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Agilent 4UHV Ion Pump Controller Bedienungsanleitung

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Agilent 4UHV Ion Pump Controller
User Manual

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Verwandte Anleitungen für Agilent 4UHV Ion Pump Controller

Inhaltszusammenfassung für Agilent 4UHV Ion Pump Controller

  • Seite 1 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 2 FAR 12.211 (Technical Data) and 12.212 (Computer Software) and, for the Department of Defense, DFARS 252.227-7015 (Technical Data - Commercial Items) and DFARS 227.7202-3 (Rights in Commercial Computer Software or Computer Software Documentation). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Avvio e funzionamento del Controller 4UHV dal pannello frontale (modalità LOCAL) Arresto del 4UHV Arresto di Emergenza Manutenzione Pulizia Compatibilità elettromagnetica EN55011/CISPR11 Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud ICES/NMB-001 Smaltimento Servizio Post Vendita Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 4 Installation Vorbereitung zum Einbau Set-up Fixieren des 4UHV Start und Betrieb des 4UHV-Controllers von der Vorderteil (LOCAL-Modus) Abschalten des 4UHV Not-Aus Wartung Reinigen Elektromagnetische Verträglichkeit EN55011/CISPR11 Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung ICES/NMB-001 Entsorgung Service Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 5 Fixation de l’4UHV Démarrage et fonctionnement du contrôleur 4UHV depuis le panneau avant (mode LOCAL) Arrêt de l’4UHV Arrêt d'urgence Entretien Nettoyage Compatibilité électromagnétique EN55011/CISPR11 Déclaration CEM Classe A Corée du Sud ICES/NMB-001 Élimination Service Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 6 Puesta en marcha y funcionamiento del Controlador 4UHV desde el Panel Frontal (Modo LOCAL) Apagado del 4UHV Parada de emergencia Mantenimiento Limpieza Compatibilidad electromagnética EN55011/CISPR11 Declaración EMC Clase A de Corea del Sur CIEM/NMB-001 Eliminación Servicio Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 7 有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护装备 离子泵控制器安全指南 运输及存储 产品描述 安装准备 设置 修复 4UHV 从前面板启动和操作 4UHV 控制器（本地模式） 4UHV 关机 紧急停止 维护 清洁 电磁兼容 EN55011/CISPR11 韩国 A 类 EMC 声明 ICES/NMB-001 处置 服务 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 8 警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護装具 イオンポンプコントローラーの安全ガイドライン 运输及存储 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ 4UHV の固定 フロントパネルからの 4UHV コントローラの起動と操作 （LOCAL モード） 4UHV 操作停止 緊急停止 メンテナンス クリーニング 電磁両立性 EN55011/CISPR11 韓国クラス A EMC 宣言 ICES/NMB-001 処分 サービス Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 9 Transport & Storage Product Description Installation Preparation for Installation Set-up Fixing the 4UHV Ion Pump Controller Startup and Operation of the 4UHV Ion Pump Controller from the Front Panel (LOCAL Mode) 4UHV Ion Pump Controller Shutdown Emergency Stop Maintenance Cleaning...
  • Seite 10 How to work with non Agilent pump Set Point Autostart How to set the Analog signal Connection of Input Remote Serial Connector Examples Window Protocol Communications Format Communications Protocol Error Description Error Code Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 11 GSD File State Machine Message Mapping Configuration Buffer Structure Configuration Output Structure Configuration Input Structure Diagnosis Management Standard diagnostic User diagnostic Controller Fails User Parameter Mismatch Diagnostic Buffer (15 byte) Accessories and Spare Parts Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 12 Contents Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 13: Istruzioni Per L'uso

    Avvio e funzionamento del Controller 4UHV dal pannello frontale (modalità LOCAL) Arresto del 4UHV Arresto di Emergenza Manutenzione Pulizia Compatibilità elettromagnetica EN55011/CISPR11 Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud ICES/NMB-001 Smaltimento Servizio Post Vendita Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 14: Informazioni Su Questo Manuale

    Controller 4UHV possa utilizzarlo in sicurezza e garantire la perfetta efficienza, per tutta la sua durata. Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate, in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di manutenzione. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 15: Definizioni E Terminologia

    I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 16: Simboli Di Avvertenza

    Presenza di tensioni Dichiarazione Europea Pericolo generico pericolose di Conformità Rifiuti di Certificazione CSA Apparecchiature Sito di produzione Elettriche ed Elettroniche Certificazione Certificazione UK CA RoHS China Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 17 I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione. Presenza di tensioni pericolose Pericolo generico Certificazione CE Certificazione CSA Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche Certificazione UK CA Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 18: Sicurezza

    Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.

  • Seite 19: Uso Improprio

    Istruzioni per l’uso Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall'uso improprio del Controller 4UHV. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione del dispositivo con materiale di montaggio non specificato ...

  • Seite 20: Linee Guida Per La Sicurezza Dei Controller Di Pompe Ioniche

    Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale AVVERTENZA operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 21: Trasporto E Immagazzinamento

    Manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dall’Agilent prima dell’utilizzo dell’apparecchiatura. L’Agilent declina ogni responsabilità dovuta alla mancata osservanza totale o anche parziale delle istruzioni fornite in questo documento, all’uso improprio dell’apparecchiatura da parte di personale non addestrato, all’esecuzione di interventi non autorizzati o alla mancata osservanza delle specifiche normative nazionali.

  • Seite 22: Installazione

    Durante l’operazione di disimballo, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il controller e a non sottoporlo ad urti. Il materiale dell’imballo è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 94/62 per la tutela dell’ambiente. Figura 1 Imballo del Controller Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 23: Set-Up

    Cavo di alimentazione: il cavo corretto per i collegamenti elettrici è a tre conduttori (L+N+PE). La sezione del cavo deve essere almeno AWG18, 0,83 mm PIN 1 = Connettore positivo PIN 2 = Connettore negativo PIN 3 = Terra di protezione Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 24 Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso al controller abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010: 2010 AMD 1 (2017). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 25 Durante il funzionamento, occorre che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: Temperatura: da 0 °C a +40 °C  Umidità relativa: 0 – 90 % (senza condensa)  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 26: Fissaggio Del 4Uhv

    Se si vuole utilizzare un cavo HV senza interlock nel sacchetto accessori è fornito NOTA un apposito kit di cavetti per interlock preassemblato. Con questo utilizzo si perde la funzionalità di sicurezza offerta dall’utilizzo dell’interlock. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 27 HV tra il controller e la pompa e del cavo di interlock. Se si monta il cavo di interlock fornito nel sacchetto accessori fare molta ATTENZIONE attenzione affinchè nessuna parte cada accidentalmente all’interno del controller. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 28: Avvio E Funzionamento Del Controller 4Uhv Dal Pannello Frontale (Modalità Local)

     “Mode”. Selezionare l’opzione “LOCAL”. Tenere premuto il pulsante HV ON/OFF (2) mentre si preme il pulsante  HV-x (3,4,5,6) dove x è il numero del canale che si vuole accendere o spegnere. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 29 Istruzioni per l’uso (3) (4) Figura 4 Pannello Frontale del Controller 4UHV Figura 5 Pannello Posteriore del Controller 4UHV Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 30: Arresto Del 4Uhv

    Il Controller 4UHV non richiede alcun intervento di manutenzione. Qualsiasi tipo di intervento sull’unità deve essere eseguito da personale tecnico autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del "Agilent advanced exchange service", che permette di ottenere un controller rigenerato in sostituzione di quello guasto.

  • Seite 31: Pulizia

    Se questa apparecchiatura causa interferenze dannose alla ricezione radio o televisiva, che possono essere determinate spegnendo e riaccendendo l'apparecchiatura, si consiglia di adottare una o più delle seguenti misure: assicurarsi di utilizzare cavi appropriati per collegare il dispositivo alle  periferiche Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 32: Dichiarazione Emc Di Classe A Della Corea Del Sud

    Istruzioni per l’uso variazioni o modifiche non espressamente approvate da Agilent Technologies  potrebbero inficiare l'autorizzazione dell'utente a utilizzare la presente apparecchiatura. Dichiarazione EMC di Classe A della Corea del Sud Questa apparecchiatura è di Classe A, è adatta all'uso professionale ed è destinata all'uso in ambienti elettromagnetici esterni alla casa.

