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PI P-612 Serie Benutzerhandbuch

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PZ280D
P­612 Positioniersysteme
Benutzerhandbuch
Version: 1.0.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 27.04.2017
Dieses Dokument beschreibt die folgenden
Produkte:
P­612.2
XY-Piezo-Nanopositionierer
P­612.Z
Piezohubtisch
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Verwandte Anleitungen für PI P-612 Serie

Inhaltszusammenfassung für PI P-612 Serie

  • Seite 1 Version: 1.0.0 Datum: 27.04.2017 Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte: P­612.2  XY-Piezo-Nanopositionierer P­612.Z  Piezohubtisch Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 Japan-Patent Nr. 4667863 China-Patent Nr. ZL03813218.4 © 2017 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor. Die Verwendung dieser Texte, Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 6 Organisatorische Maßnahmen ................... 7 Produktbeschreibung Modellübersicht ......................
  • Seite 4 Wartung Allgemeine Hinweise zur Wartung ................29 P-612 reinigen ......................29 Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ......................35 10.1.1 Datentabelle ....................35 10.1.2 Bemessungsdaten ..................37 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ......... 37 10.2 Abmessungen ......................38 10.3 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............40 10.4 Pinbelegung ......................

  • Seite 5: Über Dieses Dokument

    1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ................1 Symbole und Kennzeichnungen ..................... 1 Abbildungen ........................... 2 Mitgeltende Dokumente ....................... 2 Handbücher herunterladen ......................3 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des P-612 (x steht für die verschiedenen Modelle, S.

  • Seite 6: Abbildungen

    Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S. 3) bereit.

  • Seite 7: Handbücher Herunterladen

    4. Entnehmen Sie dem Abschnitt "User login for software download" in den Release News den Benutzernamen (user name) und das Kennwort (password). Handbücher herunterladen 1. Öffnen Sie die Website www.pi.de. 2. Wenn der Zugang zu den Handbüchern durch ein Kennwort geschützt ist: a) Klicken Sie auf Login.

  • Seite 9: Sicherheit

    Die vertikale Montage ist nur unter bestimmten Voraussetzungen möglich. Die bestimmungsgemäße Verwendung des P-612 ist nur in Verbindung mit geeigneter Elektronik (S. 11) möglich, die von PI angeboten wird. Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des P-612 enthalten. Die Elektronik muss die benötigten Betriebsspannungen bereitstellen. Bei Anschluss von Modellen mit Positionssensoren muss sie außerdem in der Lage sein, die Signale der...

  • Seite 10: Allgemeine Sicherheitshinweise

     Öffnen Sie den P-612 nicht.  Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des Verstellers: Schließen Sie den Versteller an den ausgeschalteten Controller von PI an, der mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist.  Ziehen Sie den Anschlussstecker nicht während des Betriebs von der Elektronik ab.

  • Seite 11: Organisatorische Maßnahmen

    2 Sicherheit Der P-612 ist wartungsfrei und erreicht seine Positioniergenauigkeit durch die optimierte Abstimmung von mechanischen Komponenten und Piezoaktoren. Gelöste Schrauben führen zum Verlust der Positioniergenauigkeit.  Lösen Sie Schrauben nur entsprechend den Anweisungen in diesem Handbuch.  Öffnen Sie den P-612 nicht. Organisatorische Maßnahmen Benutzerhandbuch ...

  • Seite 13: Produktbeschreibung

    3 Produktbeschreibung Produktbeschreibung In diesem Kapitel Modellübersicht ..........................9 Produktansicht ..........................10 Produktbeschriftung ........................11 Lieferumfang ..........................11 Geeignete Elektronik ........................11 Optionales Zubehör ........................12 Technische Ausstattung ....................... 13 Modellübersicht Produktnummer Beschreibung P-612.2SL XY-Nanopositioniersystem, 100 µm × 100 µm, Apertur 20 mm × 20 mm, DMS-Sensoren P-612.20L XY-Nanopositioniersystem, 130 µm ×...

  • Seite 14: Produktansicht

    3 Produktbeschreibung Produktansicht Die Abbildung ist exemplarisch und kann von Ihrem Verstellermodell abweichen. Abbildung 1: Exemplarische Produktansicht eines P-612.2SL Bewegungsplattform Anschlusskabel Piezospannung Anschlusskabel Sensor (modellabhängig) Schutzleiteranschluss Grundkörper Abbildung 2: Positive Bewegungsrichtung der Abbildung 3: Positive Bewegungsrichtung der X-Achse und Y-Achse (P-612.2xL) Z-Achse (P-612.ZxL) Version: 1.0.0 PZ280D...

