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Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller Betriebsanleitung

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Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller
User Manual

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Verwandte Anleitungen für Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller

Inhaltszusammenfassung für Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller

  • Seite 1 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 2 FAR 12.211 (Technical Data) and 12.212 (Computer Software) and, for the Department of Defense, DFARS 252.227-7015 (Technical Data - Commercial Items) and DFARS 227.7202-3 (Rights in Commercial Computer Software or Computer Software Documentation). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Fissaggio del TwisTorr 305 FS Remote Controller Comandi, Indicatori e Connettori Descrizione pannello frontale Avvio e funzionamento del Controller TwisTorr 305 FS Remote Accensione del Controller Avvio della Pompa Arresto della Pompa Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 4 Vorbereitung zum Einbau Set-up Montage von TwisTorr 305 FS Remote Controller Steuerungen, Anzeigen und Verbinder des Controllers Fronttafel der Controller Inbetriebnahme und Betrieb des Controller TwisTorr 305 FS Remote Einschalten des Controllers Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 5 Équipements de protection individuelle Consignes de sécurité relatives aux contrôleurs de pompes turbomoléculaires Transport et Emmagasinage Description du produit Installation Préparation pour l’installation Set-up Montage du Contrôleur TwisTorr 305 FS Remote Commandes, Indicateurs et Connecteurs Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 6 Símbolos de advertencia Seguridad Uso correcto Uso incorrecto Equipo de protección Pautas de seguridad para Controler de bombas turbomoleculares Transporte y almacenamiento Descripción del producto Instalación Preparación para instalación Puesta en marcha Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 7 Puesta en marcha de la Bomba Parada de la Bomba Arranque suave (Soft Start) Mensajes de error Mantenimiento Eliminación Servicio 使用说明 关于本手册 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护装备 涡轮分子泵控制器安全指南 运输及存储 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 8 TwisTorr 305 FS 遥控器安装 Controls, Indicators and Connectors Front Panel Description TwisTorr 305 FS Remote Controller 的启动和运行 控制器启动 启动泵 Pump Shutdown 停止泵 慢启动 错误消息 维护 处置 服务 取扱説明書 この説明書について 有効期 定義と用語 警告・注意・注の定義 警告の記号 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 9 Contents 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護装具 运输及存储 概要情報 取り付け 取り付けの準備 取り付け TwisTorr 305 FS リモートコントローラー取り付け金具 コントロール、指示器、コネクター フロントパネル説明 TwisTorr 305 FS Remote Controller コンパクトの起動と操作 コントローラーの起動 ポンプの開始 ポンプの停止 Pump Shutdown ソフトスタート エラーメッセージ メンテナンス 処分 サービス Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 10 Product description Installation Preparation for installation Set-up TwisTorr 305 FS Remote Controller Mounting Controls, Indicators and Connectors Front Panel Description Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Remote Controller Controller Startup Starting the Pump Pump Shutdown Soft Start Troubleshooting Maintenance...
  • Seite 11 Contents Disposal Service Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Remote Controller Technical specification Controller Outline Controller Connection J6 – Fan J7 – Vent P1 – Input J1 – Output Pump Connector J5 – Gauge Connector J2 – Serial Connector R1 –...
  • Seite 12 Setpoint R1 and Setpoint R2 Submenus Gauge Menu Serial Menu How to Use by Remote I/0 How to Use in Serial Mode Profibus Option General Installation Configuration Software Operation and State Machine Message Mapping Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 13 Contents Parameter Buffer Output Buffer Input Buffer Diagnostic Management Diagnostic Buffer Error Messages Accessories and Spare Parts Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 14 Contents Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 15: Istruzioni Per L'uso

    Comandi, Indicatori e Connettori Descrizione pannello frontale Avvio e funzionamento del Controller TwisTorr 305 FS Remote Accensione del Controller Avvio della Pompa Arresto della Pompa Soft Start Messaggi di errore Manutenzione Smaltimento Servizio Post Vendita Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 16: Informazioni Su Questo Manuale

    Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che NOTA utilizza il TwisTorr 305 FS Remote Controller possa utilizzarla in sicurezza e garantire la perfetta efficienza, per tutta la sua durata. Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate, in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di manutenzione.

  • Seite 17: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 18: Simboli Di Avvertenza

    Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi del TwisTorr 305 FS Remote Controller. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono...
  • Seite 19 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Pericolo generico Presenza di tensioni pericolose Certificazione CE Certificazione CSA Certificazione RoHS China Waste Electrical and Electronic Equipment UK CA Marking Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 20: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni al prodotto o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Seite 21: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio del TwisTorr 305 FS Remote Controller. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione del dispositivo con materiale di montaggio non specificato ...

  • Seite 22: Attrezzatura Di Protezione

    Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale AVVERTENZA operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 23: Trasporto & Immagazzinamento

    Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. L’Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.

  • Seite 24: Installazione

    Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 94/62 e successive modifiche. Figura 1 Imballo dei controller TwisTorr 305 FS Remote Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 25: Set-Up

    +5 °C to +45 °C  umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).  Per gli altri collegamenti e I'installazione degli accessori opzionali, vedere la sezione "Technical Information". Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 26: Fissaggio Del Twistorr 305 Fs Remote Controller

    (ad esempio, agendo sul pannello frontale), senza dover implementare altre connessioni esterne cablate come Serial Com o Remote I/O. La pompa forepump e la pompa Twistorr 305 FS possono essere attivate contemporaneamente. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 27: Comandi, Indicatori E Connettori

    Se la pompa si è fermata automaticamente a causa di un guasto, occorre premere questo pulsante una prima volta per eseguire il reset del controller ed una seconda volta per riavviare la pompa. Display alfanumerico a cristalli liquidi: matrice di punti, 2 linee x 16 caratteri. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 28 Modulo di ingresso alimentazione controller che comprende i fusibili, la presa di alimentazione ed il filtro ENC. Switch a rotazione per impostare l’indirizzo del Profibus. Profibus (opzionale). Connettore seriale per controllo da remoto. Pompa. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 29: Avvio E Funzionamento Del Controller Twistorr 305 Fs Remote

    Per avviare la pompa occorre abilitare l’ingresso di interlock e premere il pulsante START del pannello frontale. Arresto della Pompa Per arrestare la pompa occorre premere il pulsante STOP del pannello frontale. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 30: Soft Start

    (ad esempio il controller si spegne per mancanza rete o viene inviato un messaggio di STOP al controller), al successivo riavvio il controller riattiverà la rampa di Soft Start in modo automatico. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 31 Indicazioni display ad inizio Soft Start: il display indica STARTING e visualizza l’indicatore a barre; in modo alternato viene anche visualizzato il messaggio “SOFT START MODE”. Indicazioni display con Soft Start in progress: indicatore a barre evolve all’aumentare dei passi di velocità. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 32 Dopo un lungo periodo di inattività (60 giorni o più), al fine di consentire NOTA nuovamente la corretta ridistribuzione del grasso presente nei cuscinetti, è necessario riavviare la pompa tramite la modalità Soft Start. Informazioni dettagliate sono fornite nella sezione “Technical Information”. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 33: Messaggi Di Errore

    La corrente assorbita dalla pompa è Verificare che il rotore della pompa abbia la possibilità di ruotare liberamente. Premere maggiore di quella programmata. due volte il pulsante START per riavviare la pompa. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 34 Agilent per la manutenzione. RUN UP TIME Tempo di Run Up scaduto. Verificare la corretta impostazione del tempo di Run Up in funzione dell’applicazione Verificare il carico di gas applicato alla pompa. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 35: Manutenzione

    I controller della serie TwisTorr 305 FS Remote non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del "Agilent advanced exchange service", che permette di ottenere un controller rigenerato in sostituzione di quello guasto.

  • Seite 36: Smaltimento

    Figura 4 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 37: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 38: Betriebsanleitung

    Montage von TwisTorr 305 FS Remote Controller Steuerungen, Anzeigen und Verbinder des Controllers Fronttafel der Controller Inbetriebnahme und Betrieb des Controller TwisTorr 305 FS Remote Einschalten des Controllers Pumpenstart Pumpenstopp Sanftanlauf (Soft Start) Fehlermeldungen Wartung Entsorgung Service Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 39: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der TwisTorr 305 FS Remote Controller mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.

  • Seite 40: Definitionen Und Terminologie

    Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 41: Warnsymbole

    Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305 FS Remote Controller angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen...
  • Seite 42 Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Allgemeine Gefahr Allgemeine Gefahr CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte UK CA-Kennzeichnung Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 43: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Seite 44: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305 FS Remote Controller ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Montage des Geräts unter Verwendung von nicht vorgesehenem ...