  • Seite 33: Smaltimento

    Figura 6 Logo "WEEE" Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 34: Servizio Post Vendita

    È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire il prodotto ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 35: Betriebsanleitung

    Installation Vorbereitung zum Einbau Set-up Fixieren des 4UHV Start und Betrieb des 4UHV-Controllers von der Vorderteil (LOCAL-Modus) Abschalten des 4UHV Not-Aus Wartung Reinigen Elektromagnetische Verträglichkeit EN55011/CISPR11 Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung ICES/NMB-001 Entsorgung Service Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 36: Informationen Über Diese Betriebsanleitung

    Personal, das die 4UHV verwendet, diese in Sicherheit verwenden und die perfekte Funktionstüchtigkeit für ihre gesamte Betriebsdauer garantieren kann. Diese Betriebsanleitung muss zusammen mit allen mit dieser zusammen- hängenden Veröffentlichungen an einem zugänglichen Ort, der allen Bedienern/Wartungspersonal bekannt ist, aufbewahrt werden. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 37: Definitionen Und Terminologie

    Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen und liefern weitere Details über HINWEIS spezifische Arbeitsschritte. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 38: Warning Symbols

    Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen können, ist wie folgt: Europäische Hochspannung Allgemeine Gefahr Konformitätserklärung Elektro- und CSA certification Herstellungsbetrieb Elektronikaltgeräte RoHS- UKCA-Zertifizierung Chinazertifizierung Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 39 Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebs- oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Hochspannung Allgemeine Gefahr CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte UKCA-Zertifizierung Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 40: Sicherheit

    Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.

  • Seite 41: Unsachgemäße Anwendung

    Betriebsanleitung Unsachgemäße Anwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom 4UHV Controller ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Montage des Geräts unter Verwendung von nicht vorgesehenem ...

  • Seite 42: Sicherheitsrichtlinien Für Ionische Pumpensteuerung

    Zur Vermeidung des Risikos einer Beschädigung interner Komponenten dürfen die in dieser Bedienungsanleitung beschriebenen Ionische pumpen-Steuergeräte nicht vom Benutzer geöffnet werden. Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden, WARNUNG sind die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen unbedingt zu beachten! Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 43: Transport Und Lagerung

    Bestimmungen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang " Technical Information " enthalten. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 44: Installation

    Der Controller wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen sofort der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Das Verpackungsmaterial muss korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 94/62 für Umweltschutz. Abbildung 7 Verpackung der Controller Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 45: Set-Up

    (AWG18) betragen. Stromanschlusskabel: Das richtige Kabel zur elektrischen Verkabelung ist ein dreidrahtiges Kabel (L+N+PE). Der Kabelquerschnitt muss mindestens 0,83 mm (AWG18) betragen. PIN 1= Positiver Steckverbinder PIN 2= Negativer Steckverbinder PIN 3= Schutzleiter Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 46 Vergewissern Sie sich, dass die Isolierung des Gerätes, das an den Controller angeschlossen ist, auch bei Einzelstörungen, wie sie von der Vorschrift EN 61010: 2010 AMD 1 (2017) vorgesehen sind, angemessen isoliert ist. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 47 Schutzvorrichtungen versehen werden, um zu verhindern, dass die Räumlichkeiten durch den Rauch verschmutzt werden. Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Temperatur: von 0 °C bis +40 °C  Rel. Luftfeuchtigkeit: 0 - 90 % (nicht kondensierend).  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 48: Fixieren Des 4Uhv

    Soll ein HV-Kabel ohne Interlock zum Einsatz kommen, befindet sich in dem HINWEIS Zubehörbeutel ein dafür bestimmtes Kabelset für vormontierte Interlock-Teile. Bei diesem Gebrauch geht die Sicherheitsfunktion verloren, die man bei der Interlock- Verwendung hat. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 49 Auf der Abbildung “Anschlüsse” sind die richtigen Anschlüsse der Erdungen, des HV-Kabels des Controllers an die Pumpe und des Interlock-Kabels ersichtlich. Beim Montieren des im Zubehörbeutel mitgelieferten Interlock-Kabels gehen Sie VORSICHT sehr vorsichtig vor, damit dabei kein Teil in den Controller fällt. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 50: Start Und Betrieb Des 4Uhv-Controllers Von Der Vorderteil (Local-Modus)

    “Mode”. Wählen Sie die Option “ LOCAL”. Taste HV ON/OFF (2) gedrückt halten und gleichzeitig die Taste HV-x (3,4,5,6)  drücken, wobei x für die Nummer des Kanals steht, der ein- oder ausgeschaltet werden soll. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 51 Betriebsanleitung Abbildung 10 Vorderteil 4UHV Ionenpumpen-Controller Abbildung 11 Rückenteil 4UHV Ionenpumpen-Controller Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 52: Abschalten Des 4Uhv

    Für den 4UHV ist keine Wartung erforderlich. Jeder Eingriff unterliegt autorisiertem Personal. Vor jedem Eingriff, die elektrische Versorgung unterbrechen. Bei einem Störfall kann der Reparaturservice Agilent oder der Service “Agilent Advanced Exchange service” in Anspruch genommen werden, durch den man einen regenerierten Kontroller als Ersatz für den defekten erhält.

  • Seite 53: Reinigen

    Maßnahmen zu ergreifen: Sicherstellen, dass geeignete Kabel für den Anschluss des Gerätes an  Zusatzgeräte verwendet werden. Änderungen oder Umbauten, die nicht ausdrücklich von Agilent Technologies  genehmigt wurden, können dazu führen, dass der Benutzer die Berechtigung zum Betrieb des Geräts verliert.

  • Seite 54: Südkoreanische Klasse A Emv-Erklärung

    Südkoreanische Klasse A EMV-Erklärung Dieses Gerät entspricht der Klasse A und ist für den professionellen Einsatz und die Verwendung in elektromagnetischen Umgebungen außerhalb des Wohnbereichs geeignet. ICES/NMB-001 Dieses ISM-Gerät entspricht den kanadischen Bestimmungen ICES-001/NMB-001. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 55: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d. h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Abbildung 12 Logo "WEEE" Für weitere Informationen siehe: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 56: Service

    Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt an die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um das Produkt zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 57: Mode D'emploi

    Fixation de l’4UHV Démarrage et fonctionnement du contrôleur 4UHV depuis le panneau avant (mode LOCAL) Arrêt de l’4UHV Arrêt d'urgence Entretien Nettoyage Compatibilité électromagnétique EN55011/CISPR11 Déclaration CEM Classe A Corée du Sud ICES/NMB-001 Élimination Service Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 58: À Propos De Ce Manuel

    4UHV en toute sécurité et pour garantir un fonctionnement parfait pendant toute sa durée de vie. Veuillez conserver ce manuel et tous les documents connexes dans un lieu accessible connu de tous les opérateurs et du personnel de maintenance. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 59: Définitions Et Terminologie

    Les remarques contiennent des informations importantes et fournissent des NOTE précisions sur certains passages particuliers. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 60: Symboles D'avertissement

    à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes. Déclaration européenne Tensions dangereuses Danger générique de conformité Déchets d’équipements Certification CSA électriques et Site de fabrication électroniques Certification Certification UK CA RoHS Chine Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 61 étiquette d’avertissement. Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Tensions dangereuses Danger générique Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques Certification UK CA Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 62: Sécurité

    à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non- respect des règles de sécurité...

  • Seite 63: Utilisation Appropriée

    Mode d’emploi Utilisation appropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée du 4UHV Controller. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de l’appareil à l’aide de matériel de montage inadapté...

  • Seite 64: Consignes De Sécurité Des Contrôleurs De Pompes Ioniques

    Pour éviter d’endommager les équipements et prévenir les risques de AVERTISSEMENT blessure des opérateurs, respectez rigoureusement les instructions d’installation fournies dans le présent manuel. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 65: Transport Et Emmagasinage

    à l’utilisateur de lire attentivement cette notice d’instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent, avant l’utilisation de l’appareillage. Agilent décline par conséquent toute responsabilité en cas d’inobservation totale ou partielle des instructions données, d’utilisation incorrecte de la part d’un personnel non formé, d’opérations non autorisées ou d’un emploi contraire aux...

