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Pfeiffer Vacuum HIPACE 350 Betriebsanleitung
Pfeiffer Vacuum HIPACE 350 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum HIPACE 350 Betriebsanleitung

Turbopumpe
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Inhaltsverzeichnis

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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
HIPACE 350
Turbopumpe

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HIPACE 350

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original HIPACE 350 Turbopumpe...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Allgemeine Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktion 3.1.1 Kühlung 3.1.2 Rotorlager 3.1.3 Antrieb Lieferumfang Produkt identifizieren 3.3.1 Produkttypen 3.3.2 Produktmerkmale...
  • Seite 4 Betrieb Inbetriebnahme Betriebsarten 6.2.1 Betrieb ohne Bedieneinheit 6.2.2 Betrieb über Multifunktionsanschluss "remote" 6.2.3 Betrieb über Anschluss "E74" 6.2.4 Betrieb über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät 6.2.5 Betrieb über Feldbus Turbopumpe einschalten Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED 6.4.2 Temperaturüberwachung Ausschalten und Fluten 6.5.1 Ausschalten...
  • Seite 5 Tab. 19: Umrechnungstabelle: Druckeinheiten Tab. 20: Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz Tab. 21: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 24 V Tab. 22: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 48 V Tab. 23: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt...
  • Seite 6 Abb. 23: Ersatzteile HiPace 350 Abb. 24: Kennlinie Gasdurchsatz in Abhängigkeit der Drehzahl Abb. 25: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K Abb. 26: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F Abb. 27: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 CF-F...
  • Seite 7: Zu Dieser Anleitung

    Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Gerätes. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Anga- ben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes.
  • Seite 8: Piktogramme

    1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt Dieser Abschnitt beschreibt alle vorhandenen Aufkleber auf dem Produkt, sowie deren Bedeutung. Typenschild D-35614 Asslar Das Typenschild der Turbopumpe befindet sich am Unterteil der Vaku- HiPace 350 Mod. umpumpe. PM P07 _ 4 _ _ _ _ Type 12...
  • Seite 9: Abkürzungen

    Flansch: Anschlussverbindung metallgedichtet gemäß ISO 3669 Betrag des Durchmessers (in mm) Gleichstrom Display Control Unit (Anzeige- und Bediengerät von Pfeiffer Vacuum). Nomineller Durchmesser als Größenbeschreibung Betrag der Drehzahl einer Vakuumpumpe (frequency, in 1/min oder Hz) Handheld Programming Unit. Assistent zur Steuerung und Kontrolle der Pumpenpara-...
  • Seite 10: Sicherheit

    Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
  • Seite 11 Sicherheit Risiken bei der Installation GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall. ► Achten Sie darauf, dass das Netzteil den Anforderungen für doppelte Isolierung zwischen Netz- eingangsspannung und Ausgangsspannung gemäß IEC 61010-1, IEC 60950-1 und IEC 62368-1 entspricht.
  • Seite 12 Sicherheit WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall Plötzliches Blockieren des Rotors erzeugt gemäß ISO 27892 hohe zerstörende Drehmomente. Diese führen bei Verwendung eines Dämpfungskörpers höchstwahrscheinlich zum Abreißen der Turbo- pumpe. Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Turbopumpe oder Bruchstücke aus deren Inneren durch den Raum schleudern.
  • Seite 13 Sicherheit Risiken bei der Wartung, Außerbetriebnahme und Entsorgung WARNUNG Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Wartungs- und Servicearbeiten Das Gerät ist nur bei gezogenem Netzstecker und stillstehender Turbopumpe völlig spannungsfrei. Es besteht Lebensgefahr durch elektrischen Schlag bei Berührung spannungsführender Komponen- ten. ►...
  • Seite 14: Sicherheitsmaßnahmen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Lebensgefahr durch Vergiftung bei Austritt von toxischen Prozessmedien an beschädigten...
  • Seite 15: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit ► Lösen Sie während des Betriebs keine Steckerverbindungen. ► Beachten Sie die genannten Ausschaltprozeduren. ► Warten Sie vor Arbeiten am Hochvakuumanschluss den völligen Stillstand des Rotors ab (Dreh- zahl f = 0). ► Setzen Sie das Gerät nicht mit offenem Hochvakuumanschluss in Betrieb. ►...
  • Seite 16: Vorhersehbarer Fehlgebrauch

    ● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.
  • Seite 17: Personenqualifikation Bei Wartung Und Reparatur

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.
  • Seite 18: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktion Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik eine kompakte Einheit. Als Spannungsversorgung dienen Pfeiffer Vacuum Netzteile. Abb. 2: Aufbau HiPace 350 1 Antriebselektronik TC 400 Montagefläche für Luftkühlung (alternativ: Erdungsanschluss) 2 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss Flutschraube 3 Pumpengehäuse, Aluminium Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss, DN...
  • Seite 19: Lieferumfang

    ● Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss ● Betriebsanleitung 3.3 Produkt identifizieren ► Halten Sie zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereit. ► Informieren Sie sich über Zertifizierungen durch Prüfsiegel auf dem Produkt oder unter www.certi- pedia.com...
  • Seite 20: Transport Und Lagerung

    ► Entfernen Sie die Schutzdeckel erst unmittelbar vor der Installation. 4.2 Lagerung Empfehlung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer original Transportverpackung. Turbopumpe lagern 1. Verschließen Sie die Flanschöffnungen mit den original Schutzdeckeln. 2. Verschließen Sie weitere Anschlüsse (z. B. Flutanschluss) mit entsprechenden Originalteilen.
  • Seite 21: Installation

    Installation 5 Installation Die Installation der Turbopumpe und ihrer Befestigung ist von herausragender Bedeutung. Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit sehr hoher Geschwindigkeit. In der Praxis ist nicht auszuschließen, dass der Rotor den Stator berührt (z. B. durch Eindringen von Fremdkörpern in den Hochvakuumanschluss). Die freigesetzte kinetische Energie wirkt innerhalb von Sekundenbruchteilen auf das Gehäuse und auf die Verankerung der Turbopumpe.
  • Seite 22: Hochvakuumseite Anschließen

    ● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva- kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf- nehmen müssen. ● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. Parameter HiPace 350 3500 Nm...
  • Seite 23: Splitterschutz Oder Schutzgitter Verwenden

    Beispiel: Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Erschütterungen 1 Sicherheitsverbindung, kundenseitig 5.2.3 Splitterschutz oder Schutzgitter verwenden Pfeiffer Vacuum Zentrierringe mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch schützen die Turbopumpe vor Fremdkörpern aus dem Rezipienten. Das Saugvermögen reduziert sich entsprechend der Durchgangsleitwerte und der Größe des Hochvakuumflansches.
  • Seite 24: Einbaulagen

    4. Beachten Sie die Befestigung von ISO-Flanschen. 5.2.5 Einbaulagen Pfeiffer Vacuum Turbopumpen der Serie HiPace sind bei Verwendung von trocken verdichtenden Vor- pumpen für den Einbau in allen Raumlagen geeignet. ► Vermeiden Sie bei Verwendung ölgedichteter Vorpumpen Rückströmungen aus dem Vorvakuum- bereich.
  • Seite 25: Iso-K Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Sechskantschraube und Gewindebohrung Verbindung von Sechskantschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 26: Iso-F Flansch An Iso-F Befestigen

    Flanschverbindung ISO-K zu ISO-F, Stiftschraube und Durchgangsbohrung Verbindung von Stiftschraube und Durchgangsbohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Legen Sie den Überwurfflansch über den Hochvakuumflansch der Turbopumpe. 3. Setzen Sie den Sprengring in die seitliche Nut am Hochvakuumflansch der Turbopumpe.
  • Seite 27: Cf-Flansch An Cf-F Befestigen

