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PZ280D
P-612 Positionierer
Benutzerhandbuch
Version: 1.1.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 12.09.2024
Dieses Dokument beschreibt die folgenden
Produkte:
P-612.2
XY-Piezo-Nanopositionierer
P-612.Z
Piezohubtisch
Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für PI P-612

  • Seite 1 Version: 1.1.0 Datum: 12.09.2024 Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte: P-612.2  XY-Piezo-Nanopositionierer P-612.Z  Piezohubtisch Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 PI®, NanoCube®, PICMA®, PIFOC®, PILine®, NEXLINE®, PiezoWalk®, PicoCube®, PiezoMove®, PIMikroMove®, NEXACT®, Picoactuator®, PInano®, NEXSHIFT®, PITOUCH®, PIMag®, PIHera, Q-Motion® © 2024 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    3.7.3 Dehnmessstreifen-Sensoren (DMS-Sensoren) ..........14 Auspacken Installation Allgemeine Hinweise zur Installation ............... 17 P-612 an Schutzleiter anschließen ................18 P-612 befestigen ....................... 20 Last befestigen ......................21 Inbetriebnahme und Betrieb Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb..........25 P-612 betreiben ......................26...
  • Seite 4 Wartung Allgemeine Hinweise zur Wartung ................29 P-612 reinigen ......................29 Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ......................35 10.1.1 Datentabelle ....................35 10.1.2 Bemessungsdaten ..................38 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ......... 38 10.2 Abmessungen ......................39 10.3 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............41 10.4 Pinbelegung ......................
  • Seite 5: Über Dieses Dokument

    Handbücher herunterladen ......................3 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des P-612 ("x" steht für die verschiedenen Modelle (S. 9)). Grundsätzliches Wissen über Regelungstechnik, Antriebstechnologien und geeignete Sicherheitsmaßnahmen wird vorausgesetzt. Symbole und Kennzeichnungen...
  • Seite 6: Abbildungen

    Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S. 3) bereit.
  • Seite 7: Handbücher Herunterladen

     Wenden Sie sich an unseren Kundendienst (S. 33). Handbücher herunterladen 1. Öffnen Sie die Website www.pi.de. 2. Suchen Sie auf der Website nach der Produktnummer (z. B. P-612). 3. Um die Produktdetailseite zu öffnen, wählen Sie in den Suchergebnissen das Produkt. 4. Wählen Sie Downloads.
  • Seite 9: Sicherheit

    Allgemeine Sicherheitshinweise ....................5 Organisatorische Maßnahmen ...................... 7 Bestimmungsgemäße Verwendung Der P-612 ist ein Laborgerät im Sinne der DIN EN 61010-1. Er ist für die Verwendung in Innenräumen und in einer Umgebung vorgesehen, die frei von Schmutz, Öl und Schmiermitteln ist.
  • Seite 10 Berührungsspannungen vorhanden sind, kann das Berühren des P-612 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag führen.  Schließen Sie den P-612 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an (S. 18).  Entfernen Sie den Schutzleiter nicht während des Betriebs.  Wenn der Schutzleiter vorübergehend entfernt werden muss (z. B. bei Umbauten), schließen Sie den P-612 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an.
  • Seite 11: Organisatorische Maßnahmen

     Fügen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen, z. B. Ergänzungen und Technical Notes, zum Benutzerhandbuch hinzu.  Wenn Sie den P-612 an Dritte weitergeben, fügen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei.  Führen Sie Arbeiten grundsätzlich anhand des vollständigen Benutzerhandbuchs durch.
  • Seite 13: Produktbeschreibung

    XY Piezo-Nanopositionierer; 100 μm × 100 μm Stellweg (X × Y); Apertur P-612.2SL 20 mm × 20 mm; DMS, indirekte Positionsmessung; LEMO-Stecker; 1,5 m Kabellänge P-612.ZSL Piezohubtisch; 100 μm Stellweg; DMS, indirekte Positionsmessung; LEMO- Stecker; 1,5 m Kabellänge P-612 Positionierer PZ280D Version: 1.1.0...
  • Seite 14: Produktansicht