  • Seite 66: Installation

    à ne lui faire subir aucun choc. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme aux directives CEE 94/62 en matière de protection de l’environnement. Figure 13 Emballage du contrôleur Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 67: Set-Up

    Câble d’alimentation : le câble d’alimentation électrique doit être constitué de trois fils (L+N+PE). La section du fil doit être d’au moins AWG18, 0,83 mm PIN 1= Connecteur positif PIN 2= Connecteur négatif PIN 3= Terre de protection Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 68 Veiller à ce que le système d’isolation du dispositif branché au contrôleur soit adapté, même en cas de pannes individuelles, et ce, tel que prévu par la norme EN 61010: 2010 AMD 1 (2017). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 69 Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions d’environnement suivantes : Température : de 0 °C à +40 °C  Humidité relative : 0 – 90 % (non condensante).  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 70: Fixation De L'4Uhv

    Si l’opérateur veut utiliser un câble HV sans interlock, le sachet d’accessoires NOTE contient un kit spécial de câbles pour interlocks préassemblés. L’utilisation de ces accessoires provoque la perte des fonctions de sécurité offertes par l’utilisation de l’interlock. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 71 “Connexions des masses”. En cas d’utilisation du câble d’interlock contenu dans le sachet d’accessoires, il ATTENTION faut veiller en particulier à ce qu’aucune pièce ne tombe à l’intérieur du contrôleur. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 72: Démarrage Et Fonctionnement Du Contrôleur 4Uhv Depuis Le Panneau Avant (Mode Local)

    « MODE ». Sélectionner l’option « LOCAL ». Maintenez enfoncé le bouton HV ON/OFF (2) tout en appuyant sur le bouton  HV-x (3,4,5,6) où x est le numéro du canal à activer ou désactiver. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 73 Mode d’emploi Figure 16 Panneau avant 4UHV sur le contrôleur de pompe Figure 17 Panneau arrière 4UHV sur le contrôleur de pompe Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 74: Arrêt De L'4Uhv

    Le contrôleur n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. En cas de panne, on peut s’adresser au service de réparation Agilent ou au service “Agilent advanced exchange service” qui permet d’obtenir un contrôleur régénéré en substitution de celui endommagé.

  • Seite 75: Nettoyage

    Vérifier que les câbles appropriés sont utilisés pour raccorder l’appareil à  l’équipement périphérique. Tout changement ou modification n’ayant pas été expressément approuvé par  Agilent Technologies risque d’annuler l'autorisation de l'utilisateur à exploiter l'équipement. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 76: Déclaration Cem Classe A Corée Du Sud

    Cet équipement de la Classe A est adapté à un usage professionnel et est conçu pour être utilisé dans des environnements électromagnétiques hors domiciles. ICES/NMB-001 Ce dispositif ISM est conforme à la norme canadienne ICES-001/NMB-001. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 77: Élimination

    Figure 18 Logo « DEEE » Pour plus de précisions, veuillez consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 78: Service

    écrire directement à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner le produit à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 79: Instrucciones De Uso

    Puesta en marcha y funcionamiento del Controlador 4UHV desde el Panel Frontal (Modo LOCAL) Apagado del 4UHV Parada de emergencia Mantenimiento Limpieza Compatibilidad electromagnética EN55011/CISPR11 Declaración EMC Clase A de Corea del Sur CIEM/NMB-001 Eliminación Servicio Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 80: Acerca Del Manual

    4UHV pueda operarla de manera segura y garantizar un rendimiento perfecto, durante toda su vida útil. Guarde este manual, junto con todas las publicaciones relacionadas, en un lugar conocido y accesible para todos los operadores/personal de mantenimiento. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 81: Definiciones Y Terminología

    Las notas están previstas para llamar la atención sobre información importante y NOTA proporcionar más detalles en relación con pasos específicos. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 82: Símbolos De Advertencia

    Declaración Europea Voltajes peligrosos Peligro genérico de Conformidad Equipo de Desecho Certificación CSA Lugar de fabricación Eléctrico y Electrónico Certificación China Certificación UK CA RoHS Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 83 Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Voltajes peligrosos Peligro genérico Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico Certificación UK CA Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 84: Seguridad

    Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños al producto o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnicaAdvertencias CEM...

  • Seite 85: Uso Incorrecto

    Instrucciones de uso Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto del Controlador 4UHV. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación del dispositivo con material de montaje no especificado ...

  • Seite 86: Pautas De Seguridad Para Controladores De Bombas Iónicas

    Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo, se ADVERTENCIA deben cumplir estrictamente las instrucciones de instalación indicadas en este manual. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 87: Transporte Y Almacenamiento

    El usuario debe leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información adicional proporcionada por Agilent antes de utilizar el equipo. Agilent no se responsabilizará por cualquier evento que ocurra debido al incumplimiento de estas instrucciones, por el uso indebido por parte de personas no capacitadas, por interferencia no autorizada con el equipo o por cualquier acción contraria a lo previsto por las normas nacionales específicas.

  • Seite 88: Instalación

    El material de embalaje es completamente reciclable y cumple con la Directiva EEC 94/62 para la protección del medio ambiente. Figura 19 Embalaje de los 4UHV Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 89: Instalación

    Cable de alimentación: el cable correcto para el cableado eléctrico es un cable de tres hilos (L+N+PE). La sección del cable debe ser como mínimo AWG18, 0,83 mm PIN 1= Conector positivo PIN 2= Conector Negativo PIN 3= Puesta a tierra Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 90 Asegúrese que el aislamiento del dispositivo conectado al controlador proporcione un aislamiento adecuado incluso en el caso de una sola condición de falla según lo requerido por EN 61010: 2010 AMD 1 (2017). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 91 El controlador debe utilizarse en las siguientes condiciones ambientales: Temperatura: 0 °C to +40 °C  Humedad relativa: 0 – 90 % (sin condensación).  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 92: Montaje Del 4Uhv

    Si se va a utilizar un cable de alta tensión sin enclavamiento, la bolsa de accesorios NOTA contiene un kit específico de cable interlock premontado. Sin embargo, con este tipo de uso, se pierde la capacidad de seguridad proporcionada mediante el enclavamiento. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 93 "Conexiones a tierra". Cuando utilice el cable interlock suministrado en la bolsa de accesorios, PRECAUCIÓN asegúrese que ninguna pieza caiga accidentalmente dentro del controlador. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 94: Puesta En Marcha Y Funcionamiento Del Controlador 4Uhv Desde El Panel Frontal (Modo Local)

    Compruebe que el modo LOCAL esté habilitado, presionando “MENÚ” y luego  “MODE”. Mantenga presionado el botón HV ON/OFF (2) mientras presiona el botón  HV-x (3,4,5,6) donde x es el número del canal a encender o apagar. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 95 Instrucciones de uso Figura 22 Panel frontal del Controlador de la bomba de iones 4UHV Figura 23 Panel trasero del Controlador de la bomba de iones 4UHV Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 96: Apagado Del 4Uhv

    En caso de avería, es posible ponerse en contacto con el servicio de reparación Agilent o el servicio “Agilent advance exchange service” que permite obtener un controlador regenerado en sustitución del averiado.

  • Seite 97: Limpieza

    Asegúrese de utilizar los cables apropiados para conectar el dispositivo al  equipo periférico. Los cambios o modificaciones no aprobados expresamente por Agilent  Technologies podrían anular la autorización del usuario para operar el equipo. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 98: Declaración Emc Clase A De Corea Del Sur

    Este equipo es Clase A apto para uso profesional y ha sido diseñado para su uso en entornos electromagnéticos fuera del hogar. CIEM/NMB-001 Este dispositivo ISM cumple con la norma ICES-001/NMB-001 de Canadá. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 99: Eliminación

    Casa Matriz o con un revendedor, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de verificar las condiciones contractuales de venta. Figura 24 Logo "WEEE" Para más información, consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 100: Servicio

    Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver el producto a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 101: 使用说明

    有效性 定义与术语 小心、警告和注意的定义 警告符号 安全 正确使用 使用不当 防护装备 离子泵控制器安全指南 运输及存储 产品描述 安装准备 设置 修复 4UHV 从前面板启动和操作 4UHV 控制器（本地模式） 4UHV 关机 紧急停止 维护 清洁 电磁兼容 EN55011/CISPR11 韩国 A 类 EMC 声明 ICES/NMB-001 处置 服务 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 102: 关于本手册

    使用说明 关于本手册 有效性 本手册列出 4UHV 用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的注意事项， 受用户负责的维护操作限制。 维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作 专门培训的人员），用户不得执行此类操作。 要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。 本手册包含有用信息，确保所有使用 4UHV 的人员可以安全操作，在设备整个 注意 寿命期内发挥完美效率。 将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 103: 定义与术语

    使用说明 定义与术语 小心、警告和注意的定义 本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。 程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。 小心 警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重 警告 伤。 注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。 注意 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 104: 警告符号