    Installation Verbindung von Stiftschraube und Gewindebohrung 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Schrauben Sie die Stiftschrauben mit dem kürzeren Ende in die Gewindebohrungen am Gegen- flansch ein. – Beachten Sie die Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials und die Einschraubtiefe.
  • Seite 28: Abb. 13: Flanschverbindung Cf-F, Siftschraube Und Gewindebohrung

    Installation Verbindung von Sechskantschraube und Durchgangsbohrungen 1. Verwenden Sie für den Anschluss nur die zugelassenen Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum. 2. Sofern verwendet: Setzen Sie das Schutzgitter oder den Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe ein.
  • Seite 29: Vorvakuumseite Anschließen

    Vorvakuumdruck bereitstellen oder unterschreiten kann. Set- zen Sie zum Erreichen des Vorvakuumdrucks eine geeignete Vakuumpumpe oder einen Pumpstand aus dem Pfeiffer Vacuum Portfolio ein. In diesem Fall ist die Steuerung der Vorpumpe auch direkt über die Schnittstellen der An- triebselektronik der Turbopumpe möglich (z. B.
  • Seite 30: Kühlwasseranschluss

    6. Ziehen Sie die Zylinderschrauben am Klammerverschluss gleichmäßig an. – Anziehdrehmoment: 2 Nm. 5.4 Kühlwasseranschluss Die Turbopumpen HiPace 350 sind optional wassergekühlt. WARNUNG Verbrühungsgefahr an plötzlich austretendem Kühlwasser Die Wasseranschlüsse der Turbopumpe sind zu beiden Seiten offen. Bei Anschluss der Kühlwasser- versorgung besteht Verbrühungsgefahr durch plötzlich austretendes, heißes Kühlwasser mit Über-...
  • Seite 31: Zubehör Anschließen

    Kühlwasseranschluss. 4. Verwenden Sie ggf. einen Schmutzfänger in der Vorlaufleitung. 5.5 Zubehör anschließen Installation und Betrieb von Zubehör Pfeiffer Vacuum bietet für Ihre Produkte eine Reihe von speziell abgestimmtem Zubehör ● Informationen und Bestellmöglichkeiten zu zugelassenem Zubehörportfolio für hybrid- gelagerte Turbopumpen finden Sie online.
  • Seite 32: Elektrische Versorgung Anschließen

    ► Beachten Sie die Installationshinweise in den Betriebsanleitungen des betreffenden Zubehörs. ► Achten Sie auf die vorhandene Konfiguration bestehender Anschlüsse. ► Verwenden Sie das Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät DCU 002 oder ein DCU mit integ- riertem Netzteil. 5.6 Elektrische Versorgung anschließen...
  • Seite 33: Elektrischen Anschluss Herstellen

    Installation Abb. 17: Beispiel: Anschluss des Erdungskabels Vorgehen 1. Verwenden Sie den Erdungsanschluss der Turbopumpe (M4 Innengewinde). 2. Führen Sie den Anschluss nach den lokal geltenden Bestimmungen durch. 5.6.2 Elektrischen Anschluss herstellen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Nicht spezifizierte oder nicht zugelassene Netzteile führen zu schwersten Verletzungen bis hin zum Todesfall.
  • Seite 34: Abb. 18: Verbindung Der Antriebselektronik Mit Einem Netzteil

    1. Achten Sie auf die gültige Versorgungsspannung. 2. Achten Sie darauf, dass der Hauptschalter des Netzteils vor dem Anschluss ausgeschaltet ist. 3. Verwenden Sie ein passendes Verbindungskabel aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 4. Stecken Sie das Verbindungskabel in den Anschluss "DCin" an der Antriebselektronik und schlie- ßen Sie die Bajonettverriegelung.
  • Seite 35: Betrieb

