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Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 PLUS Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 PLUS Betriebsanleitung

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BETRIEBSANLEITUNG
OPERATING INSTRUCTIONS
HIPACE 300 PLUS
Turbopumpe
Turbopump
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 PLUS

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 300 PLUS

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG OPERATING INSTRUCTIONS Original HIPACE 300 PLUS Turbopumpe Turbopump...
  • Seite 2 Dear Customer, Thank you for choosing a Pfeiffer Vacuum product. Your new turbopump is designed to support you by its performance, its perfect operation and without interfering your individual application. The name Pfeiffer Vacuum stands for high-quality vacuum technology, a comprehensive and complete range of top-quality products and first-class service.
  • Seite 3 Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Lieferumfang Produkt identifizieren 3.3.1 Produkttypen 3.3.2 Produktmerkmale...
  • Seite 4 5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Steuergerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
  • Seite 5 Tab. 14: Wartungsintervalle Tab. 15: Charakteristische Nenndrehzahlen der Turbopumpen Tab. 16: Störungsbehebung bei Turbopumpen Tab. 17: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 300 Plus Tab. 18: Zubehör Tab. 19: Zubehörabweichungen bei HiPace 300 | 48 V DC Tab. 20: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab.
  • Seite 6 Abb. 21: Demontage der Antriebselektronik TC 400 Abb. 22: Montage der Antriebselektronik TC 400 Abb. 23: Ersatzteile HiPace 300 Plus Abb. 24: Abmessungen HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-K Abb. 25: Abmessungen HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-F Abb.
  • Seite 7 Pfeiffer Vacuum Download Center. 1.1.2 Varianten ● HiPace 300 Plus, DN 100 ISO-K, TC 400, 24 V DC ● HiPace 300 Plus, DN 100 CF-F, TC 400, 24 V DC ● HiPace 300 Plus, DN 100 ISO-F, TC 400, 24 V DC ●...
  • Seite 8 Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil Berliner Str. 43 D-35614 Asslar der Vakuumpumpe. HiPace 300 Plus Mod. PM P0X XXX Typenschild der Antriebselektronik Type 12 - - - - - - - -...
  • Seite 9 Zu dieser Anleitung Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt 1 Hinweis Betriebsanleitung Hinweis Erdungsanschluss 2 Verschlusssiegel Typenschild der Turbopumpe 1.3.4 Abkürzungen Abkürzung Bedeutung im Dokument Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Hochvakuumflansch, Hochvakuumseite Flansch: Anschlussverbindung gemäß...
  • Seite 10 Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
  • Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
  • Seite 14 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...
  • Seite 15 Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...
  • Seite 16 ● Verwenden von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 17 ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 18 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Baureihe mit der Eigenschaftsbezeichnung "Plus" kennzeichnet Turbopumpen mit besonders vibra- tionsarmen Lauf und niedrigem magnetischen Streufeld. Abb. 2: Aufbau HiPace 300 Plus 1 Antriebselektronik TC 400 Sperrgasanschluss 2 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss Flutschraube 3 Pumpengehäuse, Aluminium Kühlwasseranschluss 4 Pumpengehäuse, Edelstahl...
  • Seite 19 ● Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss ● Betriebsanleitung 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschilds bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
  • Seite 20 ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
  • Seite 21 Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
  • Seite 22 Installation 5.2 Turbopumpe am Unterteil befestigen HINWEIS Schäden an der Vakuumpumpe durch Krafteinwirkung an der Hochvakuumseite Durch Befestigung am Pumpenunterteil und gleichzeitig starrer Rohrverbindung an der Hochvakuum- seite besteht die Gefahr, dass Zwangskräfte auf die Turbopumpe wirken. Mechanische Belastungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge. ►...
  • Seite 23 ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 300 2000 Nm...
  • Seite 24 Abb. 3: Beispiel: Sicherheitsverbindungen 1 Sicherheitsverbindung, kundenseitig 5.3.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches. Flanschgröße Reduziertes Saugvermögen in % für Gasart...
  • Seite 25 ● Kalibrierter Drehmomentschlüssel (Anziehfaktor ≤ 1,6) Abb. 5: Flanschverbindung ISO-K zu ISO-K, Klammerschraube Verbindung mit Klammerschraube 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Verbinden Sie die Flansche gemäß der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes. 25/126...