    使用说明 警告符号 以下是在 4UHV 上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指的危险。 三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下： 表示危险电压 一般危险 欧洲符合性声明 CSA 认证 废弃电气和电子设备t 生产现场 RoHS中国认证 UK CA 认证 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 105 使用说明 以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维 修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。 以下符号会出现在仪器上以供您参考。 表示危险电压 一般危险 CE认证 CSA 认证 RoHS中国认证 废弃电气和电子设备 UK CA 认证 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 106: 正确使用

    使用说明 安全 本节包含机械指令 2014/35/UE 规定的信息，这些信息对于遵守常规安全法规以及 机器特定用途相关安全法规至关重要。 不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作 员可能发生事故。 对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤 害，Agilent Technologies 不承担任何责任。 正确使用 本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。 本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本 要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍 的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承 担任何责任。 必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产 品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。 必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。 必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 107: 使用不当

    对于因不正确使用 4UHV 而造成的任何后果，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不承担任何责任。 使用不当将导致所有责任保证和索赔保证失效。 使用不当的定义为： 使用未指定的安装材料安装设备  在冷凝环境中操作  在规定范围外的高湿环境中操作  在多尘环境中操作  在线路电压超出规格的情况下操作  与规定范围外的电源电压操作  在潜在爆炸区域内操作  在类冲击应力和振动或周期性力影响设备的系统中使用设备  在温度超出指定范围的环境中运行。  防护装备 在控制器上操作的操作员的保护设备必须始终适合正在执行的操作类型。此外，它 必须符合使用机器所在国家/地区现行法律的安全要求。 一般情况下，操作人员在操作控制器和安装过程中必须穿防事故鞋。 坠落物体造成伤害的风险 警告 手动运输真空控制器时，存在负载滑落和坠落的危险。 双手携带控制器。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 108: 离子泵控制器安全指南

    使用说明 警告 锋利边缘有划伤的风险 控制器有非常锋利的边缘。 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 离子泵控制器安全指南 用户不应打开以下操作手册中描述的离子泵控制器，以避免损坏内部组件的风险。 为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说明！ 警告 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 109: 运输及存储

    使用说明 运输及存储 运输和存储控制器时，应满足以下环境要求： -20 °C 至 +70 °C 温度：  0 ÷ 95% （无冷凝) 相对湿度：  产品描述 本设备专为专业用途而设计。在使用该设备之前，用户必须完整地仔细阅读本说明 手册以及安捷伦(Agilent) 提供的任何附加信息。对于因全部或部分误用此处提供的 说明、未经培训的人员不当使用设备、未经授权的干预或疏忽遵守任何特定国家规 则或法规而造成的损害，安捷伦概不负责。 下文包含在使用设备时保证操作员安全所需的所有信息。 详细信息在“Technical information”一章中提供。 从此段开始，术语“控制器”表示 4UHV。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 110: 安装准备

    使用说明 安装准备 控制器具有特殊的保护性包装。 如果这个包装在运输过程中出现损坏的迹象，请联 系当地的销售办事处。 打开控制器包装时，请确保不要摔落控制器或使其受到任何 形式的撞击。 请勿以未经授权的方式处置包装材料。请勿以未经授权的方式处理包 装材料。该材料是100%可回收的，符合EEC指令94/62号和随后颁布的修正案。 图 25 控制器包装 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 111 死亡。关闭设备后，剩余能量会在控制器内存在一段时间。等待大约 1 分钟以 确保剩余能量已消散。 控制器的安装方式必须保证能够轻松中断线路电压。 警告 如果以制造商未指定的方式使用此设备，则设备提供的保护可能会受损。 适用于 100-240 Vac 版本。 警告 电源线：正确的电线电缆是三芯 (L+N+PE) 电缆。 电线截面必须至少为 AWG18，0.83 mm 。 电源线：正确的电气接线电缆是三芯 (L+N+PE) 电缆。电线截面必须至少为 AWG18，0.83 mm PIN 1= 正极连接器 PIN 2= 负极连接器 PIN 3= 接地保护 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 112 使用说明 该控制器既可以用作桌面单元，也可以用作机架模块。在任何情况下，它的放置方 小心 式都必须使空气可以通过盖子上的通风槽自由流通。 如果将控制器用作机架模块，则必须将其插入三机架高的适配器中，以防止其掉入 机架本身。控制器前面板的设计无法支撑设备的重量。 请勿在暴露于大气因素（雨、雪、冰）、灰尘、腐蚀性气体或高度易燃易爆环境中 安装或使用控制器。 控制器属于标准 EN 61010: 2010 AMD 1 (2017) 中规定的第二安装类别（或过电 小心 压）。因此，设备必须连接到满足此类要求的电源线。 控制器具有用于输入/输出和串行通信的连接器，这些连接器必须以无法接触受电部 件的方式连接到外部电路。确保即使在 EN 61010: 2010 AMD 1 (2017) 规范中规定 的单一故障情况下，连接到控制器的设备的绝缘部分也能提供足够的绝缘性。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 113 使用说明 注意 如果控制器安装在机架中，请卸下其四个支脚并将其放置，上下至少留出 30 毫米（1.2 英寸）的自由空间。 只有在极少数情况下，控制器故障可能会导致冒烟 如果客户在干净的环境中使用控 小心 制器，他们应该采取适当的措施避免环境被任何可能出现的烟雾污染。 控制器必须在以下环境条件下使用： 0 °C 至 +40 °C 温度:  相对湿度: 0 – 90 % (非冷凝)  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 114: 修复 4Uhv

    使用说明 修复 4UHV 本节为您提供主要操作步骤。 在使用控制器之前，进行所有电气连接并 请参阅所连接泵的手册。 仅当高压通道通过配备联锁电缆的专用高压电缆连接到离子泵时才能打开高压 警告 通道。 假定控制器将与具有安全联锁装置的高压电缆一起使用。 电缆 泵 4UHV 线 泵 地面 图 26 接地连接 注意 如果要使用不带联锁装置的高压电缆，附件包中需要包含一套特定的预装联锁装置 导线。然而，在这种类型的使用中，使用联锁装置提供的安全能力就丧失了。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 115 使用说明 在不使用带互锁的高压电缆的情况下，请参考下图正确组装附件包中提供的互锁电 缆。 齿形垫圈 平垫圈 弹簧垫圈 螺丝钉 联锁电缆 1个或2个. 后面板 图 27 电缆互锁在泵接地时关闭。如果连接中断，高压将被禁用。 注意 如要将控制器连接到泵，请使用带互锁装置的高压电缆（参见可订购的部件）。 “接地连接”图中说明了质量、控制器和泵之间的高压电缆以及联锁电缆的正确连 接。 使用附件包中提供的联锁电缆时，确保没有部件意外掉落到控制器内。 小心 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 116 确保即使在 EN 61010-1 规范中规定的单一故障情况下，连接到控制器的设备的绝 注意 缘部分也能提供足够的绝缘性。 按照以下步骤为控制器供电并向高压 (HV) 连接器施加电压： 将电源线连接到后面板。  关闭控制器。  将高压电缆和高压电缆的互锁装置连接到后面板上的相关连接器中。  按“MENU”，然后按“MODE”，确认 LOCAL 模式已启用 按顺序按下按钮。  按住 HV ON/OFF 按钮 (2) 的同时按下 HV-x (3,4,5,6) 按钮 其中 x 是要打开/关闭  的通道号。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 117 使用说明 (3) (4) 图 28 4UHV 离子泵控制器的前面板 图 29 4UHV 离子泵控制器的后面板 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 118 按住 HV ON/OFF 按钮 (2) 的同时按下 HV-x (3,4,5,6) 按钮 其中 x 是要打开/关闭  的通道号。 有关使用控制器的更多详细信息以及显示屏上出现的信息的说明，请参阅“技术信 息”部分。 紧急停止 在紧急情况下，关闭机组和所有高压 通道，关闭位于前面板上的主电源开关 (1) 警告 当主开关关闭时，HV 单元关闭 维护 4UHV 板载控制器不需要任何维护。 在系统上执行的任何工作都必须由授权人员执 行。 在系统上进行任何操作之前，必须将其与电源断开连接。 如果发生故障，可 以使用安捷伦维修服务。 可通过安捷伦预先更换服务来替换控制器。 控制器报废时，必须按照国家具体标准进行处理。 警告 在控制器上进行任何操作之前，请先断开其电源。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 119: 电磁兼容

