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取扱説明書
4UHV の固定
このセクションでは、主要な操作手順について説明しています。
コントローラーを使用する前に、すべての電気接続を行い、接続されたポンプの
マニュアルを参照してください。.
インターロックケーブルを備えた専用の高電圧ケーブルによってイオンポン
警告
プに接続されている場合にのみ、高電圧チャンネルをオンにします。
コントローラーは安全インターロック付きの高圧ケーブルと一緒に使用する
ことを想定しています。
図 32 アース接続
インターロックなしの HV ケーブルを使用する場合、付属品バッグには、事前に
注
組み立てられたインターロックリードの専用のキットが含まれています。ただ
し、このような使用方法では、インターロックによる安全機能が失われます。
136
4UHV
ライン
ケーブル
Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual
ポンプ
ポンプ場
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