  • Seite 26 Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 27 Flanschverbindung ISO-K mit ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 28 Abb. 10: Flanschverbindung ISO-F, Stiftschraube und Gewindebohrung Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein.
  • Seite 29 Flanschverbindung CF-F, Sechskantschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
  • Seite 30 Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.
  • Seite 31 Installation 3. Achten Sie auf Maßnahmen gegen Rückströmung von Betriebsmitteln oder Kondensat aus dem Vorvakuumbereich. 4. Beachten Sie für den Anschluss und Betrieb der Vorpumpen oder Pumpstände die Informationen aus deren Betriebsanleitung. 5.5 Kühlwasseranschluss Die Turbopumpen HiPace 300 sind serienmäßig wassergekühlt. WARNUNG Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen.
  • Seite 32 3. Stellen Sie die Schwenkverschraubungen Ihren Bedürfnissen nach ein. – Anziehdrehmoment für die Schwenkverschraubung: 3 bis 3,5 Nm 5.6 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.
  • Seite 33 Durch unsichere oder nicht sachgerechte Installation entstehen gefährliche Situationen. ► Nehmen Sie keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vor. ► Sorgen Sie für die Integration in einen Not‑Aus‑Sicherheitskreis. 5.7.1 Turbopumpe erden Pfeiffer Vacuum empfiehlt den Anschluss eines geeigneten Erdungskabels, um applikative Störeinflüs- se abzuleiten. 33/126...
  • Seite 34 Installation Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1. Verwenden Sie den Erdungsanschluss der Turbopumpe (M4 Innengewinde). 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 5.7.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall.
  • Seite 35 1. Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. 2. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter des Netzteils vor dem Anschluss ausgeschaltet ist. 3. Verwenden Sie ein passendes Verbindungskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 4. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCin" an der Antriebselektronik und schlie- ßen Sie die Bajonettverriegelung.
  • Seite 36 Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über ein Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 37 Nach Bereitstellen der Versorgungsspannung läuft die Turbopumpe sofort hoch. Hinweise für den Betrieb ohne Bedieneinheit 1. Verwenden Sie nur die zugelassenen Pfeiffer Vacuum Gegenstecker mit Brücken auf dem An- schluss der Antriebselektronik. 2. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb ein.
  • Seite 38 ► Verbinden Sie das Netzteil mit dem betreiberseitigen Versorgungsnetz. ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Steuergerät oder PC möglich. 38/126...
  • Seite 39 Betrieb Symbol LED Status Anzeige Bedeutung stromlos Ein, blitzend "Pumpstand AUS", Drehzahl ≤ 60 min Grün Ein, invers blitzend "Pumpstand EIN", Solldrehzahl nicht erreicht Ein, konstant "Pumpstand EIN", Solldrehzahl erreicht Ein, blinkend "Pumpstand AUS", Drehzahl > 60 min Gelb keine Warnung Ein, konstant Warnung kein Fehler, keine Warnung...
  • Seite 40 Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
  • Seite 41 Für die Durchführung von Wartungsarbeiten der Level 2 und 3 empfehlen wir den Pfeif- fer Vacuum Service (PV). Bei Überschreiten der genannten Intervalle oder bei unsachge- mäß ausgeführten Wartungsarbeiten, entfallen jegliche Gewährleistungs- und Haftungsan- sprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile ver- wenden. Empfehlungen für die Ausführung von Wartungsmaßnahmen ►...
  • Seite 42 Wartung ► Beachten Sie die Dauer der Gebrauchsfähigkeit des Betriebsmittels. ► Wenden Sie sich für Fragen zur Wartung an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. Tätigkeit Inspektion Wartung Wartung Wartung Benötigtes Level 1 Level 2 Level 3 Material Beschrieben in Dokument...
  • Seite 43 ● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
  • Seite 44 Wartung 3. Schrauben Sie alle Innensechskantschrauben aus dem Verschlussdeckel am Pumpenunterteil heraus. 4. Nehmen Sie den Verschlussdeckel ab. 5. Achten Sie auf den O-Ring und benutzen Sie ggf. einen O-Ring Picker zum Herausnehmen. 6. Vermeiden Sie Beschädigungen durch Kratzer. 7. Nehmen Sie den Betriebsmittelspeicher mit der Hand aus der Lagerfassung. 8.