     电磁兼容 EN55011/CISPR11 第1组 ISM 设备: 第1组包含所有 ISM 设备，其中包含有意生成和/或使用设备本身 内部功能所必需的传导耦合射频能量。 A类设备是适用于除住宅和直接连接到为民用建筑物供电的低压供电网络的场所之 外的所有场所的设备。 本设备符合 CISPR11第 1 组 A类辐射专业设备的要求。因此，由于传导干扰和辐 射干扰，在其他环境中确保电磁兼容性可能存在潜在困难。 操作需满足以下两个条件: 该设备不会造成有害干扰。  该设备必须能够接受任何收到的干扰，其中包括可能导致意外操作的干扰。  如果此设备确实对无线电或电视接收造成有害干扰（可以通过关闭和打开设备来确 定），建议用户尝试以下一种或多种措施： 确保使用合适的电缆将设备连接到外围设备。  未经 Agilent Technologies 明确批准的更改或修改可能会使用户操作该设备的授  权无效。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 120: 韩国 A 类 Emc 声明

    使用说明 韩国 A 类 EMC 声明 本设备为适合专业用途的 A 类设备，适用于家庭以外的电磁环境。 ICES/NMB-001 此 ISM 设备符合加拿大 ICES-001/NMB-001标准。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 121 使用说明 处置 标签中的“WEEE”徽标含义。 按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。 此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必 须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司 还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。 图 30 Logo "WEEE" 有关更多信息，请参考： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 122 使用说明 服务 客户如需要后期的更换或维修服务，敬请联系当地经销商，或直接发送电子邮件至: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾 会提供）。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 123: 取扱説明書

    警告・注意・注の定義 警告の記号 安全性 適切な使用 不適切な使用 保護装具 イオンポンプコントローラーの安全ガイドライン 运输及存储 製品説明 取り付け 取り付けの準備 セットアップ 4UHV の固定 フロントパネルからの 4UHV コントローラの起動と操作 （LOCAL モード） 4UHV 操作停止 緊急停止 メンテナンス クリーニング 電磁両立性 EN55011/CISPR11 韓国クラス A EMC 宣言 ICES/NMB-001 処分 サービス Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 124: この説明書について

    取扱説明書 この説明書について 有効期 本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順の みの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、4UHV の使用方法をユーザー に説明します。 高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各 条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わ ないでください。 正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを 参照してください。 本説明書には、 注 4UHV を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿命中に効率 よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。 本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナンス 要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 125: 定義と用語

    取扱説明書 定義と用語 警告・注意・注の定義 このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲っ てあります。 注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能性 注意 を示しています。 警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害に 警告 つながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示して います。 「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を提 注 供しています。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 126: 警告の記号

    取扱説明書 警告の記号 下記は、4UHV 上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性の説明も 記載されています。 三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示さ れうる記号の意味は下記の通りです： 危険な電圧 CE適合宣言書 包括的な危険 廃電気・電子製品に関 CSA 認証 製造所 するEU WEEE指令 中国RoHS 指令認証 UK CA 認証 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 127 取扱説明書 下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがありま す。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のため に、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。 参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。 危険な電圧 包括的な危険 CE認証 CSA 認証 EU RoHS指令認証 中国RoHS 指令認証 廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令 UK CA 認証 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 128: 安全性

    取扱説明書 安全性 このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と監 督に必須である機械指令（Machinery Directive 2014/35/UE）の情報を含みます。 これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に 予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能 性があります。 アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不 順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・ 損傷の責任を全て拒否します。 適切な使用 このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告 と安全の手引きを含みます。 このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用 に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件 に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。 アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以 外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる 保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。 製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じること ができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる 付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認さ れたものでなければなりません。 いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家 の技術者により実行されなければいけません。 製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければな りません。。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 129: 不適切な使用

    指定されていない取り付け器具を使用した装置の設置  凝縮環境での操作  指定範囲外の高湿度環境での操作  ほこりの多い環境での操作  指定範囲外の供給電圧での動作  電離放射線がある場所での装置の操作  爆発の可能性がある場所での操作  衝撃のような圧力や振動、または断続的な力がデバイスに影響を与えるシス  テム下での装置の使用。 指定された範囲外の温度の環境での操作。  保護装具 コントローラを操作するオペレータの保護具は、実行する操作の種類に常に適し ている必要があります。さらに、機械が使用される国で施行されている法律の安 全要件に準拠している必要があります。 コントローラの取り扱い中および設置中は、通常、オペレータは事故防止用の靴 を着用する必要があります 落下物による怪我の危険性 。 警告 真空コントローラーを手で運ぶ際に、荷物が滑って落下する危険性がありま す 。 • コントローラーは両手で持ち運んでください。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 130: イオンポンプコントローラーの安全ガイドライン

    取扱説明書 警告 鋭い縁による損傷のリスク コントローラーには非常に鋭いエッジがあります。 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 イオンポンプコントローラーの安全ガイドライン 次の操作マニュアルに記載されているイオン ポンプ コントローラは、内部コン ポーネントの損傷のリスクを回避するために、ユーザーが開けないでください。 装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された取 警告 り付けの指示に厳密に従ってください！ Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 131: 运输及存储

    取扱説明書 运输及存储 コントローラーを輸送、保存する時は、下記の環境仕様を超過してはいけません： -20 °C から +70 °C まで 温度範囲：  相対湿度範囲： 0 から 95 %まで（結露なし）  製品説明 本装置は、業務用として使用することを目的としています。この装置を使用する 前に、ユーザーはこの取扱説明書全部とAgilentから提供される追加情報を注意 深く読む必要があります。Agilentは、ここに記載された全部または一部の使用 説明の誤用や、訓練を受けていない者による装置の不適切な使用、許可されてい ない介入、特定の国の規則や規定に従わないことにより生じた損害について、一 切の責任を負わないものとします。 以下の段落には、機器を使用する際に操作者の安全を保証するために必要なすべ ての情報が含まれています。 詳細については、「Technical information」の章を参照してください。 これ以降、「コントローラー」とは4UHV を指します。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 132: 取り付け

    取扱説明書 取り付け 取り付けの準備 コントローラーは、特殊な保護梱包で提供されます。もしこの梱包に移送の間に 生じた可能性のある破損が見受けられる場合、現地販売事務所に問い合わせてく ださい。コントローラーの梱包を開ける際には、落とさない、またはいかなる形 での衝撃を与えないようにしてください。不適切な方法で梱包材料を破棄しない でください。EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。 図 31 コントローラーの梱包 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 133: セットアップ

    100-240 Vac バージョンに関して。 警告 電源コード: 電気配線用の正しいケーブルは、3 線 (L+N+PE) ケーブルです。 電線部は、少なくとも AWG18、0.83 mm である必要があります。 電源コード: 電気配線用の正しいケーブルは 3 線 (L+N+PE) ケーブルです。 電線部は、少なくとも AWG18、0.83 mm である必要があります。 PIN 1= プラス コネクター PIN 2= マイナス コネクター PIN 3= 保護アース Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 134 トローラの前面パネルは、ユニットの重さを支えるようには設計されていませ ん。 空気中の物質 （雨、雪、氷） にさらされる環境、ほこり、腐食性ガスの存在す る環境、または引火性または爆発性の高い環境でコントローラーを設置または使 用しないでください。 コントローラーは、EN 61010: 2010 AMD 1 (2017) 規格で規定されている 2 番目 注意 の設置カテゴリー （または過電圧） に属します。 したがって、本装置は、この カテゴリーの要件を満たす電源ラインに接続する必要があります。 コントローラーには、入力/出力用およびシリアル通信用のコネクターがあり、電 源が入っている部分にアクセスできないように外部回路に接続する必要がありま す。EN 61010: 2010 AMD 1 (2017) 規格で規定されているように、単一の障害状 態の場合でも、コントローラーに接続された装置の絶縁が十分な絶縁を提供する ことを確認してください。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 135 取扱説明書 コントローラーをラックに取り付ける場合は、4 つの脚を取り外して、上下に少 注 なくとも 30 mm (1.2 インチ) の空間を確保して配置します。 まれに、コントローラーの故障により煙が発生する場合があります。 使用者がク 注意 リーンな環境でコントローラーを使用している場合は、最終的に発生する煙によ って環境が汚染されないように、適切な対策を講じる必要があります。 コントローラーは、以下の環境条件で使用する必要があります： 0 °C 〜 +40 °C 温度：  0 – 90 % (結論なし) 相対湿度：  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 136: 4Uhv の固定

