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Technische Daten und Abmessungen
14 Technische Daten und Abmessungen
14.1 Allgemeines
Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen.
● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5
● ISO 27892 2010:"Vakuumtechnik - Turbomolekularpumpen - Messung des Drehmomentes bei
● ISO 21360-1 2012: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von
● ISO 21360-4 2018: "Vakuumtechnik - Standardverfahren zur Messung der Leistungsdaten von
● Enddruck mit Testdom nach Ausheizdauer 48 h
● Gasdurchsatz mit Wasserkühlung; Vorpumpe = Drehschieberpumpe (10 m
● Kühlwasserverbrauch bei maximalem Gasdurchsatz, Kühlwassertemperatur 25 °C
● Integrale Leckrate mit Helium-Konzentration 100 %, Messdauer 10 s
● Schalldruckpegel bei Abstand zur Vakuumpumpe = 1 m
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 15:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 16:
14.2 Technische Daten
Typbezeichnung erweitert
Bestellnummer
Anschlussflansch (Eingang)
Anschlussflansch (Ausgang)
Enddruck
Kompressionsverhältnis für Ar
Kompressionsverhältnis für H
52/58
Technische Daten
Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas-
tung.
schneller Betriebsstörung"
Vakuumpumpen - Teil 1: Grundlegende Beschreibung"
Vakuumpumpen - Teil 4: Turbomolekularvakuumpumpen"
mbar
1
1000
0,01
1
10
1,33
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
3
10
/s
1,69 · 10
-2
1,33
1,01
3
/s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
2
bar
Pa
100
1 · 10
-3
1
1 · 10
5
1
1 · 10
-5
100
1 · 10
-3
0,01
1000
-3
133,32
1,33 · 10
1 Pa = 1 N/m
2
sccm
Pa m
3
/s
0,1
59,2
1
592
1,69 · 10
-3
1
0,133
78,9
0,101
59,8
HiPace® 60 P mit TC
110
PM P04 000
DN 63 ISO-K
DN 16 ISO-KF/G ¼"
< 1 · 10
-6
hPa
2 · 10
6
2 · 10
2
3
/h)
hPa
kPa
Torr | mm Hg
1
0,1
0,75
1000
100
750
0,01
1 · 10
-3
7,5 · 10
1
0,1
0,75
10
1
7,5
1,33
0,133
1
Torr l/s
atm cm
0,75
0,987
7,5
9,87
1,27 · 10
-2
1,67 · 10
1
1,32
0,76
1
HiPace® 60 P mit TC
110 RS
PM P04 693
DN 63 ISO-K
DN 16 ISO-KF/G ¼"
< 1 · 10
-6
hPa
2 · 10
6
2 · 10
2
-3
3
/s
-2
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