  • Seite 45 Wartung 7.4 Antriebselektronik austauschen HINWEIS Schäden an Vakuumpumpe und Antriebselektronik durch unsachgemäßes Trennen von Kom- ponenten Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Vakuumpumpe elektrische Ener- gie. Bei vorzeitiger Trennung von Vakuumpumpe und Antriebselektronik besteht die Gefahr eines Massenschlusses und dadurch die Zerstörung von elektronischen Bauteilen. ►...
  • Seite 46 Wartung Abb. 21: Demontage der Antriebselektronik TC 400 1 Innensechskantschraube Schutzdeckel Vorvakuumanschluss 2 Antriebselektronik Adapterplatte 3 Schutzdeckel Hochvakuumanschluss Vorgehen 1. Stellen Sie die Turbopumpe ggf. aufrecht. 2. Schrauben Sie alle 3 Innensechskantschrauben aus der Antriebselektronik heraus. 3. Ziehen Sie die alte Antriebselektronik gerade von der Turbopumpe ab. 7.4.2 Antriebselektronik installieren Benötigte Werkzeuge ●...
  • Seite 47 4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 47/126...
  • Seite 48 1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
  • Seite 49 Schutz von Mensch, Umwelt und Natur einhalten. ● Helfen Sie Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren. ● Verhindern Sie Verschmutzungen. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 50 Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 51 ● Schalten Sie das Netzteil ein. ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- Steuergerät: Pin 1-3...
  • Seite 52 Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.
  • Seite 53 Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produkts von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 54 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 55 Ersatzteile HiPace 300 Plus Position Bezeichnung Größe Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 400 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Schwenkverschraubung P 4131 007 D Wasserkühlung Betriebsmittelspeicher siehe Typenschild inkl. O-Ring Tab. 17: Übersicht über die verfügbaren Ersatzteile für HiPace 300 Plus 55/126...
  • Seite 56 Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Steuergeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Steuergerä- te dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Seite 57 Zubehör Benennung Bestellnummer Sechskantschraubensatz für Flansche mit Durchgangsbohrung, DN 100 CF-F PM 016 690 -T Stiftschraubensatz für Flansche mit Durchgangsbohrung, DN 100 CF-F PM 016 734 -T Stiftschraubensatz für Flansche mit Gewindebohrung, DN 100 CF-F PM 016 866 -T Dämpfungskörper für HiPace 300/400, DN 100 CF-F PM 006 488 -X Dämpfungskörper für HiPace 300/400, DN 100 ISO-K/F PM 006 459 AX...
  • Seite 58 Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 59 Technische Daten und Abmessungen Typenbezeichnung HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus Saugvermögen für Ar 255 l/s 255 l/s 255 l/s Saugvermögen für H 220 l/s 220 l/s 220 l/s Saugvermögen für He 255 l/s 255 l/s 255 l/s Saugvermögen für N 260 l/s 260 l/s...
  • Seite 60 -20 – 55 °C -20 – 55 °C Gewicht 6,7 kg 8,7 kg 7 kg Tab. 22: Technische Daten für HiPace 300 Plus | 24 V Typenbezeichnung HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus Anschlussflansch (Eingang) DN 100 ISO-K...
  • Seite 61 -20 – 55 °C -20 – 55 °C -20 – 55 °C Gewicht 6,7 kg 8,7 kg 7 kg Tab. 23: Technische Daten für HiPace 300 Plus | 48 V 14.3 Medienberührende Werkstoffe Medienberührende Werkstoffe Aluminiumlegierungen Edelstahl Seltene-Erden-Magnete Kohlefaserverstärkte Kunststoffe Epoxidharz...
  • Seite 62 Technische Daten und Abmessungen DN 100 ISO-K 18.6 DN 16 ISO-KF Ø8 Abb. 24: Abmessungen HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-K DN 100 CF-F 18.6 DN 16 ISO-KF Ø 8 Abb. 25: Abmessungen HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-F 18.6 DN 100 ISO-F DN 16 ISO-KF...