    Wichtige Einstellwerte und funktionsrelevante Kenngrößen sind als Parameter werksseitig in der An- triebselektronik der Vakuumpumpe programmiert. Jeder Parameter besitzt eine dreistellige Nummer und eine Benennung. Betrieb und Steuerung durch Parameter ist über Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengeräte oder über RS-485 extern mittels Pfeiffer Vacuum Protokoll möglich.
  • Seite 36: Betrieb Ohne Bedieneinheit

    Der Anschluss eines Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerätes ermöglicht die Steuerung der Turbo- pumpe über die in der Antriebselektronik verankerten Parameter. Hinweise für den Betrieb mit Anzeige- und Bediengerät 1. Beachten Sie für den Umgang mit dem Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bediengerät die dazugehö- rende Betriebsanleitung: – Betriebsanleitung "DCU" verfügbar im Download Center.
  • Seite 37: Turbopumpe Einschalten

    ► Schalten Sie das Netzteil ein. 6.4 Betriebsüberwachung 6.4.1 Betriebsanzeige über LED LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszustände der Vakuumpumpe an. Eine dif- ferenzierte Fehler- und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit Pfeiffer Vacuum Anzeige- und Bedien- gerät oder PC möglich. Symbol LED Status...
  • Seite 38: Temperaturüberwachung

    2. Öffnen Sie die schwarze Flutschraube an der Turbopumpe höchstens für 1 Umdrehung. 3. Warten Sie den Druckausgleich auf Atmosphärendruck im Vakuumsystem ab. 4. Schließen Sie die Flutschraube wieder. Pfeiffer Vacuum Flutventil verwenden Das Pfeiffer Vacuum Flutventil ist ein optionales Zubehör für die Installation an der Turbopumpe. 38/64...
  • Seite 39: Tab. 12: Werkseinstellungen Für Verzögertes Fluten Bei Turbopumpen

    Generelle Hinweise für schnelles Fluten Wir empfehlen das schnelle Belüften größerer Volumina in 4 Schritten durchzuführen. 1. Verwenden Sie ein Pfeiffer Vacuum Flutventil für die Turbopumpe oder stimmen Sie den Ventilqu- erschnitt auf die Größe des Rezipienten und die maximale Flutrate ab.
  • Seite 40: Wartung

    Für die Durchführung von Wartungsarbeiten der Level 2 und 3 empfehlen wir den Pfeif- fer Vacuum Service (PV). Bei Überschreiten der genannten Intervalle oder bei unsachge- mäß ausgeführten Wartungsarbeiten, entfallen jegliche Gewährleistungs- und Haftungsan- sprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine Originalersatzteile ver- wenden. Empfehlungen für die Ausführung von Wartungsmaßnahmen ►...
  • Seite 41: Betriebsmittelspeicher Austauschen

    Wartung ► Beachten Sie die Dauer der Gebrauchsfähigkeit des Betriebsmittels. ► Wenden Sie sich für Fragen zur Wartung an die zuständige Pfeiffer Vacuum Servicestelle. Tätigkeit Inspektion Wartung Wartung Wartung Benötigtes Level 1 Level 2 Level 3 Material Beschrieben in Dokument...
  • Seite 42: Betriebsmittelspeicher Demontieren

    ● Achten Sie bei der Ersatzteilbestellung auf die korrekte Zuordnung von Pumpenartikel- nummer und Betriebsmittelspeicher. ● Sie finden diese Informationen auf dem Pumpentypenschild. Sie finden das Sicherheitsdatenblatt unter Pfeiffer Vacuum Download Center. Voraussetzungen ● Turbopumpe ausgeschaltet ● Vakuumsystem auf Atmosphärendruck geflutet ●...
  • Seite 43: Betriebsmittelspeicher Montieren