    取扱説明書 4UHV の固定 このセクションでは、主要な操作手順について説明しています。 コントローラーを使用する前に、すべての電気接続を行い、接続されたポンプの マニュアルを参照してください。. インターロックケーブルを備えた専用の高電圧ケーブルによってイオンポン 警告 プに接続されている場合にのみ、高電圧チャンネルをオンにします。 コントローラーは安全インターロック付きの高圧ケーブルと一緒に使用する ことを想定しています。 ケーブル ポンプ 4UHV ライン ポンプ場 図 32 アース接続 インターロックなしの HV ケーブルを使用する場合、付属品バッグには、事前に 注 組み立てられたインターロックリードの専用のキットが含まれています。ただ し、このような使用方法では、インターロックによる安全機能が失われます。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 137 取扱説明書 インターロック付きHV ケーブルを使用しない場合における付属品バッグに含ま れているインターロックケーブルの正しい組み立てについては、以下の図を参照 してください。 歯付き座金 平座金 バネ座金 ネジ インターロックケーブル 1 または 2 pz. リアパネル 図 33 ケーブルインターロックはポンプのアースで閉じます。接続が中断されると、高 注 電圧は無効になります。 コントローラーをポンプに接続するには、インターロック付きのHV ケーブルを 使用します (注文可能な部品を参照してください)。 質量、コントローラーとポンプ間のHVケーブル、およびインターロックケーブル の正しい接続は、「アース接続」の図に示されています。 付属品バッグに同梱されているインターロックケーブルを使用する場合は、コン 注意 トローラー内部に部品が落下しないように注意してください。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 138: Local モード

    高電圧 (HV) をオンにするには、HV ケーブルのインターロック (ケーブルインタ 注 ーロック) を閉じる (コネクターが挿入される) 必要があります。 コントローラーに電力を供給し、高電圧 (HV) コネクターに電圧を印加するには、 以下の手順に従います: 電源コードをリアパネルに接続します。  コントローラーをオフにします。  HVケーブルとHVケーブルのインターロックをリアパネルの関連するコネクタ  ーに接続します。 「MENU」から「MODE」を押して、「LOCAL」モードが有効になっているこ  とを確認します。ボタンを順番に押します。 HV-x (3, 4, 5, 6) ボタンを押しながら HV ON/OFF (2) ボタンを押したままにし  ます。ここで、x はオン/オフを切り替えるチャンネルの番号です。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 139 取扱説明書 (3) (4) 図 34 前面パネル 4UHV イオンポンプコントローラー 図 35 リアパネル 4UHV イオンポンプコントローラー Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 140: 4Uhv 操作停止

    HV-x (3, 4, 5, 6) ボタンを押しながら HV ON/OFF (2) ボタンを押したままにし  ます。ここで、x はオン/オフを切り替えるチャンネルの番号です。 コントローラーの使用方法とディスプレイに表示される情報の説明については、 「Technical Information - 技術情報」のセクションを参照してください。 緊急停止 緊急時にユニットとすべての高電圧チャンネルをオフにするには、フロント 警告 パネルにある主電源スイッチ (1) をオフにします。 メインスイッチをオフにすると、HV ユニットがオフになります。 メンテナンス 4UHV オンボードはいかなるメンテナンスも必要としません。システムになされ るいかなる作業も、認可された担当者により実行されなければなりません。 システムにいかなる操作を実行する前には、必ず電源を切断してください。もし 故障が発生した場合は、Agilentの修理サービスを利用することもできます。 交換 用コントローラーは、Agilentを通じてアドバンスエクスチェンジをもとに入手で きます。 もしポンプを廃棄する場合には、特定の国の規定に基づき廃棄されなければなり ません。 コントローラー上にいかなる作業を実行する前には、電源から接続を断っ 警告 てください。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 141: クリーニング

    電磁両立性 EN55011/CISPR11 グループ 1 ISM 装置：グループ 1 には、装置自体の内部機能に必要な伝導結合無 線周波数エネルギーが意図的に生成および/または使用されるすべての ISM 装置 が含まれます。 クラスAの装置は、家庭用以外のすべての施設、および家庭用の建物に供給する 低電圧電源網に直接接続されている装置の使用に適している装置です。 この機器は、放射線業務用機器としてCISPR11、グループ1、クラスAの要件に適 合しています。したがって、伝導および放射妨害により、他の環境での電磁両立 性を確保することが困難な場合があります。 操作は以下2つの条件に従います： この機器は、有害な干渉を引き起こすことはありません。  この機器は、望ましくない動作を引き起こす可能性のある干渉を含め、受信  したすべての干渉を受け入れる必要があります。 この装置がラジオやテレビの受信に有害な干渉を引き起こす場合には（装置の電 源を切ったり入れたりすることで判断できます）、使用者は以下の対策を1つ以 上試すことを推奨します： 周辺機器との接続には、必ず適切なケーブルを使用してください。  Agilent Technologies によって明示的に承認されていない変更または修正は、  装置を操作する使用者の権限を無効にする可能性があります。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 142: 韓国クラス A Emc 宣言

    取扱説明書 韓国クラス A EMC 宣言 この装置は、業務使用に適したクラス A であり、家庭外の電磁環境での使用を目 的としています。 ICES/NMB-001 この ISM 機器は、カナダの ICES-001/NMB-001に準拠しています。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 143 取扱説明書 処分 ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。 下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されま す。 この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家 庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付 しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小 売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確 認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。 図 36 Logo "WEEE" 詳細は、下記サイトを参照してください。 http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 144: サービス

    取扱説明書 サービス お客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もし くは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com サービスのために製品を Agilent に返送するには、「Request for Return」フォー ムに必要事項を記入する必要があります (このマニュアルの最後に記載されてい ます) 。 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 145: Instructions For Use

    Transport & Storage Product Description Installation Preparation for Installation Set-up Fixing the 4UHV Ion Pump Controller Startup and Operation of the 4UHV Ion Pump Controller from the Front Panel (LOCAL Mode) 4UHV Ion Pump Controller Shutdown Emergency Stop Maintenance Cleaning...

  • Seite 146: About This Manual

    NOTE 4UHV can operate it safely and guarantee perfect efficiency, for its entire life span. Keep this manual, together with all the related publications, in an accessible place known to all operators/maintenance personnel. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 147: Definitions And Terminology

    Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 148: Warning Symbols

    A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows: European Declaration Dangerous voltages Generic hazard of Conformity Waste Electrical and CSA certification Manufacturing Site Electronic Equipment RoHS China certification UK CA certification Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 149 The following symbols appear on the instrument for your information. Dangerous voltages Generic hazard CE certification CSA certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment UK CA certification Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 150: Safety

    Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the product or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.

  • Seite 151: Improper Use

    Instructions for Use Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the 4UHV. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the device with unspecified mounting material ...

  • Seite 152: Ion Pump Controller Safety Guidelines

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating WARNING personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 153: Transport & Storage

    This equipment is intended for professional use. Prior to using this equipment the user must carefully read this Instruction Manual in its entirety and any additional information provided by Agilent. Agilent declines all responsibility for damage caused by the total or partial misuse of the instructions provided herein, by the...

  • Seite 154: Installation

    When unpacking the controller, be particularly careful to avoid dropping it or knocking it against anything. The packaging material is totally recyclable and complies with EEC directives 94/62 for the safeguard of the environment. Figure 37 Controller Packaging Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 155: Set-Up

    Power supply cord: the correct cable for electrical wiring is three wires cable (L+N+PE). The Wire section has to be at least AWG18, 0.83 mm PIN 1= Positive connector PIN 2= Negative Connector PIN 3= Protective Earth Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 156 The controller must be used in the following environmental conditions: Temperature: 0 °C to +40 °C  Relative humidity: 0 – 90 % (non-condensing).  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 157: Fixing The 4Uhv Ion Pump Controller

    It is assumed that the controller will be used together with the high voltage cable having a safety interlock. 4UHV Figure 38 Ground Connections Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 158 “Ground Connections” figure. When using the interlock cable furnished in the accessories bag, make sure that CAUTION no parts drop accidentally inside the controller. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 159: Startup And Operation Of The 4Uhv Ion Pump Controller From The Front Panel (Local Mode)

    Verify that the LOCAL mode is enabled, by pressing “MENU” then “MODE” push  button in sequence. Hold down the HV ON/OFF button (2) while pressing the HV-x (3,4,5,6) button  where x is the number of the channel to be switched on/off. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 160 Instructions for Use Figure 40 Front Panel 4UHV Ion Pump Controller Figure 41 Rear Panel 4UHV Ion Pump Controller Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 161: 4Uhv Ion Pump Controller Shutdown

    When the main switch is turned off, the HV unit is switched off. Maintenance The 4UHV Ion Pump Controller does not require any maintenance. Any form of servicing on the unit must be performed by authorized personnel. If servicing is needed, contact Agilent Technical Support or subscribe to the “Agilent Advanced Exchange Service”...