  • Seite 63 ISO 21360-4 : 2018 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 64 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...
  • Seite 65 Limits of use of the product Proper use Foreseeable improper use Personnel qualification 2.7.1 Ensuring personnel qualification 2.7.2 Personnel qualification for maintenance and repair 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum Product description Function 3.1.1 Cooling 3.1.2 Rotor bearing 3.1.3 Drive...
  • Seite 66 Operating modes 6.2.1 Operating without operating unit 6.2.2 Operation via multi-function connection "remote" 6.2.3 Operation via connection "E74" 6.2.4 Operation via Pfeiffer Vacuum control unit 6.2.5 Operation via field bus Switching on the turbopump Operation monitoring 6.4.1 Operating mode display via LED 6.4.2 Temperature monitoring...
  • Seite 67 Tbl. 15: Characteristic nominal rotation speeds of the turbopumps Tbl. 16: Troubleshooting turbopumps Tbl. 17: Overview of the spare parts available for the HiPace 300 Plus Tbl. 18: Accessories Tbl. 19: Other accessories for HiPace 300 | 48 V DC Tbl.
  • Seite 68 Removal of electronic drive unit TC 400 Fig. 22: Installation of electronic drive unit TC 400 Fig. 23: Spare parts HiPace 300 Plus Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-K Fig. 25: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-F Fig.
  • Seite 69 Keep the manual for future consultation. 1.1 Validity These operating instructions are a customer document of Pfeiffer Vacuum. The operating instructions describe the functions of the named product and provide the most important information for the safe use of the device. The description is written in accordance with the valid directives. The information in these operating instructions refers to the product's current development status.
  • Seite 70 Rating plate The rating plate of the turbopump is located on the lower part Berliner Str. 43 D-35614 Asslar of the vacuum pump. HiPace 300 Plus Mod. PM P0X XXX Rating plate of the electronic drive unit Type 12 - - - - - - - -...
  • Seite 71 About this manual Fig. 1: Position of the stickers on the product 1 Operating instructions note Information regarding ground connection 2 Warranty seal Rating plate of the turbopump 1.3.4 Abbreviations Abbreviation Meaning in this document Flange: Metal-sealed connector in accordance with ISO 3669 Diameter value (in mm) Direct current Nominal diameter as size description...
  • Seite 72 Safety 2 Safety 2.1 General safety information The following 4 risk levels and 1 information level are taken into account in this document. DANGER Immediately pending danger Indicates an immediately pending danger that will result in death or serious injury if not observed. ►...
  • Seite 73 Safety Risks during installation DANGER Danger to life from electric shock Power supply packs that are not specified or are not approved will lead to severe injury to death. ► Make sure that the power supply pack meets the requirements for double isolation between mains input voltage and output voltage, in accordance with IEC 61010-1 IEC 60950-1 and IEC 62368-1.
  • Seite 74 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. WARNING Danger of cut injuries from unexpected start up.
  • Seite 75 Safety Risks during maintenance, decommissioning and disposal WARNING Danger to life from electric shock during maintenance and service work The device is only completely de-energized when the mains plug has been disconnected and the tur- bopump is at a standstill. There is a danger to life from electric shock when making contact with live components.
  • Seite 76 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Danger to life from poisoning where toxic process media leak from damaged connections Sudden twisting of the turbopump in the event of a fault causes fittings to accelerate.
  • Seite 77 Safety ► Never put the device into operation with the high vacuum connection open. ► Keep lines and cables away from hot surfaces (> 70°C). ► Never fill or operate the unit with cleaning agents or cleaning agent residues. ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ►...
  • Seite 78 The work described in this document may only be carried out by persons who have appropriate profes- sional qualifications and the necessary experience or who have completed the necessary training as provided by Pfeiffer Vacuum. Training people 1. Train the technical personnel on the product.
  • Seite 79 ─ Customer with Pfeiffer Vacuum service training ─ Pfeiffer Vacuum service technician 2.7.3 Advanced training with Pfeiffer Vacuum For optimal and trouble-free use of this product, Pfeiffer Vacuum offers a comprehensive range of courses and technical trainings. For more information, please contact Pfeiffer Vacuum technical training.
