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6 Betrieb
6.1 Inbetriebnahme
Gefahr von Schnittverletzungen durch unvorhergesehenen automatischen Hochlauf
Das Verwenden von Gegensteckern für die Antriebselektronik (Zubehör), ermöglicht den sofortigen
Hochlauf der Vakuumpumpe nach Herstellen der Spannungsversorgung. Das Aufstecken von Ge-
gensteckern vor oder während der Installation führt zu der Gefahr von Schnittverletzungen an rotier-
enden scharfkantigen Teilen im offenliegenden Hochvakuumflansch.
► Verwenden Sie die Gegenstecker nur nach der mechanischen Installation.
► Schalten sie die Turbopumpe nur unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Zerstörung der Vakuumpumpe durch zu hohen Energieeintrag während des Betriebs
Die gleichzeitige Belastung durch hohe Antriebsleistung (Gasdurchsatz, Vorvakuumdruck), hohe
Wärmeeinstrahlung oder hohe magnetische Felder führt zu einer unkontrollierten Aufheizung des Ro-
tors und möglicherweise zur Zerstörung der Vakuumumpe.
► Halten Sie Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum vor der Kombination unterschiedlicher Belastungen
Zerstörung der Turbopumpe durch Gase mit zu hohen Molekülmassen
Das Fördern von Gasen mit unzulässig hohen Molekülmassen führt zur Zerstörung der Turbopumpe.
► Achten Sie auf den korrekt eingestellten Gasmodus [P:027] in der Antriebselektronik.
► Halten Sie Rücksprache mit Pfeiffer Vacuum, bevor Sie Gase mit größeren Molekülmassen
Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An-
triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer
und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und
Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
Parameter
[P:027]
[P:035]
[P:036]
[P:700]
[P:701]
[P:707]
[P:708]
[P:720]
[P:721]
Tab. 7:
Hinweise für die Inbetriebnahme der Turbopumpe
1. Achten Sie bei der Verwendung von Wasserkühlung auf Kühlwasserzufluss und Durchfluss.
2. Achten Sie bei der Verwendung von Sperrgas auf Sperrgaszufuhr und Durchfluss.
3. Stellen Sie die Stromversorgung für das Netzteil bereit.
6.2 Betriebsarten
Der Betrieb der Turbopumpe ist auf verschiedene Arten möglich.
WARNUNG
auf die Vakuumpumpe. Es gelten reduzierte Grenzwerte.
(> 80) einsetzen.
Name
GasMode
CfgAccA1
CfgAccB1
RUTimeSVal
SpdSwPt1
SpdSVal
PwrSVal
VentSpd
VentTime
Werkseitige Einstellung der Antriebselektronik von Turbopumpen bei Auslieferung
HINWEIS
HINWEIS
Bezeichnung
Gasmodus
Zubehöranschluss A1
Zubehöranschluss B1
Sollwert Hochlaufzeit
Drehzahlschaltpunkt 1
Vorgabe Drehzahlstellbetrieb
Vorgabe Leistungsaufnahme
Flutdrehzahl verzögertes Fluten
Flutzeit verzögertes Fluten
Betrieb
Einstellung
0 = schwere Gase
0 = Lüfter (Dauerbetrieb)
1 = Flutventil
8 min.
80 %
65 %
100 %
50 %
3600 s
33/60
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