  • Seite 45: Schutzausrüstung

    Zur Vermeidung des Risikos einer Beschädigung interner Komponenten dürfen die in dieser Bedienungsanleitung beschriebenen Turbomolekularpumpen-Steuergeräte nicht vom Benutzer geöffnet werden. Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden, WARNUNG sind die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen unbedingt zu beachten! Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 46: Transport Und Lagerung

    Vent Valve Treiber  Auslesen der Pumpgeschwindigkeit nach Stoppbefehl  (Lesen der Stoppgeschwindigkeit) Druckanzeige bei angeschlossenem FRG-Druckmessgerät  Profibus-Schnittstelle (Option)  automatische Einstellung der Eingangsspannung  Detaillierte Informationen entnehmen Sie dem Abschnitt "Technical Information". Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 47: Installation

    Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit der Controller nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 94/62 für Umweltschutz Abbildung 5 Verpackung der Controller Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 48: Set-Up

    Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Temperatur: von +5 °C bis +45 °C  Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend).  Weitere Anschlüsse und Installation von optionalem Zubehör finden Sie im Abschnitt "Technical Information". Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 49: Montage Von Twistorr 305 Fs Remote Controller

    Regler zu bedienen (z. B. durch Betätigung der Fronttafel), ohne dass dazu andere verdrahtete externe Verbindungen wie Serial Com oder Remote I/O benötigt werden. Die Vorpumpe und die TwisTorr 305 FS Pumpe können gleichzeitig eingeschaltet werden. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 50: Steuerungen, Anzeigen Und Verbinder Des Controllers

    Drücken wird die Startphase aktiviert. Bei nochmaligem Drücken stoppt die Pumpe. Bei automatischem Pumpenstopp durch Störung muß diese Taste ein erstes Mal zur Controller-Rücksetzung und dann ein zweites Mal zum Neustarten der Pumpe gedrückt werden. Alphanumerisches Flüssigkristall-Display: Punkt-matrix, 2 Zeilen mit 16 Stellen. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 51 Stromausgangsstecker (24 V= für Pumpenkühlventilator, Vent Valve und Messinstrument). Netzeingangsmodul des Controllers bestehend aus Netzsicherungen, Netzstecker und EMC Filter. Drehschalter zum Setzen der Profibus Adresse. Profibus (Option). Serieller Stecker zur Fernsteuerung. Pumpenstecker. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 52: Inbetriebnahme Und Betrieb Des Controller Twistorr 305 Fs Remote

    Pumpenstart Zum Starten der Pumpe den Verrieglungseingang bestätigen und die START Taste of der vorderen Konsole des Controllers drücken. Pumpenstopp Zum Stoppen der Pumpe muß die STOP-Taste an der Fronttafel gedrückt werden. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 53: Sanftanlauf (Soft Start)

    (wenn das Steuergerät beispielsweise aufgrund eines Stromausfalls abgeschaltet oder eine STOP-Meldung an das Steuergerät gesendet wird), wird die Anlaufphase „Soft Start“ beim nächsten Neustart des Steuergeräts automatisch wieder aktiviert. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 54 Displayanzeigen zu Softstart-Beginn: Auf dem Display erscheint STARTING sowie die Balkenanzeige; zusätzlich erscheint im Wechsel die Meldung “SOFT START MODE“. Displayanzeigen bei laufendem Soft Start: Die Balkenanzeige verändert sich mit zunehmenden Drehzahlstufen weiter. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 55 Nach längerer Inaktivität (60 Tage oder länger) muss die Pumpe über den Softstart- HINWEIS Modus erneut gestartet werden, damit das in den Lagern vorhandene Fett wieder richtig verteilt wird Detaillierte Informationen finden Sie im Abschnitt "Technical Information". Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 56: Fehlermeldungen

    Die Temperatur des Kontrollerkühlkörpers ist über 60 °C. TOO HIGH L0AD Die Pumpen ist stromaufnahme größer als Sicherstellen, daß der Pumpenrotor ungehindert drehen kann. Die Pumpe durch die vorgesehene. zweimalige Betätigung der START-Taste neustarten. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 57 Meldung wieder sollte der Agilent- Wartungs-dienst gerufen werden. RUN UP TIME Anlaufzeitüberschreitung. Prüfen Sie die Einrichtung der Anlaufzeit. Sie muss entsprechend dem Kundenprozess angepasst werden. Prüfen Sie die Menge der Gaslast, die in der Pumpe fließt. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 58: Wartung

    Die Controller der Serie TwisTorr 305 FS Remote sind wartungsfrei. Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. Bei einem Defekt kann der Agilent-Reparaturdienst bzw. der "Agilent advanced exchange service" in Anspruch genommen werden, der für die Erneuerung defekter Controller sorgt.

  • Seite 59: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 8 Logo „WEEE“ Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 60: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 61: Mode D'emploi

    Description du Tableau avant Démarrage et utilisation du Contrôleur TwisTorr 305 FS Remote Allumage du Contrôleur Mise en marche de la Pompe Arrêt de la Pompe Démarrage progressif Messages d'erreur Entretien Élimination Service Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 62: À Propos De Ce Manuel

    Ce manuel contient des informations utiles pour que l’ensemble du personnel NOTE puisse utiliser le TwisTorr 305 FS Remote Controller en toute sécurité et pour garantir un fonctionnement parfait pendant toute sa durée de vie. Veuillez conserver ce manuel et tous les documents connexes dans un lieu accessible connu de tous les opérateurs et du personnel de maintenance.

  • Seite 63: Définitions Et Terminologie

    Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 64: Symboles D'avertissement

    Mode d’emploi Symboles d'avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TwisTorr 305 FS Remote Controller. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à...
  • Seite 65 étiquette d’avertissement. Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Danger générique Tensions dangereuse Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Marquage UK CA Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 66: Sécurité

    être adoptées pour garantir un fonctionnement régulier. Agilent Technologies ne fournit aucune garantie ou n’assume aucune responsabilité pour des applications autres que celles décrites dans le présent manuel ou dans lesquelles les exigences...

  • Seite 67: Utilisation Inappropriée

    Mode d’emploi Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée de le TwisTorr 305 FS Remote Controller. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de l’appareil à...

  • Seite 68: Équipements De Protection Individuelle

    être ouverts par l’utilisateur afin d’éviter les risques d’endommager les composants internes. Pour éviter d’endommager les équipements et prévenir les risques de AVERTISSEMENT blessure des opérateurs, respectez rigoureusement les instructions d’installation fournies dans le présent manuel. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 69: Transport Et Emmagasinage

    Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent, avant l'utilisation de l'appareil. Agilent décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé,...

  • Seite 70: Installation

    Ne pas jeter les matériaux d’emballage sans autorisation. Le matériel est recyclable à 100 % et est conforme à la directive 94/62 de la CEE et aux modifications ultérieures. Figure 9 Emballage des Contrôleurs TwisTorr 305 FS Remote Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 71: Set-Up

    +5 °C à +45 °C  humidité relative: de 0 % à 95 % (non condensante).  Pour les autres connexions et pour l'installation des accessoires en option, voir la section "Technical Information". Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 72: Montage Du Contrôleur Twistorr 305 Fs Remote

    œuvre d'autres connexions externes câblées comme Serial Com ou Remote I/O. La pompe à pré-vide et la pompe TwisTorr 305 FS peuvent être mises en marche simultanément Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 73: Commandes, Indicateurs Et Connecteurs

    à cause d'une panne, il faut presser cet interrupteur une première fois pour effectuer la mise à zéro du contrôleur et une deuxième fois pour remettre la pompe en marche. Ecran alphanumérique à cristaux liquides: matrice de points, 2 lignes x 16 caractères. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 74 Module d’entrée alimentation contrôleur qui comprend les fusibles, la prise d’alimentation et le filtre ENC. Interrupteur à rotation pour établir l’adresse du Profibus. Profibus (facultatif). Connecteur sériel pour contrôle à distance. Connecteur pompe. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 75: Démarrage Et Utilisation Du Contrôleur Twistorr 305 Fs Remote

    Pour faire démarrer la pompe il faut habiliter l’entrée de interlock et appuyer sur la touche START du panneau avant. Arrêt de la Pompe Pour arrêter la pompe, presser l'interrupteur STOP du tableau frontal. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 76: Démarrage Progressif

    (par exemple le contrôleur s’arrête suite à une défaillance du réseau ou un message STOP est envoyé au contrôleur), le contrôleur réactivera automatiquement la rampe de démarrage progressif lors du prochain redémarrage. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 77 STARTING avec l’indicateur à barres et le message « SOFT START MODE ». Écran d’indication quand Soft Start est en cours : l’indicateur à barres évolue au fur et à mesure que les paliers de vitesse augmentent. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 78 Démarrage progressif. Des informations détaillées sont fournies dans la section “Technical Information”. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 79: Messages D'erreur

    Le courant absorbé par la pompe est plus S'assurer que le rotor de la pompe a la grand que celui qui a été programmé. possibilité de tourner librement. Presser deux fois l'interrupteur START pour remettre la pompe en marche. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 80 Interruption du démarrage. Vérifiez la configuration du temps de démarrage. Elle doit être ajustée en fonction du processus du client. Vérifiez la quantité de charge de gaz qui s’écoule à l’intérieur de la pompe. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 81: Entretien

    Les contrôleurs de la série TwisTorr 305 FS Remote n'exigent aucun entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel agréé. En cas de panne, il est possible de s'adresser au Service de réparation Agilent ou bien au "Agilent advance exchange service" qui permet d'obtenir un contrôleur régénéré...

