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Cf-Flansch An Cf-F Befestigen; Abb. 11: Flanschverbindung Cf-F, Sechskantschraube Und Durchgangsbohrung; Abb. 12: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung - Pfeiffer Vacuum HIPACE 80 NEO Betriebsanleitung

Turbopumpe
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3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
4. Befestigen Sie die Turbopumpe gemäß der Abbildung mit Überwurfflansch, Sprengring und Zent-
5. Verwenden Sie alle für die Turbopumpe vorgeschriebenen Bauteile.
6. Ziehen Sie die Muttern in 3 Schritten über Kreuz an.
7. Anziehdrehmoment: 5, 10, 16 ± 1 Nm
5.3.9 CF-Flansch an CF-F befestigen
Die Verbindungsarten für die Installation CF- mit CF-Flansch sind:
● "Sechskantschraube und Durchgangsbohrung"
● "Stiftschraube und Gewindebohrung"
● "Stiftschraube und Durchgangsbohrung"
Verlust der Dichtheit durch mangelhafte Installation von CF-Flanschen
Mangelhafte Sauberkeit beim Umgang mit CF-Flanschen und Kupferdichtungen führt zu Undichtig-
keiten und möglichen Prozessschäden.
► Tragen Sie immer geeignete Handschuhe bevor Sie Bauteile berühren oder montieren.
► Montieren Sie alle Dichtungen trocken und fettfrei.
► Achten Sie auf beschädigte Oberflächen und Schneidkanten.
► Tauschen Sie beschädigte Bauteile aus.
Benötigte Werkzeuge
● Sechskantschlüssel, SW 13
● Kalibrierter Drehmomentschlüssel (Anziehfaktor ≤ 1,6)
Abb. 11:
Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen
1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum.
2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen
3. Legen Sie die Dichtung genau in die Ausdrehung.
4. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes.
5. Ziehen Sie die Schraubverbindungen umlaufend an.
6. Überprüfen Sie abschließend das Drehmoment, da durch das Fließen des Dichtungsmaterials ein
Abb. 12:
rierring am Gegenflansch.
Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung
nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
– Anziehdrehmoment: 22 ± 2 Nm
Nachziehen der Schrauben erforderlich sein kann.
Flanschverbindung CF-F, Siftschraube und Gewindebohrung
HINWEIS
Installation
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