    Wartung Betriebsmittelspeicher demontieren 1. Tragen Sie Laborhandschuhe um Hautkontakt zu vermeiden. 2. Stellen Sie die Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch. 3. Schrauben Sie alle Innensechskantschrauben aus dem Verschlussdeckel am Pumpenunterteil heraus. 4. Nehmen Sie den Verschlussdeckel ab. 5. Nehmen Sie den O-Ring mithilfe eines O-Ring Pickers aus der Nut. –...
  • Seite 44: Antriebselektronik Austauschen

    Wartung 7.4 Antriebselektronik austauschen HINWEIS Schäden an Turbopumpe und Antriebselektronik durch unsachgemäßes Trennen von Kompo- nenten Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Turbopumpe elektrische Energie. Bei vorzeitiger Trennung von Turbopumpe und Antriebselektronik besteht die Gefahr eines Massen- schlusses und dadurch die Zerstörung von elektronischen Bauteilen. ►...
  • Seite 45: Antriebselektronik Installieren

    Wartung Abb. 21: Demontage der Antriebselektronik TC 400 1 Innensechskantschraube Blindflansch Vorvakuumanschluss 2 Antriebselektronik Pumpenunterteil 3 Schutzdeckel Hochvakuumanschluss Vorgehen 1. Stellen Sie die Turbopumpe ggf. aufrecht. 2. Schrauben Sie alle 3 Innensechskantschrauben aus der Antriebselektronik heraus. 3. Ziehen Sie die alte Antriebselektronik gerade von der Turbopumpe ab. 7.4.2 Antriebselektronik installieren Benötigte Werkzeuge ●...
  • Seite 46: Drehzahlvorgabe Bestätigen

    4. Öffnen und editieren Sie den Parameter [P:777]. 5. Stellen Sie den Parameter [P:777] auf den erforderlichen Wert der Nenndrehzahl in Hertz ein. Alternative zum Einstellen der Bestätigung der Nenndrehzahl Austauschgeräten liegt ein Pfeiffer Vacuum SpeedConfigurator für die einmalige Sofortein- stellung des Parameters [P:777] bei. 46/64...
  • Seite 47: Außerbetriebnahme

    1. Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit. 2. Reinigen Sie die Turbopumpe außen mit fusselfreiem Tuch und wenig Isopropanol. 3. Lassen Sie die Turbopumpe ggf. durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen. 4. Beachten Sie die Gesamtlaufzeit der Turbopumpe und lassen ggf. einen Lagerwechsel durch den Pfeiffer Vacuum Service durchführen.
  • Seite 48: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 9.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...
  • Seite 49: Störungen

    Verletzungen, evtl. mit Todesfolge und großen Sachschäden. ► Befolgen Sie die Installationsanweisungen für diese Turbopumpe. ► Beachten Sie die Anforderungen an Stabilität und Auslegung des Gegenflansches. ► Verwenden Sie nur original Zubehör oder von Pfeiffer Vacuum zugelassenes Befestigungsmate- rial für die Installation. WARNUNG Verletzungsgefahr durch Abreißen der Turbopumpe mit Dämpfungskörper im Störungsfall...
  • Seite 50 ● Schalten Sie das Netzteil ein. ● Antriebselektronik de- ● Tauschen Sie die Antriebselektronik aus. fekt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. Turbopumpe läuft nicht an; ● Bei Betrieb ohne Be- ● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan grüne LED an der Antriebs- dieneinheit: Pin 1-3 der Antriebselektronik.
  • Seite 51: Tab. 15: Störungsbehebung Bei Turbopumpen

    Störungen Ungewöhnliche Betriebsge- ● Rotorlagerung ist be- ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. räusche schädigt ● Rotor ist beschädigt ● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ● Splitterschutz oder ● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter- Schutzgitter lose schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.
  • Seite 52: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 53 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.
  • Seite 54: Ersatzteile Hipace 350