  • Seite 80 The series with the properties designation "Plus" marks turbopumps with particularly low-vibration ac- tion and a low magnetized stray field. Fig. 2: HiPace 300 Plus design 1 Electronic drive unit TC 400 Sealing gas connection 2 Protective cap for the high vacuum connec-...
  • Seite 81 ID no. 000021320. 3.3.1 Product types The product designation of Pfeiffer Vacuum turbopumps from the HiPace series is composed of the family name, the size (which is based on the pumping speed of the vacuum pump) and, if required, an additional feature description.
  • Seite 82 ► Do not stack the products. ► Wear protective equipment, e.g. safety shoes. Recommendation Pfeiffer Vacuum recommends keeping the transport packaging and original protective cov- Safe transport of the product ► Transport the turbopump only within the permissible temperature limits.
  • Seite 83 Installation 5 Installation The installation of the turbopump and its fastening is of outstanding importance. The rotor of the turbo- pump revolves at very high speed. In practice it is not possible to exclude the risk of the rotor touching the stator (e.g. due to the penetration of foreign bodies into the high vacuum connection). The kinetic energy released acts on the housing and on the anchoring of the turbopump within fractions of a sec- ond.
  • Seite 84 ● Make sure that all the torques generated if the rotor blocks suddenly, are absorbed by the system on the operator side and the high vacuum connection. ● Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the high vacuum connec- tion of the turbopump.
  • Seite 85 1 Safety connection, customer-side 5.3.3 Using a splinter shield or protective screen Pfeiffer Vacuum centering rings with splinter shield or protective screen in the high vacuum flange pro- tect the Turbopump against foreign matter from the vacuum chamber. The pumping speed is reduced according to the passage guide values and the size of the high vacuum flange.
  • Seite 86 ► Take suitable safety precautions on-site for the compensation of the occurring torques. ► Before installing a vibration compensator, you must first of all contact Pfeiffer Vacuum. Pfeiffer Vacuum vibration compensators are suitable for use on vibration-sensitive systems.
  • Seite 87 Flange connection ISO-K to ISO-F, bracket screws Connection with bracket screw 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. Connect the flange with the components of the mounting kit according to the figure.
  • Seite 88 Connection of the stud screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Screw in the required number of stud screws with the shorter end in the holes on the counter flange.
  • Seite 89 Connection of the hexagon head screw and tapped hole 1. Only use the approved mounting kits of Pfeiffer Vacuum for the connection of the turbopump. 2. Attach the turbopump with centering ring to the counter flange according to the figure.
  • Seite 90 Connection of the hexagon head screw and through holes 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.
  • Seite 91 Connection of the stud screw and through hole 1. For the connection of the turbopump, use only the approved mounting kits from Pfeiffer Vacuum. 2. If used: Insert the protective screen or splinter shield with clamping lugs downwards in the turbo- pump high vacuum flange.
  • Seite 92 1. With rigid pipe connections, include bellows to attenuate external vibrations. 2. Install a fore-vacuum connection with small flange components, e.g. connection elements and pipe components DN 16 ISO-KF from the Pfeiffer Vacuum Components Shop. 3. Implement measures to counteract the backflow of operating fluids or condensate from the fore- vacuum area.
  • Seite 93 Installation Parameter Cooling water Appearance ● filtered ● mechanically clear ● visually clear ● no turbidity ● no sediment ● free from grease and oil pH value 7 to 9 Carbonate hardness, max. 10 °dH 12.53 °e 17.8 °fH 178 ppm CaC0 Chloride content, max.
  • Seite 94 ● The use of other accessories for turbopumps is possible and requires settings in the configuration of the electronic drive unit. ● The desired accessory output is configured via RS-485 using Pfeiffer Vacuum control units or a PC. ● For detailed information see the “Electronic drive unit TC 400” or “Electronic drive unit TC 700”...
  • Seite 95 ► Do not carry out your own conversions or modifications on the unit. ► Ensure the integration into an Emergency Off safety circuit. 5.7.1 Earthing the turbopump Pfeiffer Vacuum recommends connecting a suitable grounding cable to discharge applicative interfer- ences. Fig. 17:...
