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Pfeiffer Vacuum HICUBE NEO Betriebsanleitung Seite 37

Turbopumpstand

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Abb. 23:
Betriebsmittel einfüllen – SmartVane
1 Einfüllschlauch
2 Betriebsmittelflasche
4
3
2
Abb. 24:
Betriebsmittel einfüllen – Duo
1 Drehschieberpumpe
2 Einfüllschraube mit Dichtung
3
Einfüllschraube mit Dichtung
4
Drehschieberpumpe
1
3
Betriebsmittelflasche
4
Einfüllschlauch
1
3
Installation
2
37/84

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