  • Seite 82: Élimination

    Figure 12 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 83: Service

    à: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 84: Instrucciones De Uso

    Puesta en marcha y funcionamiento del TwisTorr 305 FS Remote Controller Encendido del controler Puesta en marcha de la Bomba Parada de la Bomba Arranque suave (Soft Start) Mensajes de error Mantenimiento Eliminación Servicio Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 85: Acerca Del Manual

    Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba TwisTorr 305 FS Remote Controller, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.

  • Seite 86: Definiciones Y Terminología

    Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 87: Símbolos De Advertencia

    Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba TwisTorr 305 FS Remote Controller. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
  • Seite 88 Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Peligro genérico Voltajes peligrosos Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Marca UK CA Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 89: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños al producto o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.

  • Seite 90: Uso Incorrecto

    Instrucciones de uso Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto del TwisTorr 305 FS Remote Controller. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación del dispositivo con material de montaje no especificado ...

  • Seite 91: Equipo De Protección

    Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo, se ADVERTENCIA deben cumplir estrictamente las instrucciones de instalación indicadas en este manual. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 92: Transporte Y Almacenamiento

    Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El usuario deberá leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de utilizar el equipo. Agilent se considera libre de cualquier responsabilidad debida al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso poco apropiado por parte de personal sin formación, a las...

  • Seite 93: Instalación

    No tire los materiales de embalaje de manera no autorizada. El material es 100% reciclable y cumple con la Directiva EEC 94/62 y modificaciones posteriores. Figura 13 Embalaje de los TwisTorr 305 FS Remote Controller Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 94: Puesta En Marcha

    120 Vac para una longitud de cable de referencia de 3 m. El TwisTorr 305 FS Remote Controller puede instalarse en una mesa o dentro de NOTA un rack específico. En cualquier caso, es necesario que el aire de refrigeración pueda circular libremente alrededor del aparato.

  • Seite 95: Montaje Del Twistorr 305 Fs Remote Controller

    (por ejemplo, actuando en el panel frontal), sin tener la necesidad de implementar otras conexiones externas cableadas como Serial Com o Remote I/O. La bomba pre-vacío y la bomba TwisTorr 305 FS pueden encenderse simultáneamente. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 96: Mandos, Indicadores Y Conectores

    Para más detalles consultar la sección “Technical Information”. Descripción del panel frontale Figura 14 Panel frontal del TwisTorr 305 FS Remote Controller Pulsador para que aparezcan en el display los parámetros cycle number, cycle time y pump life. Pulsador para la selección del modo LOW SPEED. Está activado sólo cuando está seleccionado el modo de mando del panel frontal.
  • Seite 97 Instrucciones de uso Figura 15 Panel trasero del TwisTorr 305 FS Remote Controller Conector de entrada de las señales lógicas (el conector de acoplamiento se suministra con el conector puente específico de cierre). Conector señales lógicas en salida y monitoreo frecuencia bomba y salida analógica programable.

  • Seite 98: Puesta En Marcha Y Funcionamiento Del Twistorr 305 Fs Remote Controller

    Para activar la bomba es necesario habilitar la entrada de interlock y pulsar el botón START situado en el panel frontal. Parada de la Bomba Para detener la bomba hay que apretar el pulsador STOP del panel frontal. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 99: Arranque Suave (Soft Start)

    STOP), en el siguiente reinicio el controlador reactivará la rampa de Soft Start de forma automática. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 100 “SOFT START MODE”. Indicaciones de visualización con Soft Start en curso: el indicador de barra evoluciona a medida que Aumentan los pasos de velocidad. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 101 Para informaciónes detalladas, consulte la sección “Technical Information”. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 102: Mensajes De Error

    La corriente absorbida por la bomba es Comprobar que el rotor de la bomba tiene superior a la programada. la posibilidad de girar libremente. Apretar dos veces el pulsador START para volver a poner en marcha la bomba. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 103 RUN UP TIME Tiempo de arranque agotado. Controlar la configuración del tiempo de arranque. Debe ajustarse según el proceso del cliente. Comprobar la cantidad de carga de gas que fluye dentro de la bomba. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 104: Mantenimiento

    Los controlers de la serie TwisTorr 305 FS Remote no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier operación ha de ser efectuada por personal autorizado. En caso de avería es posible utilizar el servicio de reparación Agilent o del “Agilent advance exchange service”, que permite obtener un controler regenerado en vez del averiado.

  • Seite 105: Eliminación

    Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 16 Logotipo “WEEE” Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 106: Servicio

    Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 107: 使用说明

    运输及存储 般信息 安装 安装准备 设置 TwisTorr 305 FS 遥控器安装 Controls, Indicators and Connectors Front Panel Description TwisTorr 305 FS Remote Controller 的启动和运行 控制器启动 启动泵 Pump Shutdown 停止泵 慢启动 错误消息 维护 处置 服务 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 108: 关于本手册

    使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 TwisTorr 305 FS Remote Controller用户说明，特别注意与安全、操作 和一级维护有关的注意事项，受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 有关正确的安装和启动/停止，请参阅"安装"章节。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 TwisTorr 305 FS Remote Controller 的人 员可以安全操作，在设备整个寿命期内发挥完美效率。 注意 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 109: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 110: 警告符号

    使用说明 警告符号 以下是在 TwisTorr 305 FS Remote Controller 上与警告一起显示的符号列表。还显 示了这些符号所指的危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下： 表示危险电压 一般危险 欧洲符合性声明 CSA 认证 废弃电气和电子设备t 生产现场 RoHS中国认证 UK CA 打標 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 111 使用说明 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维 修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。. 一般危险 表示危险电压 CE认证 CSA 认证 RoHS中国认证 废弃电气和电子设备 UK CA 打標 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 112: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2015/14/30 EC 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规 以及机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 113: 使用不当

    使用说明 使用不当 对于因不正确使用 TwisTorr 305 FS Remote Controller 而造成的任何后果，安捷伦 科技公司 (Agilent Technologies)不承担任何责任。 使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效。 使用不当的定义为： 使用未指定的安装材料安装设备  在冷凝环境中操作  在规定范围外的高湿环境中操作  在多尘环境中操作  在线路电压超出规格的情况下操作  在电离辐射区域内操作设备  在潜在爆炸区域内操作  在类冲击应力和振动或周期性力影响设备的系统中使用设备。  Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 114: 防护装备

    使用说明 防护装备 由于此设备无需维护，因此不需要任何其他保护设备。 坠落物体造成伤害的风险 警告 手动运输真空控制器时，存在负载滑落和坠落的危险。 • 双手携带控制器。 涡轮分子泵控制器安全指南 用户不应打开以下操作手册中所述的涡轮分子泵控制器，以避免可能损坏内部组件的风险。 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说 警告 明！ Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 115: 运输及存储

    相对湿度： 0 ÷ 95% （无冷凝).  般信息 本设备供专业人员使用。在操作设备之前，用户应阅读本说明书和安捷伦提供的任 何其他信息。安捷伦对因不遵守这些指示、未经培训的人员不当使用、未经授权干 扰设备或任何违反特定国家标准规定的行为而发生的任何事件概不负责。 TwisTorr 305 FS 遥控器是微处理器控制的固态变频器，具有自诊断和自我保护功 能。 控制器功能：  前部/远程/串行操作  24Vdc 泵风扇冷却驱动器  通风阀驱动  停止后泵速度读数（停止速度读数）  如果连接了 FRG 仪表，则会进行压力读数  输入电压自动设置。  Profibus接口（可选）  要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 116: 安装准备