  • Seite 96 2. Make sure that the power supply pack main switch is off prior to connection. 3. Use a suitable connection cable from the Pfeiffer Vacuum accessories range. 4. Insert the connecting cable into the connection "DCin" on the electronic drive unit and close the bayonet lock.
  • Seite 97 Important settings and function-related variables are programmed ex factory as parameters in the vac- uum pump electronic drive unit. Each parameter has a three-digit number and a description. Parameter- driven operation and control is supported via a Pfeiffer Vacuum control unit, or externally via RS-485 using Pfeiffer Vacuum protocol.
  • Seite 98 Instructions for operation without control panel 1. Use only the approved Pfeiffer Vacuum mating plug with bridges on the connection of the elec- tronic drive unit. 2. Switch on the mains supply of the turbopump only immediately before operation.
  • Seite 99 6.4.1 Operating mode display via LED LEDs on the electronic drive unit show the basic operating states of the vacuum pump. A differentiated error and warning display is only possible for operation with the Pfeiffer Vacuum control unit or a PC. 99/126...
  • Seite 100 Operation Symbol LED status Display Meaning Currentless On, flashing "pumping station OFF", rotation speed ≤ 60 rpm Green On, inverse flashing "pumping station ON", set rotation speed not reached On, constant "pumping station ON", set rotation speed reached On, flashing "pumping station OFF", speed >...
  • Seite 101 General information for fast venting We recommend fast venting of larger volumes in 4 steps. 1. Use a Pfeiffer Vacuum venting valve for the turbopump, or match the valve cross-section to the size of the recipient and maximum venting rate.
  • Seite 102 ● Determine the specific service lives during the first operating interval. ● Consult with Pfeiffer Vacuum Service if you wish to reduce the maintenance frequency. Maintenance Level 2 and Level 3 We recommend Pfeiffer Vacuum Service (PV) carry out maintenance work at Level 2 and Level 3 (inspection).
  • Seite 103 Maintenance ► Pay attention to when the operating fluid must be changed. ► For any questions relating to maintenance, contact the appropriate Pfeiffer Vacuum Service loca- tion. Action Inspection Mainte- Mainte- Mainte- Required ma- nance lev- nance lev- nance lev-...
  • Seite 104 ● When ordering spare parts, make sure you use the correct pump article number and the operating fluid reservoir. ● This information can be found on the pump rating plate. You can find the safety data sheet in the Pfeiffer Vacuum Download Center. Prerequisites ● Turbopump off ●...
  • Seite 105 Maintenance 3. Unscrew all Allen head screws from the screw cap on the pump bottom part. 4. Remove closing cap. 5. Be careful with the O-ring; use an O-ring picker to remove if needed. 6. Avoid damage caused by scratches. 7.
  • Seite 106 Maintenance 7.4 Replacing electronic drive unit NOTICE Damage to the vacuum pump and electronic drive unit due to improper disconnection of com- ponents Even after the power supply has been switched off, the vacuum pump continues to deliver electrical energy during its run-down period. If the vacuum pump and electronic drive unit are disconnected prematurely, there is the risk of body contact and consequently the destruction of electronic compo- nents.
  • Seite 107 Maintenance Fig. 21: Removal of electronic drive unit TC 400 1 Allen head screw Fore-vacuum connection protective cover 2 Electronic drive unit Adapter plate 3 High vacuum connection protective cover Procedure 1. Install the turbopump upright if required. 2. Unscrew all 3 Allen head screws from the electronic drive unit. 3.
  • Seite 108 5. Set the parameter [P:777] to the required value of the nominal rotation speed in Hertz. Alternative to adjusting the nominal rotation speed confirmation A Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator for the one-time immediate setting of parameter [P:777] is included with the replacement units.
  • Seite 109 2. Clean the turbopump exterior with a lint-free cloth and a little isopropanol. 3. If necessary, arrange for Pfeiffer Vacuum Service to completely clean the turbopump. 4. Observe the total running time of the turbopump and if necessary, arrange for Pfeiffer Vac- uum Service to replace the bearing.
  • Seite 110 ● Help to reduce the wastage of natural resources. ● Prevent contamination. 9.1 General disposal information Pfeiffer Vacuum products contain materials that you must recycle. ► Dispose of our products according to the following: – Iron – Aluminium –...