  • Seite 162: Cleaning

    Make sure that appropriate cables are used to connect the device to peripheral  equipment. Changes or modifications not expressly approved by Agilent Technologies  could void the user's authority to operate the equipment. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 163: South Korean Class A Emc Declaration

    South Korean Class A EMC declaration This equipment is Class A suitable for professional use and is for use in electromagnetic environments outside of the home. ICES/NMB-001 This ISM device complies with Canadian ICES-001/NMB-001. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 164: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Figure 42 Logo "WEEE" For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 165: Service

    Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly e-mail to: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your product to Agilent for service (provided at the end of this manual). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 166: Technical Information

    How to work with non Agilent pump Set Point Autostart How to set the Analog signal Connection of Input Remote Serial Connector Examples Window Protocol Communications Format Communications Protocol Error Description Error Code Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 167 GSD File State Machine Message Mapping Configuration Buffer Structure Configuration Output Structure Configuration Input Structure Diagnosis Management Standard diagnostic User diagnostic Controller Fails User Parameter Mismatch Diagnostic Buffer (15 byte) Accessories and Spare Parts Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 168: 4Uhv Ion Pump Controller Description

    Technical Information 4UHV Ion Pump Controller Description The 4UHV Ion Pump Controller is a power supply for Ion pumps. It supplies a high voltage on output, selectable as 3 kV, 5 kV or 7 kV, and measures the output current.
  • Seite 169 Front panel with keypad and a 4-row display (4x20, 146 x 62 mm) for displaying  the operating values (voltage, current, pressure) Remote I/O card with DB37 connector  RS232 and RS485 serial communication or profibus option.  Figure 43 4UHV Ion Pump Controller Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 170 Two independent channels with a maximum of 200 W power per channel  One 200 W channel and two 80 W channels.  One 120 W channel.  The 4UHV Ion Pump Controller can be operated in the modes: LOCAL, SERIAL or REMOTE. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 171: Technical Specifications

    EN 61326-1 2013: Electrical equipment for measurement control and laboratory use EMC requirements Installation category Max altitude 2000 m Pollution degree Internal use only Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 172 Technical Information Output curve (200W) Output curve (80W) 8000 7000 6000 5000 4000 3000 2000 1000 Current (mA) Figure 44 Output voltage vs Output current Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 173: Controller Outline

    Technical Information Controller Outline The outline dimensions for the 4UHV Ion Pump Controller are shown in the following figures: Front View 400.50 211.40 141.20 Rear View Figure 45 Controller Model Dimensions Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 174: Front Panel Description

    Serial, Front, Remote. You exit from this display automatically after 5 seconds. By keeping this key pressed for a long time (> 2 sec), you enter the menu. To exit from the menu, press the Mode key again for a long time. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 175: Graphic Signals

    Protect on  Without mark Protect off Blinking mark Protect error 3. SP-x Solid mark Set Point activate  Without mark Set Point not active 4. Step-x Solid mark Step  Without mark Fixed Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 176: Rear Panel Description

    The HV connectors (1, 2, 3 or 4 according to model)  The interlock connectors associated to each channel  The fuses  The DB9 connector for RS232 and RS485 serial communication  The DB37 connector for Remote I/O signals.  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 177: Fuse Holder

    In order to guarantee a proper working of the interlock connection, the user must take care that the total resistance between the ground controller and the input of the interlock cable (connected to the ion pump) is less than 400 Ohm. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 178: Procedure To Connect The Serial And I/O Ports To An External Cable

    In this way, you will be sure to reduce the influence of the external noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the cable assembled. Figure 49 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 179: Operating Mode

    Change from one mode to another can be done with the high voltage switched on. NOTE However, the channels switch off if Remote mode is selected but no commands for switching on are present on the remote connector. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 180: Start-Up

    To change mode, press the Mode key again. The three modes will be displayed in a cyclic fashion: Local, Serial, Remote. After selecting the required mode, wait approximately 5 seconds to return to the previous screen. Main power switch Figure 50 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 181: Functions

    800 StarCel 2.0E-3A 5.0E-5A 500 StarCell 9.0E-4 A 2.5E-5 A 300 StarCell 5.5E-4 A 1.6E-5 A 150 StarCell 3.0E-4 A 8.5E-6 A 75-55-40 StarCell 1.3E-4 A 3.8E-6 A 20 StarCell 6.5E-5 A 1.9E-6 A Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 182: Protect

    150 Diode 75-55-10 Diode 20 Diode 10 Diode 2 Diode 0.2 Diode 75-55-45 SEM 35-25 SEM 10 SEM 1000 StarCell 800 StarCell 500 StarCell 300 StarCell 200 StarCell 150 StarCell 75-55-40 StarCell 20 StarCell Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 183: Technical Information

    300 StarCell 200 StarCell 150 StarCell 75-55-40 StarCell 20 StarCell Positive Pumps 1000 Diode 500 diode 300 diode 200 diode 150 diode 75-55-40 diode 20 diode 10 diode 75 Sem 25 Sem 10 Sem Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 184: Spare Pump

    5 seconds of inactivity, the unit exits form programming menu automatically. Make sure that the interlock is connected; refer to to the warning at the “Fixing the 4UHV Ion Pump Controller” paragraph. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 185: Set Point

    It’s possible to set the Set Point either related to current or to pressure. Press the key MODE for 3 seconds to exit the programming menu, otherwise after 5 seconds of inactivity, the unit exits form programming menu automatically. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 186: Autostart

    If the HV channel is in OFF status and the main power supply fails, when the  supply is restored the HV channel stays in OFF. If the Autostart is disabled: The HV channel returns always OFF after that the main power fails.  Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 187 If you select “Threshold” the two cooling fan are switched OFF if the output current of each HV channel is below of the 1mA. Reset standard settings If “yes” is selected, the settings are restored to the standard unit configuration. Figure 52 I/O Pin out Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 188 CH1 NO Set Point Relay Channel 2 Input Pin 9 CH2 on/off Pin 10 CH2 protect Pin 11 CH2 step Pin 22 Digital Gnd Analog Output Pin 2 Analog 2 Pin 3 Analog Gnd Digital Output Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 189 Digital Gnd Analog Output Pin 21 Analog 4 Pin 3 Analog Gnd Digital Output Pin 32 CH4 NC Set Point Relay Pin 33 CH4 (Common) Relay Pin 34 CH4 NO Set Point Relay Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 190 I > 2.25mA Analog Output 0-5V when proportional range to pressure 0-10V when proportional to current Output Relay 24V , 1A max +24 Vdc 24V +/- 10% - 60mA max Figure 53 Recorder Output Pressure Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 191 Analog remote vs Pressure 1.3E-6 kPa Analog remote (Volt) 1.3E-12 kPa 1.0E-12 1.0E-11 1.0E-10 1.0E-09 1.0E-08 1.0E-07 1.0E-06 1.0E-05 Pressure (kPa) Figure 54 Analog remote vs Pressure (kPa) Figure 55 Analog remote vs Pressure (mbar) Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 192 Technical Information Analog Voltage vs Output Current (A) 1,00E-07 1,00E-06 1,00E-05 1,00E-04 1,00E-03 1,00E-02 1,00E-01 1,00E+00 Current [A] Figure 56 Analog Voltage vs Output Current (A) Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 193: How To Set The Analog Signal

    Connection of Input Remote In order to activate the inputs remote (CH on/off, Ch protect, CH Step) connect the pins as following. +24V 4,7 KΩ Input pin Digital GND Customer Controller device’s Figure 57 Input Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 194: Serial

    This is a 9-pin D-type serial input/output connector that allows the 4UHV to be controlled via an RS232/485 or profibus (optional). Table 8 PIN No. Signal Name +5 V (OUT) TX (RS232) RX (RS232) Reserved A + (RS485) Reserved B - (RS485) Reserved Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 195: Connector Examples

    Technical Information Connector Examples Controller Figure 59 RS–232 Connection controller 1 controller 2 Figure 60 RS–485 Connection Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 196: Window Protocol