    使用说明 安装 安装准备 控制器具有特殊的保护性包装。 如果这个包装在运输过程中出现损坏的迹象，请联 系当地的销售办事处。 打开控制器包装时，请确保不要摔落控制器或使其受到任何 形式的撞击。 请勿以未经授权的方式处置包装材料。请勿以未经授权的方式处理包 装材料。该材料是100%可回收的，符合EEC指令94/62号和随后颁布的修正案。 图 17 TwisTorr 305 FS Remote Controller 包装 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 117 对于等于 3 m 的参考电缆长度，在 240 Vac 电源电压的情况下，导线截面必 须至少为 1.0 mm 或在 120 Vac 电源电压的情况下至少为 2 mm 。 TwisTorr 305 FS 遥控器可以用作台式装置或机架模块，但必须放置在适当的位 注意 置，以使自由的空气可以流过孔。请勿在暴露于大气物质（雨、雪、冰）、灰 尘、腐蚀性气体或爆炸性环境或高火灾风险的环境中安装或使用控制器。 在操作过程中，必须遵守以下环境条件： 温度：从+5°C至+45°C;  相对湿度： 0 - 95 % （无冷凝）。  有关上述和其他连接的详细信息以及安装选项的详细信息，请参阅附录“Technical Information” 。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 118: Twistorr 305 Fs 遥控器安装

    本段描述了基本的操作程序。 附录 "Technical Information" 的“使用”段落中提供 了涉及可选连接或选件的详细信息和操作过程。 在操作TwisTor 305 FS 遥控器之前，请进行所有真空歧管和电气连接，并参考 TwisTorr 305 FS 泵说明书。 为避免人员受伤和设备损坏，如果泵放在桌子上，请确保其保持稳定。如果 警告 泵入口未连接至系统或堵死，则切勿操作 TwisTorr 305 FS 泵。 连接到线路电压后，要以非常简单的方式操作控制器，请在 J1 连接器上连接与控 注意 制器一起提供的预接线配对连接器。 预接线的配对连接器是一种允许控制器操作（例如，在前面板上操作）的简单快 捷的方法，而无需实施其他有线外部连接，如串行通信或远程输入/输出。 前置泵和 TwisTorr 305 FS 泵可以同时开启。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 119: Controls, Indicators And Connectors

    则 必 须 按 下 此 按 钮 一 次 以 重 置 控 制 器 ， 而 后 再 次 按 下 按 钮 以 重 新 启 动 泵 。 LCD 背光字母数字显示：点阵 2 行 x16 个字符。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 120 使用说明 图 19 控制器 TwisTor 305 FS 远程后面板 逻辑输入信号连接器（连接链路提供的配对连接器）。 逻辑输出信号连接器和泵频率监视器加上可编程模拟输出。 功率输出连接器（24 Vdc 用于泵冷却风扇、排气阀和仪表）。 控制器电源输入模块由电源保险丝、电源插座和 EMC 滤波器组成。 用于 Profibus 地址设置的旋转开关。 Profibus（可选）。 远程控制串行连接器。 泵电缆（5 米长）。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 121: Twistorr 305 Fs Remote Controller 的启动和运行

    使用说明 TwisTorr 305 FS Remote Controller 的启动和运行 控制器启动 如要启动控制器，请将电源线与合适的电源连接。 启动泵 如要启动泵，请确认互锁输入，然后按控制器前面板上的"开始"按钮。 Pump Shutdown 停止泵 如要关闭泵，请按控制器前面板上的 “停止” 按钮。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 122: 慢启动

    入）进行操作，就如“技术信息”一章中所述（参考“窗口含义”段落 - 对于串 行 - 以及“控制器连接”段落，P1——输入——分别远程输入）) 。 注意 当软启动模式处于活动状态时（首次启动时由控制器自动启动和用户手动启动）， 控制器会在显示屏上给出指示: 软启动模式”消息 • • 个随着速度步长的变化而变化的条形指示器。 条形指示器会显示在显示屏的右上角（参考箭头 A），此外还有其他已存在的消息 也一样。 “软启动模式”的信息与其他信息（参考箭头 B）会交替显示在显示屏上，并持续 显示约 3 秒钟。 当控制器显示屏不再显示条形指示器或"启动中 (STARTING)"的 消息与”软启动模 式”的消息交替显示，而当仅显示“正常”的消息时，则软启动（SOFT START） 已成功完成。 在自动软启动（第一次启动）期间，如果这在完成之前被中断（例如控制器由于网 络故障而关闭或向控制器发送“停止 (STOP) 的 消息），则在下一次重启时，控制 器将自动重新激活软启动斜坡。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 123 使用说明 在软启动期间（无论是自动还是用户设置），直到完成，特定串行窗口（参见“技 术信息”一章-窗口含义）指示的状态为“2”，表示“斜坡”。软启动完成后，如 果成功执行，则特定串行窗口指示的状态为“5”，表示“正常”。 软启动开始时的显示屏指示：显示器交替地通过条形指示器和“软启动模式”的消 息来指示正在启动。 正在进行软启动时显示屏指示：条形指示器随着速度步长的增加而变化。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 124 使用说明 软启动完成时的显示屏指示：”软启动模式“的消息不再出现在显示器上，条形指 示器也一样，”启动中“的消息被“正常”消息取代。 长时间不活动（60 天或更长时间）后，为了再次正确重新分配轴承中的润滑脂， 注意 有必要通过慢启动模式再次启动泵。 "Technical Information" 部分提供了详细信息。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 125: 错误消息

    的引脚 3 和 8 之间的链接来激活的，或者是 路，或关闭外部互锁信号。 因为外部互锁信号已打开。 PUMP OVERTEMP. 泵体的温度已超过允许的最大上限，具体取 等待温度降至阈值以下。按下"开始"按钮两 决于所选气体的类型（Ar：50°C;N2： 次以启动泵。 55°C;He： 60°C） CONTROLLER OVERTEMP. 控制器环境温度超过 70°C。 等待温度降至阈值以下。按下"开始"按钮两 次以启动泵。 或 控制器的散热器温度高于 60°C。 泵抽取的电流高于编程电流。 TOO HIGH L0AD 检查泵转子是否可自由旋转。按下"开始"按 钮两次以启动泵。 SHORT CIRCUIT 检查泵和控制器之间的连接和短路。 按下 启动阶段后，输出连接短路。 “开始”按钮两次以启动泵。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 126 使用说明 表 5 错误消息 SYSTEM OVERRIDE 通过远程触点提供的紧急停止信号来停止 拆下控制器电源线并检查紧急情况。然后重 泵。 新连接电源线，然后按“开始”按钮两次以 启动泵。 OVERVOLTAGE 控制器电源电路有故障，或控制器收到尖峰 按下"开始"按钮两次以启动泵。如果消息仍 信号。 然存在，请致电安捷伦服务。 RUN UP TIME 检查运行时间的设置。 必须根据客户流程 超时 对其进行调整。 检查泵内流动的气体负荷 量 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 127 使用说明 维护 TwisTorr 305 FS 远程系列控制器不需要任何维护。在控制器上执行的任何工作必 须由授权人员执行。 发生故障时，可以使用安捷伦维修服务。通过安捷伦提前更换控制器。 警告 在对控制器执行任何工作之前，请断开控制器与电源的连接。 控制器报废时，必须按照国家具体标准进行处理。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 128 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 20 “WEEE”徽标 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 129 使用说明 服务 如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 130: 取扱説明書

    警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護装具 运输及存储 概要情報 取り付け 取り付けの準備 取り付け TwisTorr 305 FS リモートコントローラー取り付け金具 コントロール、指示器、コネクター フロントパネル説明 TwisTorr 305 FS Remote Controller コンパクトの起動と操作 コントローラーの起動 ポンプの開始 ポンプの停止 Pump Shutdown ソフトスタート エラーメッセージ メンテナンス 処分 サービス Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 131: この説明書について

    取扱説明書 この説明書について 有効期 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、TwisTorr 305 FS Remote Controller の使用方法をユーザーに説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取り付けと起動/停止については、「取り付け」の章をご確認ください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを 参照してください。 本説明書には、 TwisTorr 305 FS Remote Controller を使用する人員がすべて安全に使用で 注 き、また機器使用寿命中に効率よく使用できるのに、役立つ情報が記載され ています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナン ス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 132: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能 注意 性を示しています。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害 警告 につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示 しています。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を 注 提供しています。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 133: 警告の記号