  • Seite 111 ► Follow the installation instructions for this turbopump. ► Observe the requirements regarding stability and design of the counter flange. ► Use only original accessories or fixing material approved by Pfeiffer Vacuum for the installation. WARNING Risk of injury caused by the turbopump breaking away with the vibration compensator in the event of a malfunction Sudden jamming of the rotor generates high destructive torques in accordance with ISO 27892.
  • Seite 112 ● Reduce the process gas load. ● Rotor not running ● Check the turbopump for noise development smoothly, defective ● Contact Pfeiffer Vacuum Service. bearing ● Run-up time setpoint ad- ● Use a control unit to extend the set value run-up justed too low time [P:700].
  • Seite 113 We are always focused on perfecting our core competence – servicing of vacuum components. Once you have purchased a product from Pfeiffer Vacuum, our service is far from over. This is often exactly where service begins. Obviously, in proven Pfeiffer Vacuum quality.
  • Seite 114 Service solutions by Pfeiffer Vacuum 5. Prepare the product for transport in accordance with the provisions in the contamination declaration. a) Neutralize the product with nitrogen or dry air. b) Seal all openings with blind flanges, so that they are airtight.
  • Seite 115 Banjo fitting P 4131 007 D Water cooling Operating fluid reservoir refer to the rating plate incl. O-ring Tbl. 17: Overview of the spare parts available for the HiPace 300 Plus 115/126...
  • Seite 116 Optionally with splinter shield or protective screen. Power supply packs and control units Power supply packs for optimal voltage supply of Pfeiffer Vacuum products are characterized by their compact size and adapted power supply with maximum reliability. Control units are used to check and adjust operating parameters.
  • Seite 117 Accessories Benennung Bestellnummer Set of stud screws for flanges with a threaded hole, DN 100 CF-F PM 016 866 -T Vibration damper for HiPace 300/400, DN 100 CF-F PM 006 488 -X Vibration damper for HiPace 300/400, DN 100 ISO-K/F PM 006 459 AX Vibration Isolator, DN 100 ISO-F/K PM 016 600 -U...
  • Seite 118 Technical data and dimensions 14 Technical data and dimensions 14.1 General This section describes the basis for the technical data of Pfeiffer Vacuum turbopumps. Technical data Maximum values refer exclusively to the input as a single load. ● Specifications according to PNEUROP committee PN5 ●...
  • Seite 119 Technical data and dimensions Type designation HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus Pumping speed for H 220 l/s 220 l/s 220 l/s Pumping speed for He 255 l/s 255 l/s 255 l/s Pumping speed for N 260 l/s 260 l/s 260 l/s Gas throughput at final rotation...
  • Seite 120 -20 – 55 °C ture Weight 6.7 kg 8.7 kg 7 kg Tbl. 22: Technical data for HiPace 300 Plus | 24 V Type designation HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus HiPace® 300 Plus Connection flange (in) DN 100 ISO-K...
  • Seite 121 -20 – 55 °C ture Weight 6.7 kg 8.7 kg 7 kg Tbl. 23: Technical data for HiPace 300 Plus | 48 V 14.3 Substances in contact with the media Substances in contact with the media Aluminum alloy Stainless steel Rare-earth magnets Carbon-fiber-reinforced plastic...
  • Seite 122 Technical data and dimensions DN 100 ISO-K 18.6 DN 16 ISO-KF Ø8 Fig. 24: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-K DN 100 CF-F 18.6 DN 16 ISO-KF Ø 8 Fig. 25: Dimensions HiPace 300 | TC 400 | DN 100 ISO-F 18.6 DN 100 ISO-F DN 16 ISO-KF...
  • Seite 123 DIN EN 61010-1 : 2020 DIN EN IEC 63000 : 2019 The authorized representative for the compilation of technical documents is Mr. Tobias Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Germany. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
  • Seite 124 ISO 21360-4:2018 IEC 61010-1+A1:2010 IEC 63000:2018 The manufacturer's authorized representative in the United Kingdom and the authorized agent for compiling the technical documentation is Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, In- terchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43...
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  • Seite 126 Notizen / Notes:...