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Betrieb
● Betrieb ohne Bediengerät
● Betrieb über Anschluss "X3"
● Betrieb über Schnittstelle RS-485 und Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät oder PC
● Betrieb über Anschluss "E74"
● Betrieb über Feldbus
6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit
Hiweise für den Betrieb ohne Bedieneinheit
1. Verwenden Sie nur die zugelassenen Pfeiffer Vacuum Verbindungskabel mit Brücken auf dem
2. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb ein.
Nach Anlegen der Betriebsspannung führt die Antriebselektronik einen Selbsttest zur Überprüfung der
Versorgungsspannung durch. Nach erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest startet die Turbopumpe
und aktiviert verbundene Zusatzeinrichtungen entsprechend der Konfiguration.
6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "X3"
Die Fernbedienung ist über den 15-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "X3" an der Antriebs-
elektronik möglich. Die bedienbaren Einzelfunktionen sind durch "SPS-Pegel" dargestellt.
Hiweise für den Betrieb mit Fernbedienung
► Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik.
6.2.3 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät
Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo-
pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter.
Hinweise für den Betrieb mit Anzeige- und Bediengerät
1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö-
2. Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik aus dem Lieferumfang der Turbopum-
3. Schließen Sie den Anschluss "RS-485" eines passenden Verbindungskabels an das DCU an.
4. Schalten Sie die Stromversorgung der Turbopumpe über das externe Netzteil oder das DCU mit
6.2.4 Betrieb über Anschluss "E74"
Die Bedienung ist über den 15-poligen D-Sub-Anschluss mit der Bezeichnung "E74" an der Antriebs-
elektronik möglich. Der Anschluss enthält neben den in der Richtlinie SEMI E74-0301 definierten Signa-
len ein invertiertes Alarmsignal und einen Analogausgang.
Hinweise für den Betrieb mit E74
► Beachten Sie die Betriebsanleitung der Antriebselektronik in E74 Ausführung.
6.2.5 Betrieb über Feldbus
Die Einbindung und der Betrieb von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen in ein kundenseitiges Feldbussys-
tem ist bei Verwendung einer Antriebselektronik mit entsprechendem Anschlusspanel möglich.
Zur Verfügung stehen:
● Profibus
34/60
Automatischer Anlauf
Nach Überbrücken der Kontake Pin 2, 5, 7 am Anschluss "X3" oder bei Verwendung eines
Verbindungskabels "mit Brücken" und Anlegen der Versorgungsspannung läuft die Turbo-
pumpe sofort hoch.
Anschluss "X3" der Antriebselektronik.
rende Betriebsanleitung:
– Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im
– Betriebsanleitung "HPU" verfügbar im
pe.
integriertem Netzteil ein.
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