    取扱説明書 警告の記号 下記は、TwisTorr 305 FS Remote Controller上の警告と併せて表示される記号のリ ストです。危険性の説明も記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示さ れうる記号の意味は下記の通りです： 危険な電圧 包括的な危険 CE適合宣言書 廃電気・電子製品に関 CSA 認証 製造所 するEU WEEE指令 中国RoHS 指令認証 UK CAマーキング Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 134 取扱説明書 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがありま す。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のため に、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。. 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。. 包括的な危険 危険な電圧 CE認証 CSA 認証 EU RoHS指令認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 UK CAマーキング Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 135: 安全性

    取扱説明書 安全性 このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と 監督に必須である機械指令（Machinery Directive 2015/14/30 EC）の情報を含み ます。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に 予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能 性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不 順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・ 損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告 と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用 に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件 に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。 アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以 外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる 保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じること ができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる 付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認さ れたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家 の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければな りません。。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 136: 不適切な使用

    取扱説明書 不適切な使用 アジレント・テクノロジー株式会社は、TwisTorr 305 FS Remote Controllerの不適切な使用により派生した全ての責任を拒否します。 不適切な使用は、責任と保証への全ての請求権が喪失します。不適切 な使用は下記の通り定義されます： 指定されていない取り付け器具を使用した装置の設置  凝縮環境での操作  指定範囲外の高湿度環境での操作  ほこりの多い環境での操作  仕様外の線間電圧での操作  電離放射線がある場所での装置の操作  爆発の可能性がある場所での操作  衝撃のような圧力や振動、または断続的な力がデバイスに影響を与えるシス  テム下での装置の使用。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 137: 保護装具

    取扱説明書 保護装具 この装置にはメンテナンスは想定されていないため、他の保護装具は必要ありま せん。 落下物による怪我の危険性 警告 真空コントローラーを手で運ぶ際に、荷物が滑って落下する危険性があり ます 。 • コントローラーは両手で持ち運んでください。 ターボ分子ポンプ コントローラーの安全ガイドライン 以下の操作マニュアルに記載されているとおり、ターボ分子ポンプコントローラ ーは、内部コンポーネントが損傷するリスクを回避するために、使用者は開けな いでください。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された 警告 取り付けの指示に厳密に従ってください！ Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 138: 运输及存储

    TwisTorr 305 FS リモートコントローラーは、マイクロ・プロセッサーにより制御 され、ソリッドステートの自己診断機能と自己防護機能がついた周波数変換器 で す。 コントローラーの特徴： フロント / リモート / 直列操作  24Vdc ポンプ用ファン冷却ドライブ  通気弁ドライブ  停止コマンド後のポンプ速度の計測 （停止速度の計測）  FRGゲージが接続されている場合の圧力測定値。  入力電力の自動設定  Profibus インターフェース（オプション）  詳細情報は "Technical Information" セクションに記載されています。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 139: 取り付け

    取扱説明書 取り付け 取り付けの準備 コントローラーは、特殊な保護梱包で提供されます。もしこの梱包に移送の間に 生じた可能性のある破損が見受けられる場合、現地販売事務所に問い合わせてく ださい。コントローラーの梱包を開ける際には、落とさない、またはいかなる形 での衝撃を与えないようにしてください。不適切な方法で梱包材料を破棄しない でください。EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。 图 21 TwisTorr 305 FS Remote Controller の梱包 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 140: 取り付け

    以上、120Vac の供給電圧の場合は 2 mm ある必 要があります。 TwisTorr 305 FS リモートコントローラーは、ベンチユニットまたはラックモジ 注 ュールとして使用できますが、穴を通して自由に通気が取れるように所定の位 置に設置されなければいけません。大気物質（雨、氷、雪）、ちり・ホコリ、 侵略的ガスなどが露出する環境、または爆発の可能性がある環境、または燃え やすい環境下では、取り付けまたは使用しないでください。 操作中、下記の環境状況は遵守されなければいけません： 温度： +5 °C から+45 °Cまで;  相対湿度： 0 – 95 % （結露なし）  上記およびその他の接続、およびオプションのインストールに関する詳細情報に ついては、“Technical Information” のセクションを参照してください。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 141: Twistorr 305 Fs リモートコントローラー取り付け金具

    この段落では、基本的な操作手順について説明します。 オプションのアクセサリの取り付けについては、"Technical Information" を参照し てください。 コントローラを使用する前に、すべての電気および空気圧の接続を行い、 TwisTorr 305FSポンプの取扱説明書を参照してください。 人体への損傷や装置への損害を避けるために、もしポンプがテーブルの上 警告 に置かれている場合には安定していることを確かめてください。もしポン プ吸入口がシステムに接続されていない、または抜け落ちている場合に は、TwisTorr 305 FS ポンプを決して操作しないでください。 線間電圧に接続したら、非常に簡単な方法でコントローラーを操作するには、 注 コントローラーに付属している配線済みの相手側コネクタを J1 コネクタに接続 します。 配線済みの相手側コネクタは、シリアルコムやリモート I / O などの他の配線さ れた外部接続を行う必要なく、コントローラを操作（たとえば、フロントパネ ルで動作）できるようにする簡単で迅速な方法です。 フォアポンプと TwisTorr305FS ポンプを同時にオンにすることができます Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 142: コントロール、指示器、コネクター

    ます。詳細については、付録 “Technical Information" を参照してください フロントパネル説明 图 22 コントローラー TwisTorr 305 FS リモートフロントパネル サイクル数、サイクル時間、ポンプの寿命をディスプレイ上に表示させるキーボードプッシュボタン。 低速モードの選択用キーボードプッシュボタン。フロントパネル操作が選択された時のみアクティブにな ります。１回押すとポンプは「待機」速度で作動します。モードの選択を解除するには、プッシュボタン を再度押してください。 ポンプの電流、ポンプの温度、ポンプの電源と回転速度をディスプレイ上に表示させるキーボードプッシ ュボタン。選択された操作モードに関わらず、これは常にアクティブです。プッシュボタン 3 と 1 は、 最低でも２秒間一緒に押された場合に、コントローラーはいくつかの操作パラメーターをプログラム可能 なルーチン下におかれます。 「開始、停止/リセット」モードの選択用キーボードプッシュボタン。フロントパネル操作が選択された 場合のみアクティブになります。１回押すと起動フェーズが開始します；もし再度押すとポンプを停止し ます。もしポンプが障害・故障により自動的に停止された場合、コントローラーをリセットするには１ 回、ポンプをリスタートするには２回このプッシュボタンを押してください。 LCD バックライトの英数字ディスプレイ：ドットマトリックス 2 列 x 16 文字。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 143 取扱説明書 图 23 コントローラーTwisTorr 305 FS リモートリアパネル ロジック入力信号コネクター（リンクと共に供給される組み合わせコネクター）。 ロジック出力信号コネクターとポンプ周波数モニター、また プログラム可能なアナログ出力。 電力出力コネクター（ポンプ冷却ファン、通気弁と計器用の 24 Vdc）。 主要ヒューズ、主要ソケットと EMC フィルターから構成されるコントローラー電力エントリーモジュー ル。 Profibus のアドレス設定用回転スイッチ。 Profibus （オプション）。 リモートコントロールシリアルコネクター。 ポンプケーブル（長さ 5m）。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 144: Twistorr 305 Fs Remote Controller コンパクトの起動と操作

    取扱説明書 TwisTorr 305 FS Remote Controller コンパクトの起動と 操作 コントローラーの起動 コントローラーを起動するには、電源ケーブルを適切な電源プラグに接続してく ださい。 ポンプの開始 ポンプを開始するには、インターロック入力を確認して、コントローラーフロン トパネル上の「開始」のプッシュボタンを押してください。 ポンプの停止 Pump Shutdown ポンプを停止するには、コントローラーフロントパネル上の「停止」のプッシュ ボタンを押してください。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 145: ソフトスタート