  • Seite 15: Produktbeschriftung

    2 und 3 = Herstellungsjahr 4 bis 9 = fortlaufende Nummer Herstellerlogo Warnzeichen "Handbuch beachten!" Altgeräteentsorgung (S. 41) Country of Origin: Germany Herkunftsland WWW.PI.WS Herstelleradresse (Website) Konformitätszeichen CE Schutzleitersymbol (S. 18) Lieferumfang Produktnummer Beschreibung P-612 Versteller gemäß Bestellung (S. 9)

  • Seite 16: Optionales Zubehör

    3 Produktbeschreibung Elektronik Kanäle P­612.2xL P­612.ZxL E-500/E-501 Modularer Piezocontroller (Konfigurationsbeispiel), bestehend aus:  E-503 Piezoverstärkermodul  E-509.S3 Sensor-/Servocontrollermodul (nur für Versteller mit Sensor) Optional: E-518 Schnittstellenmodul oder E-515 Displaymodul E-500/E-501 Modularer Piezocontroller 1 bis 3 (Konfigurationsbeispiel), bestehend aus:  E-505 Piezoverstärkermodul (hohe Leistung): Pro Kanal ist ein Modul erforderlich.

  • Seite 17: Technische Ausstattung

    3 Produktbeschreibung Technische Ausstattung 3.7.1 PICMA® Piezoaktoren P-612 Versteller werden von PICMA® Piezoaktoren angetrieben. PICMA® Aktoren sind vollkeramisch isoliert und daher konventionellen Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit überlegen. Der monolithische Piezokeramikblock ist durch die keramische Isolierschicht vor Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt. Auch unter extremen Umgebungsbedingungen wird so eine besonders hohe Zuverlässigkeit erreicht.

  • Seite 19: Auspacken

    2. Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste. 3. Überprüfen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Schäden. Bei Anzeichen von Beschädigungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI. 4. Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf für den Fall, dass das Produkt zurückgeschickt werden muss.

  • Seite 21: Installation

     Halten Sie den P-612 nur außen am Grundkörper. HINWEIS Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden am P-612 und an der Elektronik verursachen.  Verwenden Sie für den Anschluss des P-612 an die Elektronik nur Kabel von PI. P­612 Positioniersysteme PZ280D Version: 1.0.0...

  • Seite 22: P-612 An Schutzleiter Anschließen

    5 Installation HINWEIS Schäden durch fehlerhafte Montage! Eine fehlerhafte Montage des P-612 oder falsch befestigte Teile können den P-612 beschädigen.  Befestigen Sie den P-612 sowie Lasten nur an den dafür vorgesehenen Montagevorrichtungen (Bohrungen). HINWEIS Schäden durch falsch angezogene Schrauben! Falsch angezogene Schrauben können Schäden verursachen.

  • Seite 23: P-612 Befestigen

    5 Installation Abbildung 4: Montage des Schutzleiters (Profilansicht) Grundkörper des P-612 Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schutzleiter P­612 an Schutzleiter anschließen 1. Wenn nötig, befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter. 2. Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 (einschließlich der Sicherungs- und Unterlegscheiben) am Schutzleiteranschluss des P-612 wie in der Profilansicht dargestellt.
  • Seite 24 5 Installation HINWEIS Zugbelastung auf Piezoaktor bei vertikaler Montage! Bei vertikaler Montage des Verstellers kann in bestimmten Ausrichtungen eine Zugbelastung entstehen, die die Vorspannung des Piezoaktors verringert und den Piezoaktor zerstört.  Wenn Sie den P-612 vertikal montieren wollen, wenden Sie sich an unseren Kundendienst (S.

  • Seite 25: Last Befestigen

    5 Installation Versteller auf Unterlage befestigen 1. Positionieren Sie den Versteller auf einer ebenen Oberfläche. 2. Führen Sie die Schrauben von oben in die Senkbohrungen im Grundkörper des P-612 ein. 3. Ziehen Sie die Schrauben fest. Halten Sie dabei den angegebenen Drehmomentbereich (S.
  • Seite 26 5 Installation HINWEIS Zu lange Schrauben! Zu tief eingebrachte Schrauben können den P-612 beschädigen.  Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen in der Bewegungsplattform (S. 38).  Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen Länge für die entsprechenden Montagebohrungen. INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung der Achsen ist in der Produktansicht (S.
  • Seite 27 5 Installation Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 17). Werkzeug und Zubehör Schrauben von geeigneter Größe und Länge (S. 38)  Geeignetes Werkzeug  Last befestigen  Befestigen Sie Lasten nur an den dafür vorgesehenen Gewindebohrungen (S. 38) mit geeigneten Schrauben.

  • Seite 29: Inbetriebnahme Und Betrieb

    6 Inbetriebnahme und Betrieb Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb ..............25 P-612 betreiben ........................... 27 P-612 entladen ..........................27 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb VORSICHT Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter! Bei fehlendem oder nicht ordnungsgemäß angeschlossenem Schutzleiter können im Falle eines Fehlers oder Defekts gefährliche Berührungsspannungen am P-612 entstehen.
  • Seite 30 Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung! Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Schäden am P-612 verursachen.  Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des P-612.  Überschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich (S. 37), für den der P-612 spezifiziert ist.