    Ersatzteile HiPace 350 12 Ersatzteile HiPace 350 Abb. 23: Ersatzteile HiPace 350 Position Bezeichnung Bestellnummer Bemerkung Stück Antriebselektronik TC 400 siehe Typenschild abhängig vom Anschlusspanel Betriebsmittelspeicher siehe Typenschild inkl. Kapillarstäbe und O-Ring Tab. 16: Verfügbare Ersatzteile 54/64...
  • Seite 55: Zubehör

    Befestigung der Vakuumpumpe. Optional mit Splitterschutz oder Schutzgitter. Netzteile und Anzeigegeräte Netzteile zur optimalen Spannungsversorgung von Pfeiffer Vacuum Produkten zeichnen sich durch mi- nimale Baugröße und angepasste Leistungsversorgung bei maximaler Zuverlässigkeit aus. Anzeige- und Bediengeräte dienen der Kontrolle und Einstellung von Betriebsparametern.
  • Seite 56: Tab. 17: Zubehör

    Wasserkühlung für HiPace 60 P | HiPace 80 und für SplitFlow 50/80 mit Steckver- PM 016 623 -T schraubung, 8 mm Wasserkühlung für HiPace 350 | HiPace 400 | HiPace 450 | HiPace 700 | HiPace PM 026 068 -T 800 mit Steckverschraubung 8 mm Flutventil, geschirmt, 24 V DC, G 1/8"...
  • Seite 57: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 14 Technische Daten und Abmessungen 14.1 Allgemeines Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen. Technische Daten Angegebene Maximalwerte beziehen sich ausschließlich auf den Eintrag als Einzelbelas- tung. ● Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 ●...
  • Seite 58 Technische Daten und Abmessungen Auswahlfeld HiPace® 350 mit TC 400, HiPace® 350 mit TC DN 100 ISO-K 400, DN 100 CF-F Enddruck ohne Gasballast 1 · 10 5 · 10 Saugvermögen für Ar 270 l/s 270 l/s Saugvermögen für H 300 l/s 300 l/s Saugvermögen für He...
  • Seite 59: Tab. 21: Technische Daten Für Hipace 350 Mit Tc 400 | 24 V

    20 mT 20 mT Gewicht 7,8 kg 10,6 kg Tab. 21: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 24 V Auswahlfeld HiPace® 350 mit TC 400, HiPace® 350 mit TC DN 100 ISO-K 400, DN 100 CF-F Bestellnummer...
  • Seite 60: Kennlinien

    Zulässiges axiales Magnetfeld max. 20 mT 20 mT Gewicht 7,8 kg 10,6 kg Tab. 22: Technische Daten für HiPace 350 mit TC 400 | 48 V 14.3 Kennlinien Backing pump: HiScroll 18 1.000 1.100 1.200 Rotation speed [Hz] H [hPa l/s]...
  • Seite 61: Medienberührende Werkstoffe

    Medienberührende Werkstoffe Aluminiumlegierungen Edelstahl Seltene-Erden-Magnete Kohlefaserverstärkte Kunststoffe Epoxidharz Nickel Filz Betriebsmittel (Esteröl) Oxidkeramik, ggf. Tab. 23: Werkstoffe mit Prozessmedienkontakt 14.5 Abmessungen DN 100 ISO-K M8 (6x) DN 16 ISO-KF Abb. 25: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-K 61/64...
  • Seite 62: Abb. 26: Abmessungen Hipace 350 | Tc 400 | Dn 100 Iso-F

    DN 100 ISO-F ( 6 x ) DN 16 ISO-KF 1 2 8 Abb. 26: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 ISO-F DN 100 CF-F M8 (6x) DN 16 ISO-KF Abb. 27: Abmessungen HiPace 350 | TC 400 | DN 100 CF-F Maße in mm...
  • Seite 63: Konformitätserklärung

    DIN EN 61010-1 : 2011 DIN EN 61326-1 : 2013 DIN EN 62061 : 2013 Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Tobi- as Stoll, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Aßlar...

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