    ソフトスタートモードは、標準の起動開始よりも時間がかかります；使 用者は、ポンプを停止する前にはポンプが最大速度になるまで待たなけ ればなりません。 初回の開始後は、ポンプは再度コントロールユニットによるソフトスタ ートモードにはなりません。 「技術情報」の章で詳しく説明されているように、ユーザーは、必要に応じてソ フトスタートランプを使用してポンプを始動することも選べます。 （シリアルに 関してはウィンドウの意味の段落、リモート入力に関してはコントローラー接続 の段落P1 「入力」をそれぞれ参照してください）。 ソフトスタートモードがアクティブな場合（最初の起動時にコントローラーによ 注 って自動的に開始された場合と、ユーザーにより手動でアクティブにされた場合 の両方）、コントローラーはディスプレイに以下が表示されます: • ソフトスタートモード」のメッセージ • 速度ステップの進行に応じて進化するバーインジケーター。 バーインジケータは、ディスプレイの右上隅に表示され（矢印Aを参照）、同じ場 所にすでに存在する他のメッセージに加えて同時に表示されます。 「ソフトスタートモード」というメッセージは、他のメッセージと交互にディスプ レイに表示され（矢印Bを参照）、約3秒間永続的に表示されたままになります。 コントローラーディスプレイにバーインジケータが表示されない、または「始動 中」メッセージと「ソフトスタートモード」のメッセージが交互に表示されなくな り、「正常」のメッセージのみが表示された場合、「ソフトスタート」は正常に完 了しています。 自動ソフトスタート中に（最初の始動時）、これが完了する前に 中断する必要がある場合（たとえば、ネットワーク障害のためにコントローラーが シャットダウンしたり、コントローラーに「停止」のメッセージが送信された場 合）、次回の再始動時にコントローラーはソフトスタートランプを自動的に再アク ティブ化します。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 146 取扱説明書 ソフトスタート中（自動または使用者により設定された場合）、また完了するま で、特定のシリアルウィンドウで表示される状態は「2」で、「ランプ」を意味 します（「技術情報」の章の「ウィンドウの意味」の段落を参照）。 ソフトスタートが完了すると、正常に実行された場合、特定のシリアルウィンド ウに表示される状態は「5」で「正常」を意味します。 ソフトスタート開始時のディスプレイ表示：ディスプレイには、バーインジケー タで「始動中」と「ソフトスタートモード」というメッセージが交互に表示され ます。 ソフトスタートが進行中のディスプレイ表示：速度段階が増加するにつれて、バー インジケーターが進行します。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 147 取扱説明書 ソフトスタートが完了した時のディスプレイ表示：「ソフトスタートモード」の メッセージがディスプレイに表示されなくなり、バーインジケーターも表示され なくなります。「始動中」のメッセージは「正常」のメッセージに置き換えられ ます。 長期間の不稼働状態（60 日間またはそれ以上）の後、軸受に残存している潤滑 注 油の適切な再分配を可能するには、再度ソフトスタートモードでポンプを開始 する必要があります。 詳細情報は "Technical Information" セクションに記載されています。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 148: エラーメッセージ

    (Ar: 50°C; N2: 55°C; He: 60°C) ュボタンを２回押してください。. CONTROLLER OVERTEMP. コントローラーの環境温度が 70 °C を超 温度が閾値以下になるまでお待ちくださ えています。 い。 または ポンプを開始するには、「開始」のプッシ ュボタンを２回押してください。 コントローラーのラジエーター温度が 60 °C 以上です。 TOO HIGH L0AD ポンプにより引き出された電流量がプログ ポンプのローターが障害なく回転できるか ラムされたものよりも高くなっています。 確認してください。ポンプを開始するに は、「開始」のプッシュボタンを２回押し てください。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 149 タブ 6 エラーメッセージ SHORT CIRCUIT 起動フェーズの後、出力接続がショートし 接続を確認してください。 ました。 SYSTEM OVERRIDE ポンプは、リモートコンタクト経由で提供 コントローラーの電源ケーブルを抜き、緊 された緊急停止信号により停止されまし 急状態を確認してください。それから電源 た。 ケーブルを再接続し、ポンプを開始するに は、「開始」のプッシュボタンを２回押し てください。 OVERVOLTAGE コントローラーの電源供給回路が故障して ポンプを開始するには、「開始」のプッシ いるか、またはコントローラーがスパイク ュボタンを２回押してください。 を受けました。 もしメッセージが消えない場合、Agilent に問い合せてください。 RUN UP TIME 起動時間切れ 起動時間の設定の確認。カスタマー手順に 従って調整してください。ポンプ内に流入 されるガス量を確認してください。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 150: メンテナンス

    取扱説明書 メンテナンス TwisTorr 305 FS リモートシリーズコントローラーは、いかなるメンテナンスも必 要としません。コントローラーになされるいかなる作業も、認可された者により 遂行されなければなりません。 障害・故障が起こった際には、Agilentの修理サービスを利用することもできま す。コントローラーの代替品は、Agilentを通したアドバンスエクスチェンジのサ ービスを基に利用可能です。 コントローラー上にいかなる作業を遂行する前に、供給源から接続を断っ 警告 てください。 コントローラを廃棄する場合は、特定の国内基準に従って廃棄する必要がありま す。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 151 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 24 ロゴ "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 152: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com “Request for Return”の申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプを Agilentへ返送する必要があります。(このマニュアルの最後に提供されていま す）。 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 153: Instructions For Use

    Product description Installation Preparation for installation Set-up TwisTorr 305 FS Remote Controller Mounting Controls, Indicators and Connectors Front Panel Description Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS Remote Controller Controller Startup Starting the Pump Pump Shutdown Soft Start Troubleshooting Maintenance...

  • Seite 154: About This Manual

    This manual contains useful information so that all personnel using the NOTE TwisTorr 305 FS Remote Controller can operate it safely and guarantee perfect efficiency, for its entire life span. Keep this manual, together with all the related publications, in an accessible place known to all operators/maintenance personnel.

  • Seite 155: Definitions And Terminology

    Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 156: Warning Symbols

    The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305 FS Remote Controller. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may...
  • Seite 157 The following symbols appear on the instrument for your information. Generic hazard Dangerous voltages CE certification CSA certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment UK CA Marking Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 158: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the product or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Seite 159: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305 FS Remote Controller. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the device with unspecified mounting material ...

  • Seite 160: Protective Equipment

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating WARNING personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 161: Transport & Storage

    This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorised interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.

  • Seite 162: Installation

    Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100 % recyclable and complies with EEC Directive with EEC Directive 94/62 and subsequent amendments. Figure 25 TwisTorr 305 FS Remote Controller packaging Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 163: Set-Up

    120 Vac supply voltage for a reference cable length equal to 3 m. TwisTorr 305 FS Remote Controller can be used as a bench unit or a rack module, NOTE but it must be positioned so that free air can flow through the holes. Do not install...

  • Seite 164: Twistorr 305 Fs Remote Controller Mounting

    (for instance, acting on the front panel), without having the need to implement other wired external connections like Serial Com or Remote I/O. The forepump and TwisTorr 305 FS pump can be switched on at the same time. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 165: Controls, Indicators And Connectors

    If the pump has been stopped automatically by a fault, this push-button must be pressed once to reset the controller and a second time to restart the pump. LCD back-lighted alphanumeric display: dot matrix 2 lines x 16 characters. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 166 Power output connector (24 Vdc for pump cooling fan, Vent Valve and Gauge). Controller power entry module consisting of mains fuses, mains socket and EMC filter. Rotary switches for Profibus address setting. Profibus (Optional). Remote control serial connector. Pump cable (5m long). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 167: Startup And Operation Of The Twistorr 305 Fs Remote Controller

    To start the pump, confirm the interlock input and press the START pushbutton on the controller front panel. Pump Shutdown To shutdown the pump press the STOP push-button on the controller front panel. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 168: Soft Start

    (for example the controller shuts down due to network failure or a STOP message is sent to the controller), at the next restart the controller will reactivate the soft start ramp automatically. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 169 Display indications at the beginning of Soft Start: the display alternatively indicates STARTING with the bar indicator and the message "SOFT START MODE". Display indications with Soft Start in progress: bar indicator evolves as speed steps increase. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 170 After 60 days or more of inactivity, in order to allow again the correct redistribution NOTE of the grease present in the bearings, it is necessary to start the pump via soft start mode again. Detailed information is supplied in the "Technical Information" section. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 171: Troubleshooting

    Press the START push-button twice to start the pump. After the starting phase the output Check connections and shortages between SHORT CIRCUIT connection is shorted. pump and controller. Press the START push-button twice to start the pump. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 172 Run Up Time out. Check for the Run Up Time set-up. It has to be adjusted accordingly to the customer process. Check the amount of the gas load which is flowing inside the pump. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 173: Maintenance

    The TwisTorr 305 FS Remote series controller does not require any maintenance. Any work performed on the controller must be carried out by authorized personnel. When a fault has occurred it is possible to use the Agilent repair service. Replacement controllers are available on an advance exchange basis through Agilent.