  • Seite 31: P-612 Betreiben

    Temperaturstabilität eingeschaltet bleibt Vor Demontage (z. B. vor Reinigung und Transport des P-612 sowie bei Umbauten)  Der P-612 wird über den internen Entladewiderstand des Controllers von PI entladen. Am Controller angeschlossenen P­612 entladen Im geregelten Betrieb: 1. Schalten Sie am Controller den Servomodus aus.

  • Seite 33: Wartung

    7 Wartung Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ....................29 P-612 reinigen ..........................29 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Dejustage durch Lösen von Schrauben! Der P-612 ist wartungsfrei und erreicht seine Positioniergenauigkeit durch die optimierte Abstimmung von mechanischen Komponenten und Piezoaktoren. Gelöste Schrauben führen zum Verlust der Positioniergenauigkeit.

  • Seite 35: Störungsbehebung

    8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Keine oder Kabel nicht korrekt  Prüfen Sie die Kabelanschlüsse. eingeschränkte angeschlossen Bewegung Zu hohe Last  Überschreiten Sie nicht die maximal zulässigen Belastungen gemäß den Spezifikationen (S. 35). Nullpunktverschiebung des  Führen Sie einen Nullpunktabgleich des Sensors aus folgenden Sensors durch (siehe Controller- Gründen:...
  • Seite 36 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung P-612 oder Controller wurde Nach dem Austausch von P-612 oder ausgetauscht Controller ist eine Neukalibrierung der Achsenauslenkung erforderlich.  Führen Sie eine Neukalibrierung der Achsenauslenkung durch (siehe Controller-Handbuch) oder wenden Sie sich an unseren Kundendienst (S. 33). Achsen wurden beim ...

  • Seite 37: Kundendienst

    9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System −...

  • Seite 39: Technische Daten

    10 Technische Daten Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen ..........................35 Abmessungen..........................38 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ................40 Pinbelegung ..........................40 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle P­612.2SL P­612.20L Einheit Toleranz Aktive Achsen X, Y X, Y Bewegung und Positionieren Integrierter Sensor Stellweg bei -20 bis +120 V, µm min.
  • Seite 40 Aluminium, Stahl Aluminium, Stahl Masse ±5 % Kabellänge ±10 mm Sensor- / Spannungsanschluss LEMO LEMO (ohne Sensor) Die Auflösung von PI-Piezo-Nanopositioniersystemen ist nicht durch Reibung begrenzt. Angabe als Positionsrauschen mit E-503 Verstärker. P­612.ZSL P­612.Z0L Einheit Toleranz Aktive Achsen Bewegung und Positionieren...

  • Seite 41: Bemessungsdaten

    10 Technische Daten 10.1.2 Bemessungsdaten P-612 Versteller sind für folgende Betriebsgrößen ausgelegt: Modell Maximale Maximale Maximale Betriebsspannung Betriebsfrequenz Leistungsaufnahme (unbelastet) P-612.2SL -20 bis +120 V 130 Hz P-611.20L P-612.ZSL -20 bis +120 V 160 Hz P-612.Z0L 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind für den P-612 zu beachten: Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenräumen...

  • Seite 42: Abmessungen

    10 Technische Daten 10.2 Abmessungen Abmessungen in mm. Abbildung 9: P-612.2xL Version: 1.0.0 PZ280D P­612 Positioniersysteme...
  • Seite 43 10 Technische Daten Abbildung 10: P-612.ZxL (P-612.Z0L ohne Sensorkabel) P­612 Positioniersysteme PZ280D Version: 1.0.0...

  • Seite 44: Drehmoment Für Edelstahlschrauben (A2-70)

    10 Technische Daten 10.3 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2­70) Schraubengröße Minimales Drehmoment Maximales Drehmoment 4 Nm 6 Nm 2,5 Nm 3,5 Nm 1,5 Nm 2,5 Nm 0,8 Nm 1,1 Nm M2,5 0,3 Nm 0,4 Nm 0,15 Nm 0,2 Nm M1,6 0,06 Nm 0,12 Nm 10.4 Pinbelegung...

  • Seite 45: Altgerät Entsorgen

    Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI-Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Auf der Römerstr.

  • Seite 47: Eu-Konformitätserklärung

    12 EU­Konformitätserklärung EU­Konformitätserklärung Für den P-612 wurde eine EU-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: Niederspannungsrichtlinie EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Elektromagnetische Emission: EN 61000-6-3, EN 55011 Elektromagnetische Störfestigkeit: EN 61000-6-1 Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1 P­612 Positioniersysteme PZ280D Version: 1.0.0...

Diese Anleitung auch für:

P-612.2P-612.zP-612.2slP-612.20lP-612.zslP-612.z0l

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