    3 Produktbeschreibung Produktansicht Die Abbildung ist exemplarisch und kann von Ihrem Positionierermodell abweichen. Abbildung 1: Exemplarische Produktansicht eines P-612.2SL Bewegungsplattform Anschlusskabel Piezospannung Anschlusskabel Sensor (modellabhängig) Schutzleiteranschluss Grundkörper Version: 1.1.0 PZ280D P-612 Positionierer...
  • Seite 15: Produktbeschriftung

    P-612.2SL Produktnummer (Beispiel), die Stellen nach dem Punkt kennzeichnen das Modell 123456789 Seriennummer (Beispiel), individuell für jeden P-612 Bedeutung der Stellen (Zählung von links): 1 = interne Information, 2 und 3 = Herstellungsjahr, 4 bis 9 = fortlaufende Nummer Herstellerlogo Warnzeichen "Handbuch beachten!"...
  • Seite 16: Lieferumfang

    2 Unterlegscheiben  PZ240EK Kurzanleitung für Piezopositionierer P-5xx / P-6xx / P-7xx Geeignete Elektronik Für den Betrieb eines P-612 benötigen Sie eine geeignete Elektronik. Die Auswahl des Geräts hängt von der Anwendung ab. Elektronik Kanäle* E-505 Piezoverstärkermodul (Einschubmodul) Zusätzlich erforderlich: E-500 / E-501 Modularer Piezocontroller ...
  • Seite 17: Optionales Zubehör

    Technische Ausstattung 3.7.1 PICMA® Piezoaktoren P-612-Positionierer werden von PICMA® Piezoaktoren angetrieben. PICMA® Aktoren sind vollkeramisch isoliert und daher konventionellen Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit überlegen. Der monolithische Piezokeramikblock ist durch die keramische Isolierschicht vor Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt. Auch unter extremen Umgebungsbedingungen wird so eine besonders hohe Zuverlässigkeit erreicht.
  • Seite 18: Dehnmessstreifen-Sensoren (Dms-Sensoren)

    Positionsmessung erfolgt mit Kontakt und indirekt, da die Position der Bewegungsplattform aus einer Messung an Hebel, Führung oder Piezostapel abgeleitet wird. Die Sensoren arbeiten in einer thermisch driftfreien Vollbrückenschaltung und sorgen damit für optimale Positionsstabilität im Nanometerbereich. Version: 1.1.0 PZ280D P-612 Positionierer...
  • Seite 19: Auspacken

    Unzulässige mechanische Belastung der Bewegungsplattform des P-612 kann zu Schäden an den Piezoaktoren, Sensoren und Festkörpergelenken des P-612 sowie zu Genauigkeitsverlusten führen.  Berühren Sie bei der Handhabung des P-612 keine empfindlichen Teile (z. B. Bewegungsplattform). 1. Packen Sie den P-612 vorsichtig aus.
  • Seite 21: Installation

     Berühren Sie bei der Handhabung des P-612 keine empfindlichen Teile (z. B. Bewegungsplattform). HINWEIS Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden am P-612 und an der Elektronik verursachen.  Verwenden Sie für den Anschluss des P-612 an die Elektronik nur Kabel von PI. P-612 Positionierer PZ280D Version: 1.1.0...
  • Seite 22: P-612 An Schutzleiter Anschließen

    Losdrehen. Ist dies nicht möglich, prüfen Sie die Schraubverbindung in regelmäßigen Abständen und ziehen Sie bei Bedarf die Schraube nach. Der P-612 hat eine Bohrung M4 für die Befestigung des Schutzleiters. Diese Bohrung ist mit dem Schutzleitersymbol gekennzeichnet. Die genaue Lage der Bohrung siehe "Abmessungen"...
  • Seite 23 1. Wenn nötig, befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter. 2. Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 (einschließlich der Sicherungs- und Unterlegscheiben) am Schutzleiteranschluss des P-612 wie in der Profilansicht dargestellt. 3. Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1,2 Nm bis 1,5 Nm fest.
  • Seite 24: P-612 Befestigen