  • Seite 174: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 28 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 175: Service

    Completion of the “Request for Return” form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 176: Technical Information

    Technical Information Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS Remote Controller Technical specification Controller Outline Controller Connection J6 – Fan J7 – Vent P1 – Input J1 – Output Pump Connector J5 – Gauge Connector J2 – Serial Connector R1 –...
  • Seite 177 How to Use in Serial Mode Profibus Option General Installation Configuration Software Operation and State Machine Message Mapping Parameter Buffer Output Buffer Input Buffer Diagnostic Management Diagnostic Buffer Error Messages Accessories and Spare Parts Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 178: Description Of The Twistorr 305 Fs Remote Controller

     Remote Controller). Serial protocol is in most of the cases compatible with the previous version (ref. TwisTorr 305 FS Remote Controller) but, due to the additional features that have been implemented on this unit, some serial windows have been revised in the data format/content.
  • Seite 179 Technical Information See the following diagram for the connections and orderable parts. Figure 29 TwisTorr 305 FS Remote Controller – Connections Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 180: Technical Specification

    The Controller must be positioned in a way that the mains cable can be easily NOTE disconnected from the controller mains power inlet (the controller is not equipped with a mains switch). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 181: Controller Outline

    The outline dimensions for the TwisTorr 305 FS Remote Controllers are shown in the following figure. TwisTorr 305 FS Remote Controller can be used as a bench unit or as a rack NOTE module, but it must be positioned so that free air can flow through the holes.

  • Seite 182: Controller Connection

    This is a dedicated output for the optional TwisTorr 305 pump cooling fan (see orderable parts table). If you already have fan installed, use the available adapter cable to connect to the pump. Figure 31 Fan Connector J7 – Vent Figure 32 Vent Connector Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 183 Vent Valve CLOSED OPEN Vent Valve Relay Vent Valve Open RAMP STOP NORMAL Time Win. 147 Win. 126 START COMMAND STOP COMMAND Figure 33 Vent Valve diagram in “Automatic” mode Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 184: P1 - Input

    Mode operation, and If active before the start command Imax = 5mA in STOP status. activates the Soft Start procedure. Imin (on) = 2mA To be used only at first pump run-up. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 185: J1 - Output

    The following figure shows a typical contact logic input connection and the related simplified circuit of the controller. Figure 35 Typical logic input connection J1 – Output PUMP FREQUENCY MONITOR 10V=61 kRPM Figure 36 Typical logic input connection Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 186: Pump Connector

    B-C-D = 75 Vac 3-phase output to pump motor stator  E = EARTH PROTECTION  Figure 37 Controller-to-Pump Connector J5 – Gauge Connector This connector is available to connect the Agilent active gauges. Figure 38 Gauge Connector Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 187: J2 - Serial Connector

    This connector provides the connection for RS – 232 and RS – 485 serial line. J2 Pin-out Figure 39 J2 Connector Table 10 Pin N. Signal Name +5 V (OUT) (Reserved) TX (RS232 RX (RS232 A + (RS485) B – (RS485) RESERVED Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 188 0 to 10V. The conversion formula is the following: − × − Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 189 CDG-500 T1000 2.66E+1 to 1.33E3 0.2 ÷ 10 CDG-500 T0100 2.66E+0 to 1.33E2 0.2 ÷ 10 CDG-500 T0010 2.66E-1 to 1.33E1 0.2 ÷ 10 CDG-500 T0001 2.66E-2 to 1.33 0.2 ÷ 10 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 190 If the set point 3 type (win 101) is selected as “pressure” the gauge is always on. The windows from 136 to 140 manage an additional set point (set point 3) dedicated to turn ON or OFF the gauge (win 267=4). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 191 LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. Minimum 1 kΩ Figure 40 Digital Output Connection Example Minimum 100 kΩ Figure 41 Analog Output Connection Example Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 192 When the analog output is set to provide pressure signal, the voltage level is proportional to pressure level and it is generated by control unit elaborating the independent input by the active gauge. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 193: R1 - R2 Output Diagram

    R1 – R2 Output Diagram Figure 42 Diagram 1 – R1 or R2 related to frequency Figure 43 Diagram 2 – R1 or R2 related to powegram 2 – R1 or R2 related to power Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 194 Fail t (sec) Interlock tuning Figure 45 Diagram 4 – R1 or R2 related to Normal status Figure 46 Diagram 5 – R1 or R2 related to pressure reading (if gauge connected) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 195: Programmable Analog Output Diagrams

    Power (W) Figure 48 Diagram 2 – Programmable analog output related to power V (Volt) Output Voltage Pump Temp (°C) Figure 49 Diagram 3 – Programmable analog output related to pump temperature Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 196: Pump Driving

    This function can be activated by Front Panel or serial line (Win 107, 167). Active Stop brakes the pump using the motor. The Stop Speed reading reads the pump speed after a stop command. Figure 51 Diagram 5 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 197: Vacuum Link App

    Vacuum Link app must be installed first from Google Play or Apple Store. The app is available for both Android and iOS. Once installed, you can establish the connection. Using this app you will be able to read and write all controller parameters. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 198: Procedure To Connect The Serial And I/O Ports To An External Cable

    In this way, you will be sure to reduce the influence of the external noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the cable assembled. Figure 52 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 199: Connection Schematics

    Technical Information Connection Schematics TwisTorr 305 FS AG TV 301 AG Rack Controller Rack Controller Figure 53 RS – 232 Connection Figure 54 RS – 485 Connection Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 200: Serial Communication Descriptions

    (pin 2) and vice versa. Consult the host computer's instruction manual for its serial port connections. Agilent cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated emissions NOTE unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shroud on the 0-subconnector.

  • Seite 201: Letter Protocol Description

    Request for operating status  "J" = Request for numerical reading  "K" = Request for counters reading.  CRC corresponds to the sum (with inverted sign) of all the preceding bytes. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 202 Answer = after a request from the host, the controller will answer in one of the following ways:  NACK  Message  When the Request is "A, "B”, "C", "D", "F", the controller will answer the ACK or NACK. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 203 * The values for current and voltage are given as numbers, scaled from 0 to 255 where 0 corresponds to 0 V and 255 to the full scale voltage (130 V) or current (2.5 A). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 204 Bytes Meaning Speed threshold Run up time in seconds (long coded in 4 bytes) Deat time (0 = NO 1 = YES) Reserved Soft Start mode (0 = YES 1 = NO) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 205 = STARTING = NORMAL OPERATION 4, 5 = HIGH LOAD = FAILURE 7 = APPROACHING LOW SPEED R2 status 0 = OFF 1 = ON R1 status 0 = OFF 1 = ON Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 206 When the Request is "K" (Counters readings), the Answer will contain a string of 11 characters with the following parameters: Table 20 Bytes Meaning Cycle time Pump life 9-10 Cycle number On request a sample program in QBasic language is available by Agilent. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 207: Window Protocol Description

    The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> Where: When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated data NOTE is the corresponding ASCII character. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 208 Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 209 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 210: Examples

    Technical Information Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 211 Technical Information Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 212 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: REAL SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 213: Window Meanings

    3 = 4800 bit/s 4 = 9600 bit/s Pump life/Cycle time/Cycle number To reset write ‘1’ reset Interlock type. Impulse = 0 The interlock can be checked at start Continuous = 1 (impulse) or continuously Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 214 Vent valve opening time 0¸65535 (from 0 to 13107s) (1unit = 0.2s; 0 = infinite) (Ref. to “vent connector” paragraph) Actual maximum power limit (W) (It reads the maximum power deliverable to the pump) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 215 Threshold value is meaningful if win101 = 4 Start Output Config. 0 = Starting (Output ON only with pump Status = Starting) 1 = Running (Output ON when the pump is running) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 216 Format = X.X E XX Rotation Frequency (rpm) Gauge Status 4 = RidUnknown 3 = GaugeOverRange (TPS-mobile equipped with 551 2 = GaugeUnderRange pump does not have this window) 1 = GaugeConnected 0 = NoGaugeConnected Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 217 Run Up time control On = 1 Off = 0 TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. OVERRIDE RUN UP TIME Figure 56 Window N. 206 Bit Description Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 218: How To Use By Front Panel

    “FRONT”; otherwise an error message is returned. If it is set to “REMOTE” mode, the COMMAND LOCKED IN REMOTE error message is displayed while if it is in “SERIAL” mode the “COMMAND LOCKED IN SERIAL MODE” error message is returned. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 219 Pressing a third time, the following message Is displayed: Model Number of the controller Serial Number On pressing the key again, the main screen page is redisplayed. Measures  Pressing once, the following is obtained: ° Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 220 NORMAL: indicates the operating regime of the pump XXXHz: see description “Pressing once” Measures key I=X.XXA: indicates the current absorbed by the pump V= XXX V: indicates the pump driving voltage Pressing 3 times, the following is obtained: Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 221 ZZZZ: indicates the kind of gauge (see table of gauge supported in the gauge chapter) Other possible indications: Where: GAUGE_ERROR: gauge not connected or broken Where: PRESS UNDER: indicates that the pressure read is below the minimum measurement threshold set (5 E-9 mBar) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 222 RS485 [XX]: the controller accepts commands from the serial port in RS485 mode with address XX (XX from 0 to 31) PROFIBUS [YYY]: the controller accepts commands from the PROFIBUS port with address YYYY Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 223 LS → the controller is at LOW SPEED AG → the Gauge is connected to the controller R1 → relay (set point) R1 is active R2 → relay (set point) R2 is active Figure 58 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 224: Startup

