
Speziell ausgelegt für geringe Partikelentstehung, geringe Leckage
und geringe Ausgasung.
Leckage: max.
10 - M
- <
10
- >
10
- Z?
10
0
Kolbenstangen-los
1
er Zylinder mit
Magnetkopplung
ohne
Druckluft-leckage
an den beweglichen
Verringerte Ausgasung
Geringere Ausgasung durch
1
Oberflächenbehandlung
Alle Aussenteile (aus Aluminium) wie
z. B. das Gehäuse und der Schlitten
sind chemisch vernickelt.
Zudem sind die Aussenmagnete mit
300
Titannitrid beschichtet.
Anm. 1) Wenden Sie sich für andere Ober-
flächenbehandlungen an SMC.
Geringe Leckage
1.3 x 10 -
7 3
Pam /sek
(bei normalen Temperaturen, außerGaspermeation)
Standardwert
Anm. 1) Der Wert gibt die gemessene Leckage
in einer Vakuumumgebung von
10 - 5 Pa an.
Anm. 2) Das angegebene Testergebnis basiert
auf einem Test über 10 Minuten nach
Druckbeaufschlagung des Zylinders
mit Helium mit 0.1 MPa.
Anm. 3) Charakteristischer Wert ohne Gewähr
Leckage-Testergebnis
5 10
Zeit [min]
Trennung von Vakuum und Atmosphäre durch O-Ring-Dichtungen.
2
Für alle Dichtungen zwischen Vakuum
und Atmosphäre werden statische
O-Ring-Dichtungen verwendet.
Anm. 1) Obige Tabelle zeigt das Ergebnis des Leckagetests
unter Verwendung dieser Zylinderkonstruktion.
Anm. 2) Um eine Feineinstellung des Hubes zu ermöglichen,
sind O-Ring-Dichtungen eingebaut, um das Vakuum
und Atmosphäre zu trennen. Wenden Sie sich für
andere Dichtungsarten an SMC.
O-Ring-Dichtung
Feineinstellung
am Hubende
Keine Kunstst-
2
off-materialien Feineinstellung von -2 bis 0mm an einer
Seite möglich (-4 bis 0mm für beide Seiten).
Die Modellbeschriftung erfolgt
per Lasermarkierung.
Lasermarkierung
(1.3 x 10 -4 Pa)
Innensechskant-
schlüssel
2