    Durch die Montage in anderen Ausrichtungen kann eine Zugbelastung entstehen, die die Vorspannung des Piezoaktors verringert und den Piezoaktor zerstört.  Wenn Sie den P-612 in einer anderen als der vorgesehenen Ausrichtung montieren wollen (z. B. vertikal oder kopfüber), wenden Sie sich an unseren Kundendienst (S. 33).
  • Seite 25: Last Befestigen

    Geeigneter Schraubendreher  P-612 befestigen 1. Richten Sie den P-612 so aus, dass sich die Montagebohrungen im Grundkörper (siehe Abbildung) mit den entsprechenden Bohrungen in der Oberfläche überdecken. 2. Befestigen Sie den P-612 mit den Schrauben: a) Führen Sie in jede Bohrung eine Schraube ein.
  • Seite 26 Das Befestigen von Lasten mit unebener Kontaktfläche kann den P-612 verspannen. Ein Verspannen verringert die Genauigkeit.  Befestigen Sie auf dem P-612 nur Lasten, deren Kontaktfläche zur Bewegungsplattform des P-612 eine Ebenheit von mindestens 100 μm besitzt.  Bei Anwendungen mit großen Temperaturschwankungen: Befestigen Sie auf dem P-612 nur Lasten, die dieselben oder ähnliche...
  • Seite 27 Abbildung 8: Langer Hebel und Lastschwerpunkt seitlich der Bewegungsplattform Abbildung 9: Montagebohrungen in der Bewegungsplattform des P-612 (Beispielansicht von oben) Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 17).  Der P-612 ist nicht an der Elektronik angeschlossen.
  • Seite 28 Geeigneter Schraubendreher  Last befestigen 1. Richten Sie die Last so auf dem P-612 aus, dass sich die Montagebohrungen in Last und Bewegungsplattform überdecken. 2. Führen Sie die Schrauben durch die Bohrungen in der Last in die ausgewählten Montagebohrungen in der Bewegungsplattform des P-612 ein.
  • Seite 29: Inbetriebnahme Und Betrieb

    Berührungsspannungen vorhanden sind, kann das Berühren des P-612 zu leichten Verletzungen durch Stromschlag führen.  Schließen Sie den P-612 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an (S. 18).  Entfernen Sie den Schutzleiter nicht während des Betriebs.  Wenn der Schutzleiter vorübergehend entfernt werden muss (z. B. bei Umbauten), schließen Sie den P-612 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an.
  • Seite 30: P-612 Betreiben

    Die positive Bewegungsrichtung der Achsen ist in der Produktansicht (S. 10) angegeben. INFORMATION Schall und Schwingungen (z. B. Trittschall, Stöße) können sich auf den P-612 übertragen und die Leistungsmerkmale hinsichtlich der Positionsstabilität beeinträchtigen.  Vermeiden Sie die Übertragung von Schall und Schwingungen während des Betriebs des P-612.
  • Seite 31: P-612 Entladen

    Wenn der P-612 nicht benutzt wird, die Elektronik aber zur Gewährleistung der  Temperaturstabilität eingeschaltet bleibt Vor Demontage (z. B. vor Reinigung und Transport des P-612 sowie bei Umbauten)  Der P-612 wird über den internen Entladewiderstand der Elektronik von PI entladen.
  • Seite 33: Wartung

     Führen Sie keine Ultraschallreinigung durch. HINWEIS Kurzschluss durch Eindringen von Reinigungsflüssigkeit ins Gehäuse! Das Eindringen von Reinigungsflüssigkeit ins Gehäuse des P-612 kann zu Kurzschluss an den Piezoaktoren und der Elektronik führen.  Trennen Sie den P-612 vor dem Reinigen von der Elektronik.
  • Seite 34 7 Wartung P-612 reinigen  Reinigen Sie die Oberflächen des P-612 mit einem Tuch, das mit einem milden Reinigungs- oder Desinfektionsmittel (z. B. Isopropanol) angefeuchtet wurde. Version: 1.1.0 PZ280D P-612 Positionierer...
  • Seite 35: Störungsbehebung