    NOTE If the pump is not connected, the display will be as follows: Pressing the START button, the pump is started and the display shows the  following screen page. Figure 59 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 225 Hz (default) or in KRMP. Once operating speed has been reached, the following screen page is displayed: If the LOW SPEED key is pressed, the above screen page changes to: Figure 60 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 226 Hz = is the rotational speed of the pump as a function of the controller output frequency °C = is the temperature of the outer ring of the upper bearing (range 00 to 99 °C) Pressing MEASURES key twice, the following screen page is displayed:  Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 227 Pressing the MEASURES key three times, with the GAUGE connected and  functioning, the following screen page is displayed: Figure 62 Where: mBar shows the pressure value measured. XXXX shows the kind of gauge connected. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 228 Pressing the COUNTERS key, the following is obtained:  Figure 63 Where: CYCLE XXXX Number of start/stop cycles TIME XXXXXm Time of last cycle (minutes) Pressing again: Where: PUMP LIFE XXXXXX Total operating time (hours)of the pump Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 229: Programming

    (in the case of numeric parameters) The “MEASURES and START/STOP” buttons become “NEXT and PREVIOUS”  and make it possible to select the next parameter (or next digit of a numeric parameter) or previous parameter. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 230 The figure below shows the first level of the configuration menu and the links to the respective second level menus (indicated below). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 231: Mode Menu

    REMOTE: accepts commands from the remote input connector  SERIAL: accepts commands from the serial interface (or Profibus interface  if present) PROFIBUS: this operating mode is present only if the Profibus interface is  installed on the controller. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 232: Pump Setting Menu

    Technical Information Pump Setting Menu Figure 66 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 233 Please always set up the LOAD GAS TYPE in accordance to the gas type used in the process. An improper selection of this setting could result in the damage of the pump. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 234 ACTIVE STOP: enables (YES) or disables (NO) active braking.  STOP SPEED READING: enables (YES) or disables (NO) the pump rotational  frequency reading function also during the slowing phase that follows a stop command. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 235: Input/Output Menu

    START/STOP input is de-activated. The interlock input must be constantly active (INTERLOCK TYPE parameter = continuous) or may be active only at the time of starting (INTERLOCK TYPE parameter = impulsive). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 236 FREQUENCY: the drive frequency of the pump is shown  POWER: the power supplied to the pump is shown  TEMPERATURE: the temperature of the pump is shown  PRESSURE: the pressure read by the gauge is shown.  Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 237 SPEED OUT MODE (KRPM/Hz): permits selection of the unit of measurement of  the speed of rotation shown on the display of the controller. This setting acts only on the measurement shown on the display. Possible options: KRPM   LCD CONTRAST  Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 238: Setpoint R1 And Setpoint R2 Submenus

    R1/R2 SETTING F. 1 POWER TIME NORMAL PRESSURE R1/R2 SET VALUE 0000 9999 R1/R2 HYSTERESYS R1/R2 MASK TIME 00:00:00 00:00:00 SEC 99:99:99 R1/R2 OUTPUT _|-- LOGIC: _|-- --|_ Flow 4/6 Figure 68 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 239 R1 (R2) OUTPUT LOGIC: Selects the control logic of the SETPOINT output.  positive logic (the relay is energized when the measurement exceeds the  reference) negative logic (the relay is energized when the measurement is below the  reference). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 240: Gauge Menu

    Torr  GAUGE MODEL ID: it shows the gauge model identified by the controller.  If there are more model with the same identification the user can select the right gauge connected Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 241 CORRECTION : if it is selected the gas type 4 (Other) you can set the correction  factor of the pressure measurement for this kind of gas. The pressure indicated by the instrument is equal to: P indicated = P measured x Gas correction / 10 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 242: Serial Menu

    SERIAL MODE: permits setting of the type of interface to RS232 (point to point)  or RS485 (multidrop) SERIAL ADDRESS: sets the address of the node in the case of the RS485  interface. This parameter is not visible if the RS232 is selected. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 243: How To Use By Remote I/0

    Select by front panel if you want to work in 232 or 485, and if necessary, the serial address. Select SERIAL from the INPUT/OUTPUT menu Open the A-Plus software (see orderable parts table) Ready to operate by SERIAL connections. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 244 OFF = Pump under speed threshold ON = Pump over speed threshold 7, 4 R2, R1 Pump Power Monitor (10V=150W) Power value Monitor (Com) Speed value Pump Frequency Monitor (10V=81 KRPM) Figure 71 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 245: Profibus Option

    The option works as a bi-directional bridge between the ProfiBus network and the Agilent turbo controller internal link. The interface provides input data (measures) and output data (commands) to the controller, and in addiction provides standard and user related diagnostics, in order to allow the user to manage the exceptions.

  • Seite 246: Configuration

    From the software point of view, the interface can be seen as two devices (one for ProfiBus and the other for the internal link) linked together. Each device has its own state machine to manage the device operation. Figure 73 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 247 Regular data exchange Figure 74 Table 25 Internal link state machine Status Meaning POWER_ON Interface set-up SRC_ADDR Search for the controller serial address IDENTIFY Identify controller model and protocol DATA_EX Regular data exchange Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 248: Message Mapping

    ProfiBus network and the pump’s controller serial interface. As a consequence of this, the scale and the meaning of some parameters depends directly to the specific model of Turbo Pump controller connected to the interface. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 249: Parameter Buffer

    Setpoint 1 Pressure Value Exponent. Set the exponent of the exponential value of the R1 setpoint (format X.XE-XX) when it is used for pressure monitoring (Parameter Buffer, Offset 21, B = 4). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 250 0 = continuos (the interlock must be always present to run the pump) 1 = at start (the interlock must be present only at start command) = Setpoint R1 Logic 0 = active close (NO) 1 = active open (NC) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 251 = Setpoint R2 Type 0 = frequency 1 = current 2 = time 3= normal operation 4= pressure = Analog Output 1 Type 0 = frequency 1 = power 2 = temperature 3= pressure Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 252: Output Buffer

    1 = Serial 2 = Front panel 3 = Profibus 1100 - High Speed Value 1350 Set the high rotational speed value 1100 - Low Speed Value 1350 Set the low rotational speed value Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 253: Input Buffer

    – Power Fail (internal circuitry failure) – Controller Over-Temperature (“Controller Power Section Temperature” or “Controller CPU Section Temperature” are over the limit) - Pump Over-Temperature (“Pump Bearing Temperature” or “Pump Body Temperature” are over the limit) Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 254 0-65536 Last Cycle Time How long the last cycle lasted 0-65536 Pump Life Total pump running time mBar/ Pressure Reading Torr/Pa Reports the pressure reading in the “pressure unit” selected by Par. Buff., Offset-20, B5-6 Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 255: Diagnostic Management

    User parameter mismatch: if the user sets one or more parameters out of their  allowed range, a ProfiBus external diagnostic service is required and some bits in the diagnosis frame signals which parameter is wrong (i.e. over range or under range). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 256: Diagnostic Buffer

    Not used Not used – Start/Stop diag status – Low Speed diag status – Soft Start diag status – Vent Valve – Purge Valve – Mode – High speed – Low Speed Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 257: Error Messages

    If within each step of the soft start mode the rotational speed of the pump do not NOTE reach the planned value within 15 minutes the display will be as shown in the following figure. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 258 The message will stay on until the temperature decreases below threshold value. Press the STOP RESET pushbutton twice to start the pump. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 259 Press the START push-button twice to start the pump. Should the message still be present, call the Agilent service. Check connections and shortages between pump and controller, then press the STOP RESET pushbutton twice to start the pump. Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...

  • Seite 260: Accessories And Spare Parts

    The communication S/W between the controller and the pump (A-Plus) is available NOTE on the Agilent website: https://www.agilent.com/en/products/vacuum-technologies/vacuum-leak- detection-software/a-plus-software The connection is provided through USB (use a standard USB A male - USB B male). Agilent TwisTorr 305 FS Remote Controller User Manual...
  • Seite 266 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109...
  • Seite 267 The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  www.agilent.com © Agilent Technologies, Inc. 2021 Edition A.00, 12/21 *87-901-059-01* *87-901-059-01* 87-901-059-01...

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