    The controller answers with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string in the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> When data is indicated between two quotes (‘...’), it implies that the data indicated is NOTE the corresponding ASCII character. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 197 MESSAGE. Using the RS485 interface, the message structure is identical to that used NOTE for the RS232 interface, the only difference being the value assigned to the ADDRESS <ADDR>. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 198 Out of Range The value expressed during a write command is not within the range value for the specified window. Win Disabled 1 byte (0x35) The window specified is Read Only or is temporarily disabled. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 199 I protect CH1 [1,100] step 1 mA Set Point CH1 [X.XE-XX] Device Number CH2 (see Device section) Power max CH2 20 W – 80 W V target CH2 [3000,7000] V step 1000; def=7000 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 200 Temperature [0, 200] °C V measured CH1 [0, 7000] V ; step 100 V I measured CH1 [1E-10, 9E-1] A Pressure CH1 [X.XE-XX] V measured CH2 [0, 10000] V ; step 100 V Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 201 [0, 10000] V ; step 100 V I measured CH3 [1E-10, 9E-1] A Pressure CH3 [X.XE-XX] V measured CH4 [0, 10000] V ; step 100 V I measured CH4 [1E-10, 9E-1] A Pressure CH4 [X.XE-XX] Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 202 ADDR Read Pressure (win 812) Channel 1 → Controller ADDR WINDOW → Controller ADDR WINDOW DATA Data=1.5E-8 Read Voltage (win 810) Channel 1 → Controller ADDR WINDOW → Controller ADDR WINDOW DATA Data=3000 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 203 Operating mode (Win 601) Autostart ON → Controller ADDR WINDOW DATA → Controller ADDR Autostart OFF → Controller ADDR WINDOW DATA → Controller ADDR Protect (Win 602) → Controller ADDR WINDOW → Controller ADDR WINDOW DATA Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 204 “31”=1). So it means activate the protect on CH3, while protect on CH1,2,4 will be not activated. Status Set Point (804) → Controller ADDR WINDOW → Controller ADDR WINDOW DATA Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 205: Error Description

    Power input error from PFC 0000000001000 Overtemp PFC 0000000010000 Error communication CPU-HV 0000000100000 Interlock cable 0000001000000 Overtemp HV 0000010000000 Protect 0000100000000 Measurement error 0001000000000 HV out error 1024 0010000000000 Short circuit 2048 0100000000000 HV disabled Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 206: Example

    Interlock cable error + Overtemp HV Error code (Win 206) Error interlock ADDR WINDOW ADDR WINDOW DATA Channel selection (Win 505) Read ADDR WINDOW ADDR WINDOW DATA Write 1 ADDR WINDOW DATA ADDR Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 207 WINDOW ADDR WINDOW DATA Channel selection (Win 505) Write 2 ADDR WINDOW DATA ADDR Error code (Win 206) Interlock not present error because channel 2 has been selected: ADDR WINDOW ADDR WINDOW DATA Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 208: Old Serial Protocol ("Binary Protocol")

    The “Binary Protocol” serial protocol used by some old controllers is no longer supported. For new projects, Agilent advises that the new protocol “Window protocol” be used. Nevertheless, for compatibility with the old systems, some commands of the “Binary Dual” have been implemented.
  • Seite 209 See description of commands (byte 0 command, byte 1 subcommand). No channel Channel High Voltage 1 High Voltage 2 High Voltage 3 High Voltage 4 Data See description of commands Checksum XOR of all bytes (checksum excluded) in and with 7Fh. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 210 48h 30h Iprotect 4Bh 30h Set Point 50h 30h V meas. 53h 30h I meas. 54h 30h P meas. 55h 30h Set Point status 67h 30h Interlock status 5Dh 30h Error status 7Ah 30h Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 211 HV2 Cable Interlock Table 18 Bit Field Interlock Coding (active if 1) Cable Interlock Excess temperature Power input error FAN Error Protect 31h 30h Short-circuit 31h 31h HV out error 31h 32h Zero Measurement Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 212: Display And Menus

    The voltage on all the four channels can be displayed simultaneously, or the current of all four channels, or the pressure. To do this, press the “V/I/P” key; the following screens appear cyclically. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 213 11 Display the voltage and operation mode 7 0 0 0 “Step Mode” – “Fixed mode” for each 7 0 0 0 channel + 7 0 0 0 + 7 0 0 12 Press “V/I/P” Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 214: Information On A Single Channel

    Fixed-Mode, keep the Fixed Step key pressed while you press the HV-x key, where x is the number of the channel for which you want to change the output voltage. The output voltage changes cyclically between “STEP 7 KV, 5 KV, 3 KV”. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 215: Menu

     value is saved and starts to flash. If it is not possible for all the choices to be displayed simultaneously, the values will scroll across (the titles of the menus remain fixed). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 216: Menu Screens

    N E R A ■ C O N F G E N E R A L F a n H R E S H O L D ■ A L W A Y S Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 217 A N A L O G G U R H V 1 H V 2 X X X X X ► H V 3 H V 1 H V 1 M a x Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 218: Profibus

    The address value sets by the 2 switches is expressed in hexadecimal notation, so value from 00 to 7D are permitted; this setting is read by the interface during the power-on phase, so any change of the switch position after the power-on is ignored. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 219: Indicators

    This failure has priority (in the indication) over the previous. Blink fast Gateway fail (internal check) or wrong address set (address > 0x7D or address not stable during power-on). Blink slow Gateway operating properly. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 220: Gsd File

    From the software point of view, the interface can be seen as two devices (one for ProfiBus and the other for RS-485) linked together. Each device has its own state machine to manage the device operation. Figure 62 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 221: Message Mapping

    The profibus communication and the serial communication use the same link NOTA inside of the controller, then you can not use at the same time the profibus communication and the serial communication. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 222: Configuration Buffer Structure

    4 = 35d (23hex) and byte offset 5 = 5d (FBhex) Example 2: if you want to set the Set Point A to 1.0E-9 you have to write: byte offset 4 = 10d (0Ahex) and byte offset -5 = -5d (F7hex) Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 223 Set Point C to channel 4 you have to write byte offset 13 B = 0100 if you want assign the Set Point D to channel 1 you have to write byte offset 13 B = 0001 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 224: Configuration Output Structure

    → 1=remote, 2 = local, 3= Profibus (1) It is not possible to switch between profibus mode and serial mode using the NOTA profibus communication you can switch between these two modes only in Local mode. Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 225: Configuration Input Structure

    1 bit = 100V Channel 1, High voltage measured 1 bit = 100V Channel 2, High voltage measured 1 bit = 100V Channel 3, High voltage measured 1 bit = 100V Channel 4, High voltage measured Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 226 Channel 1, Pressure measured selected Pressure unit 4 (floating point) Channel 2, Pressure measured selected Pressure unit 4 (floating point) Channel 3, Pressure measured selected Pressure unit 4 (floating point) Channel 4, Pressure measured selected Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 227: Diagnosis Management

    Format error Write not allowed while HV ON Write not allowed while HV OFF 10 Write allowed only in serial mode The Profibus external diagnosis services are used to report following unexpected situations: Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 228: Controller Fails

    If the user sets one or more parameters out of their allowed range, a Profibus external diagnostic service is required and some bits in the diagnosis frame signals which parameter is wrong (i.e. over range or under range). Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 229: Diagnostic Buffer (15 Byte)

    → reserved → diag deactivated (slave is parameterised by another master) Reserved Master Add (master address after parameterisation. FF= without parameter) Ident number high Ident number low External diagnosis “Header” length indication including header Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 230 → HV1 Fixed/Step Mode diagnostic status 7…4 → HV2 Fixed/Step Mode diagnostic status 3…0 → HV3 Fixed/Step Mode diagnostic status 7…4 → HV4 Fixed/Step Mode diagnostic status 3…0 → Serial/Remote/Local/Profibus diagnostic status 7…4 → Not used 3…0 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...

  • Seite 231: Accessories And Spare Parts

    HV bakeable cable, radiation resistant, 20 meter Power Cord 9699958 Mains Cable US/NEMA plug (3m long) 9699957 Mains Cable EU plug (3m long) 8121-0703 Mains Cable CHINA plug (3m long) 9499399 Power Cable IEC 320 Agilent 4UHV Ion Pump Controller User Manual...
  • Seite 237 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109...
  • Seite 238  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  This information is subject to change without notice. © Agilent Technologies, Inc. 2023 Agilent Technologies Italia S.p.A. Vacuum Products Division *87-900-137-01* Edition 05/23 Via F.lli Varian, 54 *87-900-137-01* Issue F.00 10040 Leinì...

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