    − Ebenheit von mindestens 100 μm − Die Wärmeausdehnungseigen- schaften ähneln denjenigen des P-612 (z. B. Grundflächen aus Aluminium).  Befestigen Sie auf dem P-612 nur Lasten mit folgenden Eigenschaften: − Die Kontaktfläche der Last besitzt eine Ebenheit von mindestens 100 μm.
  • Seite 36 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung P-612 ist nicht an den  Beachten Sie beim Anschließen mehrerer zugehörigen Controller Systeme die Zuordnung der Geräte. Die angeschlossen (nur bei Zuordnung geht aus dem Kalibrieretikett mehreren Systemen) des Controllers (siehe Rückwand oder Unterseite) hervor, das die Seriennummer des anzuschließenden...
  • Seite 37: Kundendienst

    9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System −...
  • Seite 39: Technische Daten

    10 Technische Daten Technische Daten Änderungen vorbehalten. Die aktuellen Produktspezifikationen finden Sie auf der Seite des Produkts unter www.pi.de (https://www.physikinstrumente.de/de/). In diesem Kapitel Spezifikationen ..........................35 Abmessungen..........................39 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ................41 Pinbelegung ..........................41 10.1 Spezifikationen 10.1.1...
  • Seite 40 Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten. Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig.
  • Seite 41 LEMO FFA.0S.304.CLAC32 Kabellänge 1,5 m ±10 mm E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, Empfohlene Controller / Treiber E-665 Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten. P-612 Positionierer PZ280D Version: 1.1.0...
  • Seite 42: Bemessungsdaten

    10 Technische Daten Technische Daten werden bei PI bei 22 ±3 °C spezifiziert. Die angegebenen Werte gelten im unbelasteten Zustand, wenn nicht anders angegeben. Teilweise sind Eigenschaften voneinander abhängig. Die Angabe "typ." kennzeichnet einen statistischen Mittelwert für eine Eigenschaft; sie gibt keinen garantierten Wert für jedes ausgelieferte Produkt an. Bei der Ausgangsprüfung eines Produkts werden nicht alle, sondern nur ausgewählte Eigenschaften geprüft.
  • Seite 43: Abmessungen

    10 Technische Daten 10.2 Abmessungen Abbildung 10: P-612.2SL, Abmessungen in mm P-612 Positionierer PZ280D Version: 1.1.0...
  • Seite 44 10 Technische Daten Abbildung 11: P-612.ZSL, Abmessungen in mm Version: 1.1.0 PZ280D P-612 Positionierer...
  • Seite 45: Drehmoment Für Edelstahlschrauben (A2-70)

    Lemo-Stecker nach Modell (je ein Stecker pro Achse) Stecker Signal Funktion Stecker- (Kontakt- gehäuse seite) Innen- Eingang Piezospannung Masse leiter -20 bis 120 V Eingang Versorgungsspannung für DMS- Kabelschirm Sensor Ausgang Sensorsignal 1 Ausgang Sensorsignal 2 Masse der Versorgungsspannung P-612 Positionierer PZ280D Version: 1.1.0...
  • Seite 47: Altgerät Entsorgen

    Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines Altgeräts von PI, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH &...
  • Seite 49 12 Europäische Konformitätserklärungen Europäische Konformitätserklärungen Für den P-612 wurden Konformitätserklärungen gemäß den folgenden europäischen gesetzlichen Anforderungen ausgestellt: Niederspannungsrichtlinie EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1 EMV: EN 61326-1 RoHS: EN IEC 63000...

Diese Anleitung auch für:

Pz280dP-612.2P-612.z

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